X線検査装置　Quadra(TM)シリーズ

シリーズ X線検査装置 www.nordsondage.com

2 | DAGE Quadra X線検査装置 DAGE Quadra X線検査装置 | 3 X線検査のパートナー Seeing is Believing 1961年に創立されたNordson DAGEは、売上高18億ドル、世界中の従業員数 Quadra™ シリーズ X線検査装置によって、 6,000人以上を誇るNordson Corporationを構成する一部門です。 光学観察ではできないデバイスやコンポーネ ントの深層内部の画像を、非破壊・最大倍率 Nordson DAGEは、X線検査装置において輝かしい賞を受賞するなど、マーケッ 68,000倍にて観察することができます。 トリーダーであり、お客様に製造上の欠陥などを簡単に検出するお手伝いをし ています - つまり品質の向上、投資に対するリターンの最大化、ならびに長期に おけるコストの抑制を確実なものとします。 英国のアイルズベリーを拠点とするNordson DAGEでは、X線発生器や電源、デ 光学 X線 ィテクターを含むX線検査装置内のすべての主要部品を自社で設計・製造して います。この他に例を見ない高いレベルでの垂直統合により、世界最高レベル x20 での検査ソリューションが提供可能となっています。 PCで使用するマウスのX線検査イ メージ x500 QFNパッケージ内のボイド Multi level PCBA 発光ダイオード x68,000 BGAはんだボール内のマイクロク ラック

4 | DAGE Quadra X線検査装置 DAGE Quadra X線検査装置 | 5 X線検査が可能にするソリューション 医療 & 製薬 エレクトロニクス - アセンブリ 製品の形状などを損傷することなく2Dまたは3Dで検査し、 はんだショートや結線不足、はんだ不濡れ、ボイド、クラックを 不良品の根本原因を解析します。 リフロー炉をシミュレーションしながら観察できます。 異物検出や充填レベル測定用のオフライン検査としても使用 めっきスルーホールの充填について追跡検査ができます。 できます。 デバイスの模造品についてスクリーニングできます。 航空機 エレクトロニクス - パッケージング メタルコア基板や銅パッドを含むはんだ品質 (IPC-A-610)や ワイヤボンドの状態について電子部品を検査できます。クラッ クやボイド、模造品であるかや寸法などについて構成部品の POPやQFN、QFP、BGA、フリップチップバルク、界面のボイド 性能品質について検査できます。 を測定します。 BGAの配列/ボールサイズのばらつき/はんだ抜け/BGAのボ ールの枕不良を識別することができます。 自動車 はんだのクラック/ブリッジ/断線コンポーネントのクラック/歪み ワイヤーの状態/接着状態 MEMSや受動素子の検査を行うことができます。 自動車用コンポーネントの摩耗や疲労破壊を検査できま エレクトロニクス - 半導体 す。電子部品や実装基板のはんだ品質 (IPC-A-610)や BGA(IPC- 7095)について検査できます。 エネルギー FOWLPや3次元実装 TSVの充填やボイド マイクロバンプやカッパーピラーのサイズ、ボイドの測定が可 能です。 ソーラーセル内のボイド率の測定やアンダーフィルを検査で きます。コンポーネントのクラックやワイヤボンドの状態を確認 光源 できます。 マイクロクラックやワイヤボンドの不良、ボイドやPCBの品質を 検証できます。レーザーダイオードやLEDを検査することがで きます。

6 | DAGE Quadra X線検査装置 DAGE Quadra X線検査装置 | 7 イメージからソリューションを創造する 使いやすさを標準に Quadraは、これまでにない非常に優れ X線検査装置は、出来る限り簡単で直感的 た画像を表示し、非常に小さなものであ に使えることが非常に大切です。Quadra っても見ることができ、不良を迅速に見 は、最小限のトレーニンク゛だけで習熟し つけることができます。自社設計の高性 ていないオペレータや臨時の作業者でも 能X線発生器やディテクターによって、最 迅速に、簡単に最高の画像を撮ることがで 少100nmの形状を認識し、最大68,000 きます。 倍まで拡大することができます。 使いやすさ 独自の特許技術 自社開発の操作や測定用ソフトウェアGensys™は”見たい場所 Nordson DAGEの最新世代のX線発生装置である をクリック(point & click)”する直感的なユーザーインターフェー QuadraNT™は、従来のX線発生器よりも10倍の明るさと スによって素早く作業を行うことができます。 非常に高い安定性を備えています。伝統的なタングステンフィラメントに代えて LaB6エミッターを採用し、高真空を維持するためにイオンポンプが付属していま す。QuadraNTによって、すべてのパワーレベルにおける安定性と高解像度が可 X-Plane®を用いて目に見えないものを 能となっています。 画像をスライスすることで、界面のボイドのような見ることが困難 最高レベルの解像度 な不良を簡単に見つけ測定することができます。X-Planeによって、迅速・簡単にCTの断面画像を出力できるだけではなく、マニ ュアルでの位置合わせを行う必要なくサンプルトレイ上のどこで Nordson DAGEによるAspireTMフラットパネルディテクターによって非常に小さな でもCT撮影を行うことができます。 不良でさえ簡単に検出することができます。Aspire FPは16ビットのコントラストと 6.7Mピクセル解像度の組合せで、最高レベルの高質な画像を出力します。 人間工学に基づいた設計 超微細部分の鮮明化 長時間の使用時にも疲労することなく快適に使用することがで きます。Quadraは人間工学に関する安全ガイドライン(SEMI S8) 30を超えるフィルター技術によって、非常に鮮明で、且つ非常に微細な部分まではっきりと に基づいて設計されています。 確認することができ、迅速に特性や不良を見つけることができます。ダイナミックレンジを増 幅させるHDR画像によって、暗部と明部の両方にある不良を一画面上ではっきりと確認 することができます。 規格に準拠 完全な画像 IPC-A-610やIPC-7095に準拠するために必要な寸法測定やBGAボイドの解析、バンプの直径や真円度、ワイヤーの流れ率解 析、スルーホールの充填率の迅速な判定、不良の特定などを標 μCTステージによるCT技術を活用した3D・高倍率画像によって、貴方のサンプルの更なる 準搭載のツールによって行うことができます。。 理解を深めることができます。

8 | DAGE Quadra X線検査装置 DAGE Quadra X線検査装置 | 9 メンテナンスフリー QuadraTM シリーズ 設備投資に対する収益率を増加 0.10 させ、ダウンタイムとコストを低減 µm することができます。Quadraは唯 一のメンテナンスフリーである検 最高レベルの画質と拡大倍率に 査装置です。X線の性能を長期間 よって、Quadra 7は0.1μmまでの品質不良を検出することができ 最適に発揮することができます。 20Wます。 不良の原因解析やワイヤーボンディ 加熱ユニット ングの検 査、コンポーネントのクラッ ® 独自の特許技術 ク、MEMSの検 査、TSVやウエハーバンプを含むウエハーレベルの解析に最適。 伝統的な開放管型X線チューブには、劣化が早く、 定期的な交換やメンテナンスが必要なタングステン のフィラメントが使用されます。QuadraNT™では、 超長寿命を目的とした自社開発のフィラメントフリ 0.35 ー技術が使用されています。 µm 再現性 サブミクロンレベルの特性検出 や、より高いX線出力により更に フィラメントを交換することがないため、安定性に 挑戦的な業務を実現。 20W 関する性能の保証ができます。検査画像は、今日も QuadraNT 第4世代X線チューブ 高精度でのボイド測定やパワーエレクト 明日も来年以降も非常に変わらず鮮明であり続け ロニクスや最終製品の検査に最適。は 加熱ユニット ることができます。 んだリフローのリアルタイムでの観察が ® 可能。 オイルフリー 性能に関するコンプライアンス X線発生器内のオイルによる汚染や作業環境内へ 年1回の点検や校正、放射線の安全性に関する視察 のオイルの流出や漏れのリスクをなくすことができ などの品質に関するコンプライアンスを満たすうえで ます。QuadraNTは、オイル交換を必要としないイ Quadraの有する性能は有効です。 0.95 オンポンプを採用し、X線の性能を維持するのに必 µm 要な真空状態を作り出しています。 製造現場で最適な高画質、高倍 アプリケーション・トレーニンク゛ LIFE 率での検査ツール。 に関するサポート 安心してご使用頂くために BGAやQFNの接合やはんだのショート、 PTHの充填の検査や模造品の検出に 10W Quadraを使用して貴方が必要なほとんどの結果 Quadra LIFEは、Quadraを安心してご使用い 最適。 ただくために、所有コストやリスクの排除、稼働 加熱ユニットを取得できるようにアプリケーションやトレーニン ク゛、ソフトウェアに関する技術的なサポートを承り 時間の最大化を5年間保証するプランです。 ® ます。

仕様一覧 X線発生器 QuadraNT™ フィラメントフリー型トランスミッシブ 認識解像度 0.95 μm 0.35 µm 0.10 µm0.95μm (>10W) 0.30μm (>10W) 最大出力 10 W 20 W (20W オプション) 20 W 管電圧 30 - 160 kV ディテクター AspireFP™ フラットパネルディテクター 解像度 1.4 MP 3 MP 6.7 MP フレームレート 10 fps 25 fps 30 fps デジタルイメージングプロセ ッシング 16 bit 検査 傾斜視野角 2 × 70° - サンプルの回転不要 防振機構 パッシブ AXiS - A c t i v e X-ray Image Stabilization（アクティブサスペンション） 検査範囲 510 x 445 mm (20 × 17.5”) サンプルサイズ 740 x 580 mm (29 × 22.8”) 幾何倍率 最大2,000倍 最大2,500倍 幾何倍率 最大7,500倍 最大45,000倍 最大68,000倍 ディスプレイ 24インチ WUXGA (1920 x 1200)1個 24インチ WUXGA (1920 × 1200) 1個 24インチ 4K UHD (3840 × 2160） 2個 操作方法 マウス操作・クリック 装置 寸法（ 幅 × 奥行 × 高さ） 1.57 x 1.50 x 1.90 m システム重量 1,950 kg 電源 Single phase 200-230 Vac, 50/60 Hz,16A エアー ＜1 μSv / hour X線防護 5-8 bar クリーンドライエアー（除振用） アメリカ + 1 760 930 3307 韓国 +82 31 462 9642 sales@nordsondage.com korea.at.cs@nordson.com ヨーロッパ +44 1296 317800 東南アジア +65 6552 7533 globalsales@nordsondage.com sales.sg@nordsondage.com 中国 +86 512 6665 2008 台湾 +886 2 2902 1860 仕様は予告なしに変更されることがあります。 sales.ch@nordsondage.com globalsales@nordsondage.com Copyright©Nordson 2020. 記載されているその他 の製品および会社名は、それぞれの会社の商標また ドイツ +49 89 2000 338 270 イギリス +44 1296 317800 は商号です。ノードソンのDAGE製品は特許保護され sales.de@nordsondage.com globalsales@nordsondage.com ており、www.nordson.com / dagepatents に記載 されている特許によって保護されています。 日本 +81 120 537 555 sales.jp@nordsondage.com BR-QXR-151117-JV2 www.nordsondage.com