気体用製品　高性能デジタル通信マスフローコントローラ　MC-3000L シリーズ

気体用製品 高性能デジタル通信マスフローコントローラ ■概　要 ●MC-3000L シリーズは、±1.0%S.P. 保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。 ■特　長 ●±1.0%S.P. 保証を実現 ●デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備 ●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現 ●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ ●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用 ●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上 ●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 型式名 MC-3102L MC-3202L MC-3252L MC-3452L MC-3462L MC-3472L MC-3582L 流量（N2換算） 5～5,000SCCM ～20SLM ～50SLM ～50SLM ～150SLM ～200SLM ～300SLM ～400SLM 流量制御範囲 2～100% F.S. バルブ動作 ノーマリオープン、ノーマリクローズ ノーマリクローズ 精度 100% F.S. ～ 25% F.S. ±1.0% S.P. 100% F.S. ～ 35% F.S. ±1.0% S.P. 25% F.S. ～ 2% F.S. ±0.25% F.S. 35% F.S. ～ 2% F.S. ±0.35% F.S. ±1.0% F.S. ±2.0% F.S. ±3.0% F.S. 再現性 ±0.2% F.S. ±0.5% F.S. ±1.0% F.S. 応答時間 １sec 2 sec アナログ流量設定信号 0～5VDC アナログ流量出力信号 0～5VDC 必要差圧 ノーマリオープン 50～300kPa (～10SLM) 100～300kPa 100～300kPa 50～300kPa (～20SLM) ( ～30SLM)　　　 1 　ノーマリクローズ 150～300kPa 50～500kPa 250～500kPa 350～500kPa 320～500kPa 350～500kPa 100～300kPa ( ～50SLM)　 (～10SLM) 200～300kPa (～20SLM) 耐圧 1MPa(G) 温度影響 Zero ±0.02% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃ Span ±0.02% F.S. / ℃ ±0.04% F.S. / ℃ ±0.08% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃ 使用保証温度 5～50℃　0～80% RH リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He 1×10-8Pa・m3 / sec He 接ガス部材質 SUS316L, PCTFE SUS316L, SUS304, テフロン®, バイトン® シール材 Au 所要電源 +15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 50mA 取付姿勢 自由 アナログコネクタ Dsub 9pin デジタルインターフェイス モジュラジャック RJ45/RS-485 バルブ方式 ピエゾアクチュエータ 重量 1.0kg 1.4kg 2.4kg ホームページアドレス