酸が混入する真空ポンプを水で浄化します！
◆特長
微量の水分を意図的に注入。
油水分離機の技術を応用し、水分膜と油で水を分離させる。
水に溶けやすい酸性物質や微細な水溶性
夾雑物などの浄化に効果的です。
※特許出願中 特願2021-1948073
◆用途
酸による真空ポンプトラブルを防止する。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 注水機能付き 油水分離機 SUN-SPJ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 833.9Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 大成技研株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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酸が混入する真空ポンプを水で浄化します!
注水機能付き 油水分離機
SUN-SPJ
SDGsに
貢献
酸除去用タンク
水分を注入し
特 長 微量の水分を意図的に注入。 水分膜を形成
油水分離機の技術を応用し、
水分膜で油と水を分離させる。
水に溶けやすい酸性物質や微細な水溶性
夾雑物などの浄化に効果的です。
※特許出願中 特願2021-1948073
用 途 酸による真空ポンプトラブルを防止する。 水滴と共に酸と水溶性
夾雑物を排出
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実際の設置例
プロセス CVD（チタンコーティング）
真空ポンプ PKS-016
油種 MR-200
問題点 排気ガス中の塩素が塩酸（HCl）となり
真空ポンプ内に混入。
真空ポンプのサビ・腐食防止のため1ヶ月
につき1回のオイル交換実施。
SPJ設置前後での油中全酸価
設置前〔mgKOH/g〕 設置後〔mgKOH/g〕
1.2
1
油中全酸価 0.8 1ヶ月（4週間）でオイル交換
pH
6 1.2 4ヶ月（16週間）低水準を維持0.6
1
4.5
0.8 0.4
3 0.6
0.4 0.2
1.5
0.2
0
0 0 0 4 8 12 16
pH 油中全酸価〔mgKOH/g〕 設備稼働時間〔週〕
SUN-SPJフロー図
水分膜式油水分離 ハウジング
エレメント （ケース）
水分膜
給水タンク
【意図的給水】 P
水溶性夾雑物 酸 水溶性夾雑物と 【クリーン油】
【汚染油】 油循環ポンプ 酸排出
大成技研株式会社
http://www.taiseigiken.com
■本 社 〒121-0062 東京都足立区南花畑4-32-4 ■関西支店 〒578-0911 大阪府東大阪市中新開2-6-37
TEL：03-3858-8701 / FAX：03-3850-4810 TEL：072-960-4801 / FAX：072-960-4802
E-mail : tokyo@taiseigiken.com E-mail : osaka@taiseigiken.com
202210-SPJ-1
油中全酸価〔mgKOH/g〕