PET / PVA二層フィルム SOシート

“水に溶けるシート”を“新規プロセスへ” Proposal for “creating new processes” by using “water-soluble sheet” PET / PVA二層フィルム PET/PVA double-layer film “SO sheet” SOシート SOシートは、水に溶ける層の PVAと支持層の PET から構成される剥離可能な二層フィルムです。PVA 上に各種 コーティング法、印刷法等により機能材、機能性パターン、薄膜等の機能膜の作製が可能です。環境負荷の低い水 を利用することによる機能膜の平面 /立体基材への転写、自立機能膜の取り出し、表面の一時保護等が可能となり、 各種デバイス、センサ等の電子材料、機能材料作製、機械部品等への表面微細加工等の新規プロセスへの応用が 期待できます。 SO sheet is a peelable double-layer film consisting of a water-soluble layer of “PVA” and a support-layer of “PET”. Functional membranes such as functional materials, functional patterns and thin films can be produced on “PVA” by various coating methods and printings, etc. Furthermore, by using water with low environmental impact, it is possible to “transfer the functional membranes to flat or 3D substrates”, to “fabricate self-supporting thin membranes”, and to “protect material surface temporarily”, given optimal conditions such as coating, laminating, peeling, and water washing. Therefore, it is expected to be applied to new processes for electronic materials such as various devices and sensors, production of functional materials, surface microfabrication of machin- ery components, etc. We are committed to developing and bringing out the best possible solution to their fields. ■ 剥離可能な二層構造 Peelable double-layer structure ・T-peel strength between PET and PVA :～100mN/20mm 支持層 (PET) ■ 高透明・高平滑 Support-layer “PET” High-transparency and High-smooth surface ・Transmittance @ 365, 436 and 589 nm : approx. 90 % ・Sa : 15nm (measured by White light interferometry) ■ 水溶性・耐薬品性 Excellent Water solubility and organic solvent resistance of PVA layer 水溶性層 (PVA) Water-soluble layer “PVA” ■ 湿度の影響に依らない高い寸法安定性 Excellent stability of dimension under various moisture conditions 【 想定分野 】 ◆ 機能膜、レジスト、薄膜の平面 /立体面への転写プロセス Transfer process of functional membrane, photoresist and thin membrane to planar / three dimensional surfaces ◆ 機械部品、電子材料等へのテクスチャリング加工 Microfabrication to machinery parts and electronic parts, etc ◆ 水で除去可能な一時保護 Temporary protection removable with water お問合せは 商品開発本部 c-d@aicello.co.jp アイセロHP：SOシート情報 2023.01

PET / PVA二層フィルム SOシート の工程例 ■ 機能膜の転写　Transfer of functional membrane SOシート上に材料塗布　　⇒　　基材に貼合　　⇒　　PVA溶解 Coating of a material on PVA Lamination to a substrate Dissolution of PVA with water ■ 自立薄膜の作製　Fabrication of self-supporting thin membrane SOシート上に材料塗布　　⇒　　PVA溶解 Coating of a material on PVA Dissolution of PVA with water SOシートに塗る Coating on PVA layer ダイ塗工 スピンコート スクリーン印刷 インクジェット印刷 蒸着・スパッター Die-coating Spin-coating Screen printing Inkjet printing Vapor or Sputtering Deposition PVA PET SO sheet etc 機能性材料、パターン等を成膜 Sheet forming on PVA of functional materials, and patterns, etc 塗工材料例：フォトレジスト、導電性ポリマー、UV硬化性樹脂、機能性ポリマー、PDMS、CNT、金属インキ、金属薄膜等 Example of coating material : Photoresist, Conductive polymer, UV-curing resin, various functional polymers, PDMS, CNT, Metal ink, Metal thin membrane, etc 塗工物を基材に貼る Lamination of coated materials to substrate PETを剥離 基材に貼合※ Peeling of PET from SO sheet Lamination to Substrate 基材に貼合※ PETを剥離 Lamination to Substrate Peeling of PET from SO sheet ※ 基材と塗工物の密着性 ⇒　塗工物と基材表面との相性に依存 or プライマーをコーティング100mN/20mm以上が好ましい Adhesion between coated material and substrate ⇒ Depending on compatibility between coated material and substrate surfaceor or Primer coating for enhancing laminated strength Preferably 100mN/20mm or more in the case of PET peeling after lamination PVAを溶かす Dissolution of PVA with water 機能膜の転写 Transferring of functional membrane PVAを水洗する Wate-washing and dissolving of PVA 自立膜薄の取り出し Production of self-supporting thin membrane お問合せは 商品開発本部 c-d@aicello.co.jp アイセロHP：SOシート情報 2023.01

SOシート の工程例 保護する Protection by SO sheet 基材に貼合※ PETを剥離 薬液処理等に対して一時保護 Lamination to Substrate Peeling of PET from SO sheet Tentative protection for chemical treatment, etc PVAを水洗する ※ 水を滴下し、表面張力を利用して貼合 Water-washing and dissolving of PVA Dropping water on a substrate and using surface tension to laminate ※ 粘着グレード（開発品）を利用 Using a developed grade with pressure sensitive adhesion [ SOLUTIONS ] ■ 三次元リソグラフィ加工技術 ご協力： ■ 三次元リソグラフィ加工技術例 豊田工業大学工学部 佐々木実教授 Illustrations of 3-D Lithography processing technique 3-D Lithography processing technique Cooperation and Support:Prof.Sasakifrom Toyota technological Institute ✓高低差220µmの平凸レンズへの微細加工 Fine-processing to a Plano-Convex Si lens UV light フォトマスク フォトレジスト Photomask Photoresist (3000倍) レジスト PVA (線幅2μm) Photoresist PET ✓凹型金型への微細加工 レジスト材料を成膜 曲面基板へ貼り付け、PET剥離 Fine-processing of concave mold 曲面基板 Coating photoresist on PVA Laminating to curved substrate, and peeling of PET Curved substrate ・スピナーで均一なレジスト成膜が難しい Difficulty in uniform photoresist coating by spinner 10m m 100μm ・露光時のギャップが均一ではない。 平面でレジストを露光 PVA水解、レジスト現像 Exposure by UV on planar Water-washing and dissolving of PVA, and developing of resist Ununiform Gap between Photomask and photoresist 500μm ✓金属ロールへの抗菌パターン作製およびフィルムへの転写 ⇒ パターンが微細になるほど光回折に Antibacterial pattern formation on a cylindrical metal surface and a plastic film よりパターンが乱れる In this case, the pattern becomes finer, the pattern 潜像パターン付きシート is disturbed by light diffraction. Acquisition of a sheet with a latent image pattern エッチング、デポジション、ドーピング Etching, Deposition, Doping ■ 自立薄膜の作製 Production of self-supporting thin membranes Spinner or Deposition PVA PET SO sheet PVA上に薄膜成膜 PET剥離 アクリ枠 自立薄膜取り出し Coating on thin membrane material Peeling of PET from PVA溶解 Acrylate frame （打ち抜き部） membrane / SO sheet conjugate Dissolution of PVA onto water Removal of self -supporting membrane by acrylate frame 自立化事例 Produced illustration of self-supporting thin membrane サイトップ（フッ素樹脂）1µm Au 500nm CNT 75nm Fluorine resin お問合せは 商品開発本部 c-d@aicello.co.jp アイセロHP：SOシート情報 2023.01