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ニュー トラパック Eシリーズ

製品カタログ

CVD・エッチング装置用 粉体除去装置

ニュートラパックは半導体、液晶製造CVD装置用の排気ガス中の反応物(粉体)を除去するパウダートラップです。
本機は新機構の渦巻吸着方式の採用によりコンダクタンスに影響を与えずに微粉体を大量に除去します。
加えてトラパックエレメントのマグネット吸着効果により低コンダクタンスで完全に粉体をシャットアウトします。

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このカタログについて

ドキュメント名 ニュー トラパック Eシリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
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このカタログの内容

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■NEW TRAPPACK 仕様 NEW TRAPPACK Specifications タイプ 型 式 容量(O) エレメント (ELEMENT) 材 質 用 形 法 m/m TYPE TRAPPACK P/# 巴詈雰 グ径 最高 使 e うすエレメント トラバックエレメント (Mpa圧 力 外 寸 Ho翠/usin ン ) g dl a Volum COIL Element TRAPPACK Element Material Max P「essure Dimensions TU-E51 OO-NW50 50/406 115 E5100-D-6 KL SUS304 0.3 □485XH1064 息' '.包F- :>- m TU-E41 OO-NW50 50/355 86 E4100-0-6 KL II II □440XH1064 汁 TU-E31O O-NW50 50/318 “' 70 E3100-D-5 IL II II [コ400XH1013 代 山入 危 TU-E21 00-NWSO 50/267 48 E2100-0-4 HL II II □370XH1013 C° 。 n TU-E1500-NW50 50/267 32 E1500-D-4 HL II II □370XH707 TU-E95LM-NW50 50/406 115 E95-D-6 II II □485XH1064 TU-E85LM-NW50 50/355 86 E50-D06 II II □440XH1064 !」 TU-E65LM-NW50 50/318 70 E65-D-5 II II □400XH1013 ,n 8 TU-E55LM-NW50 50/267 48 E55-D-4 II II □370XH1013 TU-E50LM-NW50 50/267 32 ESO-D-4 II II □370XH707 特記①外接形水冷ジャケット仕様はJの記号がつきます。TU-E3100-NW50 � TU-E3100J-NW50 ②NW40はNW50と共用 Rema「ks External water cooling jacket spec is ma「ked J 水冷ジャケットなし 水冷ジャケット付 NW40 is commonly used with NW50 Without Water jacket With Water jacket ■ うすエレメント仕様 COIL Element specifications ■ うすエレメント COIL Element COI L T y p e Combination Type 型 式 :エレメント記号 うす数 型 式:, エレメント記号 うす数 Type : Element Code Nos of coil Type , Element Code Nos of coil TU-E95LM : ASD-E95-D-6 6 TU-E5100 : ASD-E5100-D-6 6 TU-E85LM ASD-E85-D-6 6 TU-E4100 ASD-E4100-D-6 6 TU-E65LM ASD-E65-D-5 5 TU-E3100 ASD-E3100-D-5 5 TU-E55LM ASD-E55-D-4 4 TU-E2100 ASD-E2100-D-4 4 TU-E50LM ASD-ESO-D-4 4 TU-E1500 ASD-E1500-D-4 4 ■ トラパックエレメント仕様 TRAPPACK Element specifications 対 象 機 エレメント型式 エレメント種類 寸 法 用 途 Applied m/c Element type Element P/# Size(m/m) Uses ■トラパックエレメント TU-E5100 KL-130 TRAPPACK Element KL Type XH260 TU-E4100 トラパック KL-G35/130 0300 NEW TRAPPACK KL-G50/250 エレメント IL-130 の二次処理用 TU-E3100 IL Type IL-G35/130 0230XH260 (100℃以下) TRAPPACK IL-G50/250 2nd trap process TU-E2100 Element HL-130 HL Type (belo TU-E1500 HL-250 0180XH260 w 100°G) HL-GS0/250 ■ 小型トラパック Small Type TRAPPACK 本機は消音機能をもつ小型のトラパックです。 上下2段式のうす 旋回吸着構造で、 パウダーを大量捕集します。 T his unit is small type TRAP PACK having silencer function. By its 2-step up/down coil absorbing construction, plenty powder can be trapped. 接続口径(Joint dia): NW40 INun , 寸 法(Dimensions) 0216 x H600mm 容 翼(Volume): 2og 見 エレメント(Element): ASD-16B-C-2 ふ`f�一 つ占し 材 質(Material): SUS304 最大使用圧力(Max Pressure): 0.3MPa *このカタログに掲載した製品は、性能向上のため予告なしに寸法及び仕様書を変更することがあります。 * For improved performance, the specifications stated in this catalogue are subject to changes T/�ISEI URL http://www.taiseigiken.com ‘ お問い合わせ AGENT 大成技研株式会社 本 社 l'121-0062東京都足立区南花畑4丁目32番 4 号 TEL.03(3858)8701 cm FAX.03(3850)4810 Email tokyo@taiseigiken.com 関西支店 〒578-0911 大阪東府 大阪市中新開2丁目6 番37号 TEL.0729(60)4801 FAX.0729(60)4802 Email osaka@taiseigiken.com Head office TAISEI GIKEN CO., LTD. 4-32-4 Minami-Hanahata, Adachi-Ku, Tokyo, Japan. Post-code 121-0062 T EL.81-3-3858-8701 FAX.81-3-3850-4810 Email tokyo@taiseigiken.com ‘� —l9ノ 200209NK