ハーメチック・フィードスルー＆コネクタ

ハーメチック ・ 　フィードスルー＆コネクタ ハーメチックフィードスルー ハーメチックコネクタ 超高真空用直線 ・ 回転導入機 光ファイバーフィードスルー グランドフィードスルー コンプレッションフィッティング TECSAM Inc.

目　次 　弊社テクサムは、1996 年米国の高強度、ローアウトガスのエポキシによるハーメチック・フィード スルー &コネクタ（電線、熱電対、ケーブル、D-Sub コネクタ、丸型コネクタ、同軸ケーブル、同 軸コネクタ、電極、光ファイバー等のハーメチック製品）の輸入販売を開始し、現在は各種ハーメチッ ク全般及び関連製品を取扱っております。　本カタログには、エポキシによるハーメチック・フィードスルー &コネクタ、超高真空・高真空用、ベローズ式の直線、回転導入機、セラミックグラスを使用した超高 真空用光ファイバーフィードスルー、エポキシを使用した高真空用光ファイバーフィードスルー、英 国 TC社のグランドフィードスルー、コンプレッションフィッティングを掲載しております。 　又、別冊として、超高真空用ビューイングポート、電流導入端子、超高真空用電線、超高真空用コ ネクタ、超高真空用アクセサリー等を掲載したカタログ、熱電対コネクタ、熱電対関連アクセサリの カタログ等もあります。 　真空、圧力容器等への貫通シール等でお困りの際は、ご遠慮なくお問い合わせ下さい。 　　　【内容】 【 頁】 目次 01 ハーメチックの選定について 02 ハーメチックフィードスルー 03 ～ 04 ハーメチックコネクタ 05 ～ 06 ハーメチック 標準在庫品 07 ハーメチック ハウジング 08 D-Sub シールコネクタ 09 超高真空用直線・回転導入機 10 ～ 12 光ファイバーフィードスルー 13 ～ 16 グランドフィードスルー 17 ～ 23 コンプレッションフィッティング 24 ～ 25 仕様伺書 26 使用先実績 （敬称略、あいうえお順） INC エンジニアリング 京都大学 セイコーエプソン 日本電計 アリオス 高エネルギー加速器研究機構 セキテック 日立製作所 宇宙航空研究開発機構 高輝度光科学研究センタ― 筑波大学 分子科学研究所 大阪大学 産業技術総合研究所 電気通信大学 北海道大学 核融合科学研究所 島津製作所 東京大学 理化学研究所 川崎重工業 首都大学東京 東芝 九州工業大学 昭和機械 東北大学 九州大学 住友重機械工業 日本電機 01 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032

ハーメチックの選定について 　弊社テクサムは、下記 4種類のハーメチック関連を主として、取扱っております。本カタログには、 ハーメチック・フィードスルー＆コネクタ、グランド・フィードスルーを掲載しております。超高真 空ハーメチック・コネクタ、電流導入端子＆ビューイングポート、熱電対コネクタ関連製品について は、別冊のカタログを用意しております。弊社ホームページをご参照下さい。 別冊カタログ記載 別冊カタログ記載 ハーメチック 超高真空 電流導入端子 フィードスルー＆コネクタ グランド ・ フィードスルー ハーメチックコネクタ ビューイングポート 高強度、 ローアウトガスのエポ 各種ソフトグランドパッキンによ 最新のセラミックグラス接合技術 セラミックをメタライズし端子、 キシモールドによって、 電線、 り、 シース熱電対、 電線、 電極 により気密性を保ちます。 超高 ハウジングにロウ付けすることに ケーブル、 同軸、 各種コネクタ、 等をコンプレッションシールしま 真空、 高温での使用が可能で より気密性を保ちます。 光ファイバー等の気密性を保ち す。 プローブ （貫通物） の表面 す。 但し、 衝撃等に弱く、 特に 超高真空、 高温での使用が可 ます。 多芯シールドケーブル、 からのコンプレッションシールで 溶接取付の場合は、 気密部に 能です。 溶接取付の場合は、 USB ケーブル、光ファイバーケー すので、 プローブ断面が気密性 高熱がかからないように溶接す 気密部に高熱がかからないよう ブル等のハーメチックフィードス のない、 より線、 ケーブル等の る必要があります。 に溶接する必要があります。 ルーの製作ができます。 各種コ 貫通シールはできません。 D-Sub、 C-Sub、 丸型形状、 又、 高耐圧、 寸法指定等特注での 特 ネクタタイプの製作も可能です。 アッセンブリ品での納入、 現場 熱電対、 同軸、 POWER 端子があ 製作が可能です。 又、 任意のフ 徴 弊社に一部在庫があります。 での組立も可能です。 ります。 容器側接続コネクタとして ランジに任意の電流導入端子を ・ お問い合わせ下さい。 金属は SUS316L、 ASME PEEK、 マコール製があります。 配置した、 カスタムメイド品の対 用 高真空チャンバへの電気信号、 316/316L コンパチブルです。 超高真空、 高真空チャンバへ 応も行っております。 途 パワー、 同軸信号、 熱電対、 PT、NPT が標準品になりますが、 の電気信号、 パワー、 同軸 超高真空、 高真空チャンバへの 各種ケーブル等の導入。 PF, 溶接タイプも可能です。 グラ 信号、 熱電対などの導入。 電気信号、 パワー、 同軸信号、 エポキシでの製作になりますの ンドパッキン （シーラント） はネ 超高真空用のアクセサリー 熱電対などの導入。 で、 任意のフランジに任意のプ オプレン、 テフロン、 バイトン、 （電線、 圧着端子、 端子台、 結 石英、 サファイヤ、 ZnSe、 ローブ、 コネクタを取付ることが ラバ （ケイ酸マグネシウム）、 グ 束部品等） の他、 高真空用アク CaF2、 MgF2 製のビューイング 可能ですし、光ファイバー、電線、 ラファイトがあります。 チャンバ セサリー、 PEEK、 マコール製の ポートの他、 レーザー用、 非磁 同軸等の複合フィードスルーの への電気信号、 パワー、 熱電 素材も取扱っております。 性のビューイングポートも取扱っ 製作も可能です。 対などの導入。 ております。 温 － 50℃～＋ 150℃ － 200℃～＋ 870℃ － 200℃～＋ 250℃ － 269℃～＋ 450℃ 度 圧 超高真空～ 0.1Mpa 程度 高真空～ 100Mpa 程度 高真空～ 70Mpa 程度 超高真空～ 0.1Mpa 程度 力 （高耐圧は、 別途ご相談下さい） 納 即納～ 1.5 ヶ月前後 即納～ 2 週間前後 即納～ 3 週間前後 即納～ 2 週間前後 期 　 製 　 品 例 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 02

ハーメチックフィードスルー 高強度、低アウトガスのエポキシでモールドされた、ハーメチック・フィードスルーです。半導体、Ｘ線、電力、 スペースシュミレーション、その他真空関連、圧力容器関連の分野で使用されています。　基本的には受注 生産で、納期は御下命後、約 3～ 6週間前後です。　弊社には、一部在庫がありますので、お急ぎの方は、 ご検討下さい。 圧力：10^-8 Torr ～ 100 MPa 温度：-50℃ ～ +150℃ 　 ハ ー フメ 電線フィードスルー ィチ ー 電線、及び各種ケーブルのフィードスルーです。　 ッ ドク SAE 電線フィードスルー、FS(PFS) 電線フィードスルー、CF 電線 ス フィードスルーなどを在庫しています。　ケーブルについては、 ル フラットケーブル、リボンケーブル、シールド付多芯ケーブルの ー 他、高電圧、高密度電線フィードスルー等の製作ができます。 同軸フィードスルー 各種同軸 (RG-58、-59、-174、-178、-179 、-188etc.)、同軸多芯ケー ブル等、いろいろな同軸フィードスルーの製作が可能です。１つ のハウジングに高密度に、数百本の同軸ケーブルを貫通シールす ることもできます。又、同軸ケーブルと同じハウジングに、光ファ イバー、電線、熱電対などを、同時に貫通シールした、複合フィー ドスルーの製作も可能です。 熱電対フィードスルー タイプ K、T、E、J、R、S、C など、各種いろいろなサイズの熱 電対の貫通シールが製作できます。　熱電対に限らず、補償導線 での製作も可能です。もちろん、同じハウジングに、光ファイバー、 電線、電極などを、同時に貫通シールした、複合フィードスルー の製作も可能です。 電極フィードスルー いろいろな材質、サイズの電極フィードスルーの製作ができます。 標準的には、750A、5Kv まで製作可能です。　使用環境雰囲気が、 オイル、フロン（R-12、R-22、R134a、R-123）など、各種雰囲 気での使用実績があります。 もちろん、複数極の電極フィードスルーの製作もできます。 ケーブルフィードスルー いろいろなケーブル・フィードスルーの製作ができます。 左図は、上より、時計回りに、SAE ハウジングに赤の AWG#24 の 4 対シールドケーブルを貫通シールしたもの、NW25 に LAN ケーブルを貫通シールしたもの、ICF70フランジに IEEE-1394ケー ブルを貫通シールしたものです、このような、高速通信ケーブル やサーボ・エンコーダー・ケーブル、カメラ・ケーブルなど、通 常のハーメチック端子では、ノイズ等の関係で容器内に貫通シー ルできないものまで、ケーブル・フィードスルーでは製作出来ま す。1つのハウジングに、数百本のケーブルを高密度で、貫通シー ルすることも出来ます。USB ケーブル、HDMI ケーブルのハーメ チック・ケーブル・フィードスルーの製作も可能です。 03 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032

ハーメチックフィードスルー ハーメチックフィードスルー　製作例 　 ハ ー フメ ィチ ーッ ドク ス ル PEEK 被覆線の高電圧（DC2Kv) フィードス フラットケーブルフィードスルーです。 ICF254 のフランジに、赤、白の RG-188A/ ー ルーです。1つのハウジングで 260 本貫通 50 芯を ICF70 フランジに貫通シールして Uの同軸をトータル 660 本、貫通シール シールしています。 います。 しています。 ICF34フランジに、4本の通信用光ファイバー プリント基板のフィードスルーです。 フレキシブルプリントケーブルフィードスルー コードを貫通シールしたものです。両端 FC コネクタ。 リボンケーブルのフィードスルーです。 TRIAXIAL 高圧フィードスルー (70MPa) キャスティングエポキシハウジング VF100 フランジに 14C のリボンケーブルを 100 本貫通シールしています。 USB & IEEE-1394 複合フィードスルー BNC, SMA ,USB & LAN 複合フィードスルー 同軸＆ LAN複合フィードスルー http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 04

ハーメチックコネクタ 高強度、低アウトガスのエポキシでモールドされた、ハーメチック・コネクタです。　半導体、Ｘ線、電力、 スペースシュミレーション、その他真空関連、圧力容器関連の分野で使用されています。　基本的には受注 生産で、納期は御下命後、約 3～ 6週間前後です。　弊社には、一部在庫がありますので、お急ぎの方は、 ご検討下さい。 圧力：10^-8 Torr ～ 100 MPa　 温度：-50℃ ～ +150℃ ハ ー メ D-Sub シールコネクタ チ 左図は長方形の SUS304 フランジに、D-Sub シールコネクタをエポキ ッ ク シモールドしたものです。通常、大気側がオス、容器側がメスとなり コ ます。　又、逆向きに取付も可能です。　メス側にバイトンOリン ネ グが取付けられており、容器とのシールはOリングで行います。 左 ク 図はMIL-C-24308 に準拠し、9、15、25、37、50 ピンが標準となり タ ます。　標準以外にHDタイプ、Micro-D タイプのD-Sub シールコネ クタ、熱電対のD-Sub シールコネクタの製作も可能です。 各種同軸シールコネクタ 左図の通り、BNC( 左上 )、SMA( 右上 )、SHV( 右下 )、TRIAXAXIAL( 左下 ) など、任意の同軸コネクタで、ハーメチック・コネクタの製作ができ ます。フローティング・タイプの他、グランド・タイプも製作出来ま す。任意のフランジに任意のコネクタを複数、取付けたり、客先の任 意の仕様で製作出来ます。 LAN、 USB、 モジュラーハーメチックコネクタ 左図の通り、LAN(RJ45) コネクタ、USB コネクタ、モジュラー (RJ12) コネクタ等のハーメチックコネクタの製作ができます。　ストレート 結線の他、クロス結線等での製作も可能です。 各種丸型シールコネクタ 左図の丸型シールコネクタの他、MIL 規格の丸型ハーメチックコネク タや、角型、丸型のハーネスのハーメチックコネクタ、 その他、各種ハーメチックコネクタの製作ができます。メタルコネク タの他、プラスチックコネクタ等での製作も可能です。 05 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032

ハーメチックコネクタ ハーメチックコネクタ　製作例 ハ ー メ チ ッ ク LAN ハーメチックコネクタ RJ12 ハーメチックコネクタ USB2.0 ハーメチックコネクタ コ ネ ク タ USB3.0 ハーメチックコネクタ SMAコネクタ× 4 TRIAXIAL × 4、 BNC × 1 NWフランジ ハーメチックコネクタ VF フランジ ハーメチックコネクタ BNC× 1、 LEMO× 1 LAN× 7 ハーメチックコネクタ 4ピン ICF70 フランジ ハーメチックコネクタ VF100 フランジ ハーメチックコネクタ MIL-C-5015 ハーメチックコネクタ 7ピン ハーメチックコネクタ ハーメチックコネクタ #12(4PIN) & #16(18PIN) #12(4PIN) & #16(18PIN) MIL-C-5015 MIL-C-5015 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 06

ハーメチック標準在庫品 電線長 電線長 ハウジング 電線サイズ 本数 被覆 電圧 電流 HEX 側 ネジ側 型番 電線フィードスルー SAE1/2" AWG#18 3 テフロン 600V 24A 600mm 600mm 11504 SAE3/4" AWG#18 9 テフロン 600V 24A 600mm 600mm 18014 SAE3/4" AWG#16 6 テフロン 600V 32A 600mm 600mm 19018 SAE3/4" AWG#12 2 テフロン 600V 55A 350mm 150mm 18019 FS3/4" AWG#24 15 テフロン 600V 10A 1,000mm 1,000mm 14021 ICF34 AWG#20 5 テフロン 600V 17A 600mm 600mm 07016 ハ ESO-010 AWG#24 4 テフロン 600V 10A 500mm 500mm 20022 ー 標メ EP3/4" AWG#20 10 テフロン 1Kv 17A 600mm 600mm 20021 準チ 在ッケーブルフィードスルー （シールド＆同軸） 庫ク 品ハウジング ケーブル 本数 被覆 電圧 電流 電線長 HEX 側 電線長 ネジ側 型番 HEX 側 コネクタ ネジ側 コネクタ SAE3/4" AWG#24　4 対ツイストシールド 1 テフロン 300V 1.5A 600mm NC 600mm NC 19019 SAE3/4" AWG#24　4 対ツイストシールド 1 テフロン 300V 1.5A MAX 2m USB MAX 2m USB 19020 SAE3/4" AWG#24　4 対ツイストシールド 1 テフロン 300V 1.5A MAX 2m LAN MAX 2m LAN 19021 SAE3/4" RG-59/U 1 テフロン N/A N/A 150mm NC 150mm NC FS3/4" RG-178B/U 3 テフロン 1Kv A 1m NC 1m NC 19022 NC: No Connector 熱電対フィードスルー 電線長 HEX 側 電線長 ネジ側 ハウジング 熱電対ケーブル 対数 被覆 型番 HEX 側 コネクタ ネジ側 コネクタ PT1/2" AWG#28　DUPLEX 3 テフロン 1m NC 1m NC 11501 NW25 AWG#28　DUPLEX 20 テフロン 600mm NC 600mm NC 20019 ハーメチック LAN&USB コネクタ ハウジング コネクタ数 HEX 側 ネジ側 備考 型番 コネクタ コネクタ FS1" 1 LAN メス LAN メス ストレート結線 15013 FS1" 1 USB2.0 メス USB2.0 メス TYPE A 16030 FS1" 1 USB3.0 メス USB3.0 メス TYPE A 18004 ハーメチック同軸コネクタ ハウジング コネクタ数 HEX 側 ネジ側 備考 型番 コネクタ コネクタ FS3/4" 1 BNC ジャック BNC ジャック 14013 FS1/2” 1 SMA ジャック SMA ジャック 高圧 (24MPa) タイプ 14004 FS1/2" 1 SMA ジャック SMA ジャック 19023 FS3/4" 1 TRIAX ジャック TRIAX ジャック 15016 FS1" 1 SHV ジャック SHV ジャック DC5Kv 15007 電極フィードスルー 上記は全てフローティングタイプですが、 グランドタイプの製作も出来ます。 ハウジング 電極 （無酸素銅） 本数 電圧 電流 両サイド　オネジ 型番 FS1/2" φ 5.0mm　全長 90mmL 1 AC5Kv 120A M5x15mmL 17025 07 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032

ハーメチックハウジング SAE ハウジング O リング 詳細 A 参照 詳細 A HEX ネジ T E φ D φ D　+0.1/-0.0 0.3R J B E 15°± 1° ネジ T +0.3/-0.0 45°± 5° ハ ー メ L1 φ C チ ッ J ク ハウジング ネジ T L1 HEX O リング B φ C ( 最少 深さ ) ( 最少 ) φ D E ( 最少 ) ハ ウ SAE1/2" 1/2-20 UNF-2B 18mm 5/8" 3-905 11.5mm 5.9mm 14.0mm 2.4mm 13.9mm ジ ン SAE3/4" 3/4-16 UNF-2B 20mm 7/8" 3-908 14.3mm 9.9mm 20.6mm 2.5mm 17.5mm グ ＊ B,J の寸法は、 高圧 (21MPa) で使用する場合の参考値です。 FS ハウジング I B(HEX) H 　ＦＳハウジングのマウント加工は、 該当サイズのメネジ 加工を行うか、 スルーホール加工を行い、 付属のナット で、 容器側フランジ等を挟み込んで下さい。 　 O リング接触面の表面精度に留意下さい。 K(HEX) C J ネジ A ハウジング ネジ T A B C H I K(HEX) O リング FS1/2" 1/2"-20 UN 29.2 22.2 19.1 22.2 6.6 17.5 2-015 FS3/4" 3/4"-16 UN 33.0 31.8 19.1 31.8 7.2 25.4 2-117 FS1" 1"-14 UN 38.1 41.3 24.1 41.3 7.6 31.7 2-215 その他、 標準的なハウジングについて NW ハーフニップル エポキシエクステンション ICF ハウジング NW ハウジング エポキシハウジング 上記 SAE、 FS ハウジングの他、 ICF、 NW、 JIS VF フランジ、 特注フランジ等任意のハウジングで、 ハーメチックフィード スルー＆コネクタの製作が出来ます。 　但し、 シール長さを確保するため、 ハウジングによっては上図 ICF の様に、 エポ キシエクステンションを追加したり、　NW ハウジングの様に、 ハーフニップルのハウジングを使用したりします。 　又、 比較 的安価なハウジングとして、 エポキシキャスティングのエポキシハウジングなどもあります。 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 08

D-Sub シールコネクタ D-Sub シール ・ コネクタ　エポキシモールドハウジング MIL-C-24308 シリーズ 109 準拠、 DC500V, 3A 温度 ： -55℃～ +105℃、 大気側 ： オス、 容器側 ： メス Ｈｅリーク ： < 1.0 x 10 -8 Atm･cc/sec　　　熱電対タイプの製作も可能です。 #4-40 取付部加工図 (Oリング接触部の表面精度は1.6S) シ F R1.6 ーＤ M2.6x2 ル エポキシモールド D E ( 最小深さ 3.5mm) コＳ ネｕ クｂC タ ピン数 A B C D E F 型番 O リングバイトン 9 56.90 25.2 18.8 31.24+0.25/-0 47.24 12.95+.025/-0 14002-9 15 65.28 25.2 18.8 36.92+0.25/-0 55.63 12.95+0.25/-0 14002-15 B 25 79.25 25.2 18.8 53.59+0.25/-0 69.60 12.95+0.25/-0 14002-25 37 95.50 25.2 18.8 69.85+0.25/-0 85.85 12.95+0.25/-0 14002-37 50 94.74 28.2 18.8 67.56+0.25/-0 85.09 12.95+0.25/-0 14002-50 A 【UNIT:mm】 D-Sub シール ・ コネクタ　角型ステンレスハウジング MIL-C-24308 シリーズ 109 準拠、 DC500V, 5A 温度 ： -55℃～ +125℃、 大気側 ： オス、 容器側 ： メス Ｈｅリーク ： < 1.0 x 10 -8 Atm･cc/sec　　　熱電対タイプの製作も可能です。 D-Sub プラグ ( ピン） #4-40x4 マウント加工図 304SS (Oリング接触面の表面精度は1.6S) G H E R3.2 J M3 タップ x4 D C エポキシモールド A B ピン数 A B C D E F G H J K O リング 型番 F K 9 58 49.2 32 34.8 20.2 14 5 18 15.6 30 2-125 14032-9 15 68 59.4 41 43.2 20.2 14 5 18 15.6 30 2-129 14032-15 D-Sub レセプタクル 25 78 69.5 55 57.2 20.2 14 5 18 15.6 30 2-134 14032-25 ( ソケット ) O リング ( バイトン ) 37 94 84.8 71 73.4 20.2 14 8 15 15.6 30 2-140 14032-37 50 94 84.8 69 71.2 23.4 17 8 15 18.8 32 2-140 14032-50 【UNIT:mm】 上記は何れも、エポキシモールドの高真空用 D-Sub シールコネクタです。　上記以外に高密度タイプの D-Sub、マイクロ D-Sub 等、 各種 D-Sub シールコネクタの製作も可能です。 熱電対タイプの場合、末尾に熱電対タイプを表す記号（K, T など）を記入ください。 　 熱電対タイプのピン配置は、 基本的に奇数ピンが （+）、 偶数ピンが （-） となります。 また、 上記以外にセラミックグラスを使用した超高真空 D-Sub シールコネクタも取扱っております。 別途カタログがありますので、 弊社ホームページより、 お申込み下さい。 09 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 -

超高真空用直線・回転導入機 超高真空用直線 ・ 回転導入機 回転式直線導入機 高い耐熱性能 （最大 250℃） を備えた回転式直線導入機は、 大気側から真空側へ直線運動を与えます。 真空側は超高 真空用潤滑剤 （クライトックス） を使用したフィルムベアリング、 大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。 シャフトは高圧 ・ 寿命特性に優れた AM350 ベローズでエッジ溶接されており、 超高真空領域で使用が可能です。 直線運動量は 25mm または 50mm タイプがあります。 直線目盛 ： 0.025” 回転目盛 ： 0.001” ＊オプションで DC ステップモータ、 シャフト径 ： 0.25” 高トルク DC ステップモータ、 リバー 位置ロック可 シブル AC モータ等を取付できます。 真空度 ： 1 x 10^-10 Torr 型番 フランジ 温度 ： ～ 250℃ RLM25-133 ICF34 RLM25-275 ICF70 RLM50-133 ICF34 RLM50-275 ICF70 　 RLM25-N16 NW16 RLM25-N40 NW40 　超 RLM50-N16 NW16 高 RLM50-N40 NW40 真 回空 転用 導直 入線　 プッシュプル式直線導入機 機・　 　 プッシュブル式直線導入機は、 すばやく真空チャンバ―内で直線移動するのに最適です。 真空側は超高真空用潤滑剤 （クライトックス） を使用したフィルムベアリング、 大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。 シャフトは AM350 ベローズでエッジ溶接されており、 超高真空領域で使用が可能です。 直線運動量は 25mm または 50mm タイプがあります。 直線目盛 ： 0.025” 型番 フランジ 回転目盛 ： 0.001” PLM25-133 ICF34 シャフト径 ： 0.25” PLM25-275 ICF70 位置ロック可 PLM50-133 ICF34 真空度 ： 1 x 10^-10 Torr PLM50-275 ICF70 温度 ： ～ 250℃ PLM25-N16 NW16 PLM25-N40 NW40 PLM50-N16 NW16 PLM50-N40 NW40 回転式回転導入機 高トルク （最大 1.8N-m） 対応の回転式回転導入機は大気側から真空側へ回転運動を伝えます。 回転目盛は 5°、 回転 位置をロックできます。 真空側はタングステンジスフィドを使用したドライフィルムベアリング、 大気側は高温用クライトック スを使用したベアリングです。 シャフトは AM350 ベローズでエッジ溶接されており、 超高真空用機器としてご使用いただけ ます。 　　　　　　　　　　　　　　　　 ＊オプションで DC ステップモータ、 直線目盛 ： 5° 高トルク DC ステップモータ、 リバー シャフト径 ： 0.25” シブル AC モータ等を取付できます。 位置ロック可 真空度 ： 1 x 10^-10 Torr 型番 フランジ 温度 ： ～ 250℃ RRM-133 ICF34 高トルク （最大 1.8N-m） 対応 RRM-275 ICF70 RRM-N16 NW16 RRM-N40 NW40 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 10

超高真空用直線・回転導入機 ウォブルスティック導入機 ウォブルスティック導入機は、 真空容器に導入したスティックの先端に運動を与えます。 操作方法は基本的に手動となり、 44° ,12.7mm, シャフト径 0.125" と 60° ,25.4mm, シャフト径 0.25" の２種類があります。 前者は最大で水平方向に± 1/4”、 最大角度± 22° , 後者は最大で水平方向に± 1/2”、 最大角度± 30°の範囲で任意に移動ができます。 フランジは ICF、 NW タイプがありますが、 フランジサイズによって移動範囲に制限があります。 型番 フランジ WBM44-133 ICF34 WBM60-275 ICF70 WBM44-N16 NW16 WBM44-N40 NW40 WBM60-N40 NW40 真空度 ： 1 × 10^-10 Torr [ 寸法インチ ] 温度 ： ～ 250℃ 　 　超超高真空用直線 ・ 回転導入機モーターオプション 高 真下記モーターオプションは、 左頁の導入機に取付けた状態で納入されます。 回空下記価格には本体側アタッチメント、 モーター側アタッチメント等が含まれています。 　 転用 導直 入線 Option.11 DC ステップモーター　 Option.12　高トルク DC ステップモーター　 　 機・　 サイズ ： NEMA23 （56.4mm） サイズ ： NEMA23 （56.4mm） 　 ステップ角 ： 1.8° ステップ角 ： 1.8° 定格電圧 ： DC5.0V 定格電圧 ： DC3.0V 定格電流 ： 1.0A 定格電流 ： 2.0A 静止トルク ： 0.53N ‐ m 静止トルク ： 1.20N ‐ m リード線 ： 6 線 - L300mm リード線 ： 6 線 - L300mm Option.21　AC モーター　 Option.31 エアー式 90°　アクチュエーター　 定格電圧 ： AC115V/60Hz 消費電力 ： 7.5W トルク ： 0.85N ‐ m 回転数 ： 10 rpm リード線：4 線 （リバーシブル） 回転式回転導入機 DC ステップモーター取付イメージ モーター取付　構成イメージ　　　　　　　　　　　　　　　　　　 本体側アタッチメント モーター側アタッチメント　 11 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032

超高真空用直線・回転導入機 シャフト 1/8"&1/4" 型番 長さ 型番 長さ PGSS125S6 6" PGSS250S6 6" シャフト径 ： 1/8” PGSS250S12 12" PGSS250S24 24" シャフト径 ： 1/4” 超高真空用ベアリングマウント 超高真空用ベアリング (1/4" シャフト用 ) (1/4" シャフト用 ) 　 ロータリーベアリングマウント ライナーベアリングマウント ロータリーベアリング ライナーベアリング 　超 高 真 回空 転用 導直 入線　 機・ 型番 ： RBMT250 型番 ： LBMT250 型番 ： RBB250 型番 ： LBB250 　 　 カップリング(1/8"&1/4"シャフト用) フレックスカップリング ベローズカップリング スリーブカップリング 1/4” シャフト用 1/4" シャフト用 型番 ： BELC250 1/4" シャフト用 型番 ： SLVC250 型番 ： FLEXC250 1/8" シャフト用 型番 ： BELC125 1/8" シャフト用 型番 ： SLVC125 ユニバーサルジョイント、 マイタ＆ベベルギア スクリューセットカラー (1/8"&1/4" シャフト用 ) (1/8"&1/4" シャフト用 ) ユニバーサルジョイント マイタ＆ベベルギア 1/4" 用型番 ： UNVJT250 1/4" 用型番 ： MBGR250 1/4" シャフト用型番 ： SETCOLL250 1/8" 用型番 ： UNVJT125 1/8" 用型番 ： MBGR125 1/8" シャフト用型番 ： SETCOLL125 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 12

光ファイバーフィードスルー 超高真空用 & 高真空用光ファイバーフィードスルー 超高真空用の光ファイバーフィードスルーです。 最新のグラスセラミック接合技術によって製作されています。 SMA905 が標準コネクタです。 また、 超高真空用のポリイミドバッファの光ファイバーも取扱っています。 　　　　　　　　　　　　　　　　　 超高真空光ファイバーフィードスルー使用例 【反射型システム例】 分光器 反射プローブ 光源 試料 真空容器隔壁 光ファイバーフィードスルー 計測器 【透過型システム例】 光ファイバー 光ファイバー 　 アダプター 　光 超高真空用アダプター フ ァ 超高真空用 ィイ コリメーターマウント バ ドー ス ル グレードインデックス ー マルチモード光ファイバーフィードスルー ICF/NW フランジタイプ 真空度 ： 1 x 10^-10 Torr （NW タイプ、 ボルトタイプは真空度 ： 1 x 10^-8 Torr） 温度 ： -200℃～ 250℃ 波長 ： 850/1,300nm グレードインデックスマルチモード伝送ロス ： <3.0db at 850nm <0.8db　at 1,300nm　　　　　　　　　　　 　GI マルチモード グレードインデックス 型番について ICF フランジタイプ一覧表　 NW フランジタイプ一覧表　 型番 フランジ 型番 フランジ F6251-133 ICF34 F6251-N16 NW16 F6251-275 ICF70 F6251-N40 NW40 F6252-275 ICF70 F6252-N40 NW40 開口数 （NA） ： 0.27 ♦ F625 ： 62.5/125 μm　　 開口角 （2θ） ： 31.3° ボルトタイプ 最大 27mm の厚みに取付可能　　真空度 ： 1 x 10^-8 Torr　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 型番について 型番 ボルト 寸法 : インチ F625-38 UNF-3/8” - 24 ♦ F625 ： 62.5/125 μm　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　38 ： UNF3/8”- 24　　　 13 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032

光ファイバーフィードスルー UV/VIS & VIS/NIR マルチモード 光ファイバーフィードスルー ICF/NW フランジタイプ UV/VIS, VIS/NIR マルチモード ステップインデックス　 真空度 ： 1x10^-10 Torr （NW タイプ、 ボルトタイプは真空度 ： 1x10^-8 Torr） 温度 ： -200℃～ 250℃ 開口数 （NA） ： 0.22 開口角 （2θ） ： 24.8° UV/VIS タイプ：200 ～ 800nm 　 ICF フランジタイプ一覧表 NW フランジタイプ一覧表 　光 型番 (UV/VIS) 型番 (VIS/NIR) 型番 (UV/VIS) 型番 (VIS/NIR) フ F1UV1-133 F1IR1-133 F1UV1-N16 F1IR1-N16 ァ F1UV1-275 F1IR1-275 F1UV1-N40 F1IR1-N40 ィイ F1UV2-275 F1IR2-275 F1UV2-N40 F1IR2-N40 バ ドー F2UV1-133 F2IR1-133 F2UV1-N16 F2IR1-N16 ス F2UV1-275 F2IR1-275 F2UV1-N40 F2IR1-N40 ル F2UV2-275 F2IR2-275 F2UV2-N40 F2IR2-N40 ー F4UV1-133 F4IR1-133 F4UV1-N16 F4IR1-N16 F4UV1-275 F4IR1-275 F4UV1-N40 F4IR1-N40 F4UV2-275 F4IR2-275 F4UV2-N40 F4IR2-N40 F6UV1-133 F6IR1-133 F6UV1-N16 F6IR1-N16 VIS/NIR タイプ：400 ～ 2200nm F6UV1-275 F6IR1-275 F6UV1-N40 F6IR1-N40 F6UV2-275 F6IR2-275 F6UV2-N40 F6IR2-N40 F0UV1-133 F0IR1-133 F0UV1-N16 F0IR1-N16 F0UV1-275 F0IR1-275 F0UV1-N40 F0IR1-N40 F0UV2-275 F0IR2-275 F0UV2-N40 F0IR2-N40 型番について F1UV1-133 ①　　②　　　 ③ ①　コア径 ②　ファイバー ③　フランジ F1 ： 　100 μ UV1 ： 1 本 133 ： ICF34 F2 ： 　200 μ UV2 ： 2 本 275 ： ICF70 ①ファイバーコア径 ： 100 μ F4 ： 　400 μ I R1 ： 1 本 N16 ： NW16 ② UV/VIS マルチモードファイバー 1 本 F6 ： 　600 μ I R2 ： 2 本 N40 ： NW40 ③ ICF34 フランジ F0 ： 1,000 μ　 ボルトタイプ 最大 27mm の厚みに取付可能　　真空度 ： 1 x 10^-8 Torr　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 型番について 型番 (UV/VIS) 型番 （VIS/NIR) 寸法 : インチ F1UV1-38 F1NIR1-38 F1 ： 　100 μ F2UV1-38 F2UV1-38 F2 ： 　200 μ F4 ： 　400 μ F4UV1-38 F4UV1-38 F6 ： 　600 μ F6UV1-38 F6UV1-.38 F0UV1-38 F0YV1-38 ♦ 38 ： UNF3/8”- 24　 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 14

光ファイバーフィードスルー 超高真空用光コネクタ用カプラー & アダプタ 大気側ファイバー 光ファイバーフィードスルー SMA905 コネクタ付 SMA905 コネクタ SMA905 TO SMA905 SMA905 TO SMA905 カプラー SMA905 TO SMA905 カプラー SMA905 TO FC　アダプタ 真空側カプラ 型番 ： VAD-SM/SM　 型番 ： VBA-SM/SM　 型番 ： VAD-SM/FC　 ベントホール付　　　　　　　　　　　バ　　ル　ク　ヘ　　ッ　ドタイプ 　ベントホール付　　　　　　　　SM　　A　90　5　 T　O　 　STもあります。 型番 ： VAD-SM/ST 大気側用光コネクタ用カプラー & アダプタ SMA905 コネクタ SMA905 TO SMA905 真空側ファイバー 大気側カプラ SMA905 コネクタ付 SMA905 TO SMA905 カプラー SMA905 TO SMA905 カプラー SMA905 TO FC　アダプタ 型番 ： AAD-SM/SM　 型番 ： ABA-SM/SM　 型番 ： AAD-SM/FC　 　 　バルクヘッドタイプ SMA905 TO STもあります。 　光 型番 ： AAD-SM/ST フ ァ ィイ バ ドー ス超高真空用光ファイバー ル 真空 ： 1 × 10 ＾ -10Torr　　　ステップインデックスタイプ　 　UV タイプ ： 200-800nm、 IR タイプ ： 400-2200nm ー 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　 マルチモード ポリイミドファイバー　　　　　　　　　 　 マルチモード アルミファイバー　　 コア径 UV タイプ IR タイプ コア径 UV タイプ IR タイプ ポリイミドバッファ 100 μ m PO1UV-39 PO1IR-39 ポリイミドバッファ 100 μ m AL1UV-39 AL1IR-39 クラッド ( シリカ） クラッド ( シリカ） コア(シリカ）　　20　0　　μ　　m　　P　O2UV-39 PO2IR-39 コア(シリカ）　2　0　0　μ　　　m　　A　L2UV-39 AL2IR-39 400 μ m PO4UV-39 PO4IR-39 400 μ m AL4UV-39 AL4IR-39 600 μ m PO6UV-39 PO6IR-39 600 μ m AL6UV-39 AL6IR-39 温度 ： -65℃～ 250℃　　　　　　　　　　　　　　 温度 ： -260℃～ 400℃　　　　1　0　0　0　μ　　m　　A　L0　UV-39 AL0IR-39 SMA コネクタ付光ファイバー 光ファイバーフィードスルーとの接続には SMA905 TO SMA905 カプラーが必要です。 Connector to Cable 型番について 大気側 両端コネクタ UV　V1-39SMA2 空白 ： 片端のみコネクタ 2 : 両端コネクタ ファイバー長さ　19 ： 19” Connector to Connector 　　　　　　　　　　 39 ： 39” 型番について 1000 μ m は 　 コア径　 　V1 : 100、 V2 : 200 UV A1-79SMA2 アルミファイバーのみ ( μ m）　　V4 : 400、 V6 : 600 （ポリイミド） コア径　 　A1 : 100、 A2 : 200 　　　　　　 V10 ： 1000 ( アルミファイバー） ( μ m）　　A4 : 400、 A6 : 600 UV : UV/VIS タイプ 　　　　　　 A10 ： 1000 IR ： VIS/NIR タイプ UV : UV/VIS タイプ 《オプション》 PEEK、 ステンレス編組、 銀メッキ銅編組スリーブ IR ： VIS/NIR タイプ ※グレードインデックスマルチモードタイプもございます。 詳細はお問合せください。 15 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032

光ファイバーフィードスルー コリメータレンズ 真空 ： 1 × 10 ＾ -10Torr　　　温度 ： 250℃　　SMA 接続 Effective focal length 0.472” Deep Ultraviolet Grade Back focal length 0.418” 0.400” dia 0.24” タイプ 1” タイプ 0.16” dia, 型番について COLL　*　-SS average SMA effective 型番 * 2 3 4 5 ferrule light spot ロック 0.210” ベント レンズタイプ 溶融石英 サファイア スクリュー 0.725” 3/8-24 UNF レンズサイズ 0.24” 1” 0.24” 1” 1.025” [0.24” タイプ ] 0.2　 0.4　 0.7　1.0　 2.0 　4.0　6.0　 8.0 波長 190 ～ 2500nm 150 ～ 5500nm Wavelength ( μ m） 超高真空用光ファイバーアクセサリ ベアファイバー / ベアファイバー PEEK 編組チューブ アダプター 　 　光 フ ベアファイバー ァ コリメータレンズ オプション ィイ アダプター バ ベアファイバーマウント コリメータマウント キュベットホルダー 1/2” オプティカル ドー フィルターホルダー 型番 ： SMA/BFA-MNT 型番 ： COLL-MNT 型番 ： COLL2/CUV2-MNT　 ス 型番 ： FO-FH ル ー 高真空用光ファイバー フィードスルー 光ファイバー ・ ハーメチック ・ フィードスルーは受注品となり、 納期は御下命後約 1 ～ 1.5 ヶ月です。 価格は製作数、 光ファイバーの仕様、 貫通本数、 光コネクタの有無、 ハウジングの形状等によってそれぞれ異なります。 各種ハウジングに光ファイバーを貫通し、 エポキシによってモールドします。 （下図参照） 石英系のファイバーについては、 特に問題ありませんが、 プラスチック系の場合はエポキシとの相性で問題が発生する場 合がありますので、 事前の試作等が必要になってくる場合があります。 圧力的には、 1 x 10^-9 Torr ～ 50 MPa までの製作が可能です。 温度的には -40℃～ +120℃が標準となります。 その他 の使用温度については御相談下さい。 ハウジングの材質、 形状については客先の仕様にて製作可能です。 HOUSING 　見積、 製作にあたっては、 下記の点をお知らせ下さい。 光ファイバーのアウタージャケット、 　　 BARE FIBER　 ケブラー等 を取除き、 クラッド等の 　　　a. ハウジングの材質、 形状、 サイズ KEVLAR STRANDS 上からエポキシをモールドする。 　　　b. 光ファイバーの容器側、 大気側の長さ 　　　c. 1 ハウジングあたりの光ファイバーの貫通本数 　　　d. 光コネクタの有無、 型番等 　　　e. 光ファイバーの断面構造。 コア、 クラッド、 OUTER JACKET 　 ジャケット等の径、 及びそれぞれの材質及び耐熱温度　 FIBER JACKET CLADDING　 製作例 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 16 Transmission(%)

グランドフィードスルー 英国ＴＣ社のグランドフィードスルーです。 熱電対、センサー、チューブ、被覆電線、裸電線、電極などを、グランドパッキンによって、コンプレッショ ンシールします。　シーリンググランドとも呼ばれます。プロセスプラント、製薬、発電、ガラス製造、 真空装置、半導体設備、石油、配電などの分野で使用されています。ボディの材質は SUS316L、取付部 は PT、NPT のいずれかを選択できます。 又、溶接タイプ、その他ユニファイネジ等の加工もできます。　 温度、圧力は、使用するシーラントの材質によって異なります。 圧力は、10^-6 Torr ～ 70MPa です。 シーラント グラファイト　/ 黒 グラファイト 98％、 ガス及び液体のシールに。 -200℃～ +550℃ 溶融金属、湿塩分には不適。 アスベストは使用していません。 （還元性雰囲気で～ +870℃） 熱衝撃に強い。 シーラントとして再使用できません。 ネオプレン　　/ 緑 クロロプレンゴムをベースとした合成ゴムです。弾性に優れ、 -40℃～ +90℃ 通常のゴムに比べ、 耐熱、 耐候、 耐オゾン、 耐油性が良く、 シーラントとして再使用できます。 ラバ　　/ 灰 天然ケイ酸マグネシウム （石鹸石、 凍石岩又は滑石）。 圧縮により、 パウダー状になります。 質量の軽いガスや、 -200℃～ +870℃ 湿気を透過しやすく、 吸湿性があります。 真空シールに適し ません。 シーラントとして再使用できません。 テフロン　　/ 白 PTFE （テフロン）。 耐薬品、 耐熱、 耐絶縁性が良い。 -200℃～ +250℃ 低摩擦係数、 耐湿潤、 シーラントとして再使用できます。 バイトン　　/ 茶 　 -40℃～ +225℃ フッ素エラストマー、耐薬品、耐油、耐溶剤、低浸透性。 （断続使用で～ +285℃） 又、 高温でも強固。 シーラントとして再使用できます。 　 グ ラ フン ィド EF シリーズ ー ド インシュレーター ス キャップ ル シーラント 電極貫通シール用のシリーズです。 電極径は 3.2mm、 6.4mm、 12.7mm φの ー ボディ 3 種類です。 電極の材質は銅、 又はステンレスですが、 オプションでニッケル 等も選択できます。 銅の場合は真鍮のナット ・ ワッシャでステンレス ・ ニッケル 電極 の場合はステンレスのナット ・ ワッシャです。 最大使用電流、 電圧はそれぞれ 200A.2Kv です。 　　　　 フォロア 使用温度 ： -200 ～ +870℃　圧力 ： 10^-6 Torr ～ 70MPa　ボディの材質 ： SUS316L インシュレーター 耐圧について 寸法について 下記表は常温 （20℃） での耐圧 （MPa） を示しています。 EF 1/4” 1/2” 3/4” A ( φ mm） L T V L T V L T V Cu 40A 3.2 60 35 55 SS 10A Cu 100A 6.4 45 15 40 C SS 15A B Cu 200A D G H E 12.7 20 15 15 SS 30A F 型番について EF - 1/2”　　PT - Cu - T A B C D E F G H 1/4” 52.0 14.5 19.0 19.0 125.0 28.5 13.5 ① ② ③ ④ 1/2” 67.5 20.0 25.4 25.4 165.0 37.5 27.0 ①　 ボディネジサイズ ③ 　電極の材質　 3/4” 86.0 20.0 38.0 32.0 215.0 43.0 33.0 　　　1/4”、 1/2”、 3/4” 　　 Cu : 銅　 SS : ステンレス　 Ni : ニッケル [mm] ②　 ボディネジの種類 ④　 シーラントの材質　 　PT、 NPT L : ラバ　　T : テフロン V : バイトン ( 他の特注も可） 　17 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032

グランドフィードスルー ＰＦシリーズ キャップ シーラント ボディ シングルプローブ用のフィードスルーです。 0.5mm φ～ 19.0mm φまであります。 フォロア プローブ シース熱電対、 測温抵抗体 （RTD), センサープローブ、 チューブなどの貫通シー ルができます。 使用温度 ： -200 ～ +870℃　圧力 ： 10^-6 Torr ～ 70MPa　　ボディの材質 ： SUS316L 型番について 耐圧について 下記表は常温 （20℃） での耐圧 （MPa） を示しています。 PF - 1/2"PT - 1.0 - V 下記表以外のサイズ、 （穴径） の製作も可能です。 ① ② ③ ④ ①　ボディネジサイズ PF　　 1/16” 1/8” 1/4” 1/2” 3/4” 　　 1/16”、 1/8”、 1/4”、 1/2”、 3/4” （φ mm） L T G L N T V G L N T V G L N T V G L T V ②　ボディネジの種類 0.5 PT、 NPT( 他の特注も可） 0.8 20 35 20 35 ③ 貫通穴の径　 1.0 55 45 55 　　 0.5mm φ～ 19.0mm φ 1.5 55 70 50 15 50 15 50 ④　シーラントの材質　 1.6 　　 G : グラファイト　　T : テフロン 2.0 45 10 　　　L : ラバ　　 　 V : バイトン 3.0 40 35 70 55 25 70 70 　　　N : ネオプレン 3.2 45 10 55 4.5 55 20 55 35 25 55 20 4.8 45 寸法について 6.0 55 70 A 　 45 15 55 55 40 6.4 　 8.0 30 15 45 10 グ C 9.5 35 25 D B E ラ 10.0 20 10 35 40 フン 12.0 A B C D E ィド 30 20 12.7 1/16” 28.0 9.0 9.5 8.0 ー 7,5 15.9 1/8” 32.5 9.5 13.0 13.0 ド 20 30 15 19.0 1/4” 52.0 14.5 19.0 19.0 ス 1/2” 67.5 20.0 25.4 25.4 ル ー 3/4” 86.0 20.0 38.0 32.0 [mm] ＨＦシリーズ チューブ径 PF シリーズ 　　上記参照 HF シリーズは電線サイズ AWG#24 のテフロン被覆線、 熱電対線 （IEC 規格） をステ ンレスチューブに挿入し、 チューブのスウェッジング （加締） を行い、 シールしたもの です。 4 つのサイズがあり、それぞれ 12 本、24 本、40 本、60 本の貫通ができます。 　 電線、 熱電対の複合フィードスルーの製作もできます。 本 HF シリーズを後述の PF、 チューブ長さ MF シリーズ等を使用して、 容器に取付けて使用します。 使用温度 ： -40℃～ +125℃ 圧力 ： 真空～ 35MPa 電圧 ･ 電流 ： DC100V、 500mmA 型番について HF1 - CU / 12 - 500mm / 500mm - （PF or MFの型番） ① ② ③ ④ ① サイズ、 右表参照 ②　 貫通電線の種類 　　　　 CU/12 - テフロン被覆銅線が 12 本です。 寸法 　　　　 K/6P - テフロン被覆の熱電対タイプ K が 6 対です。 サイズ　　貫　　通本数 チューブ径 チューブ長さ 　　　　　　　　　　　（線としては 12 本） HF1 12 4.5mm φ 80mm 　　　 例えば HF3 の場合、 トータルで 40 本貫通可能ですので HF2 24 6.0mm φ 100mm 　　　 CU/12+K/6P+T/8P のように、 銅線 12 本、 タイプ K6 対、 HF3 40 8.0mm φ 100mm 　　　 タイプ T8 対のように、 任意の線種を計 40 本貫通シールできます。 HF4 60 10.0mm φ 100mm ③ ･ ④　 それぞれ、 大気側、 容器側のチューブ端からの線の長さです。 　　　　 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032 18　　

グランドフィードスルー MF シリーズ キャップ シーラント マルチプローブ用のフィードスルーです。 複数本のシールが同時にできます。 ボディ 1 つの MF フィードスルーで、 0.5mm φ x 8 本、 1.0mm φ x 40 本、 3.0mm φ x 12 本、 6.4mm φ x 4 本などがあります。 貫通穴径は 0.5mm φ～ 6.4mm φで す。 シート及びフォロアはメタルです。 ボディの材質は SUS316L、 シーラントの 材質については、 本カタログの最初のページをご参照下さい。 フォロア 尚、MF シリーズの 1/8”のみ、シートがメタルではなく、セラミックインシュレーター シート に、フォロアはメタルスリーブの中にセラミックインシュレーターが入っています。 　　　　　　　　　　　 使用温度 ： -200 ～ +870℃　圧力 ： 10^-6Torr ～ 70MPa　　　 ボディの材質 ： SUS316L 耐圧について 下記表は常温 （20℃） での耐圧 （MPa） を示しています。 MF 1/8” 1/4” 1/2” 3/4” （φ mm） 本数 G L N T V 本数 G L N T V 本数 G L N T V 本数 G L T V 0.5 40 40 25 25 0.8 8,12 2,4 40 40 25 25 25 4,8 25 4,6,8 16,20 1.0 30 30 12,16 24,28 40 25 45 32,40 40 1.5 55 70 50 8,12 55 　 2,3 4,8 70 70 20 16,20 1.6 4,5 12 　 30 24,28 55 25 グ3.0 4,8 ラ 2 15 2,4 35 20 35 35 3.2 12 フン ィド4.5 2 30 15 25 ー 4.8 ド 2,4 35 15 40 6.0 ス 6.4 ル ー WF シリーズ キャップ シーラント ボディ 電線、 熱電対貫通シール用のシリーズです。 テフロン被覆線、 裸線、 各種被 覆線などを貫通シールします。 内部の多穴セラミックインシュレータで、 ボディ との絶縁をします。 最大貫通本数は 12 本、 電線サイズは AWG#24 ～ AWG#8 *フォロア まで可能す。 　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　 *シート 使用温度 ： -200 ～ +870℃　圧力 ： 10^-6 Torr ～ 70MPa　 ボディの材質 ： SUS316L *シートとフォロアの内部に、それぞれ多穴 　のセラミックインシュレータがあります。 耐圧について 下記表は常温 （20℃） での耐圧 （MPa） を示しています。 WF 1/8” 1/4” 1/2” 3/4” ( φ mm） 本数 L N T V 本数 L N T V 本数 L N T V 本数 L T V 0.5 0.8 2,4 70 70 35 70 2,4 70 25 30 50 1.0 2,3 4,6 6,8 1.6 70 40 25 45 8 12 55 25 35 3.2 2,4 2,4 　19 http://www.tecsam.co.jp TEL:072-973-4020 FAX:072-973-4032