東京精密_三次元測定機 ZEISS MICURA

ZEISS MICURA 日 本 語 小型部品を高精度測定 NEW 高精度 CNC 三次元座標測定機 ミ ク ラ ZEISS MICURA

コンパクトなのに ハイパフォーマンス 接触式測定に特化し、公差の厳しい小型精密部　品をきわめて精度良く評価できる高精度モデル 2

コンパクトなのに ハイパフォーマンス 接触式測定に特化し、公差の厳しい小型精密部　品をきわめて精度良く評価できる高精度モデル 小さなワークピースも高精度に ZEISS MICURA は、小 型 部 品 の 接 触 式 測 定に特化した 高精度三次元座標測定機です。コンパクトなボディに精度 向上のための様々な機構やテクノロジを備え、E0, MPE = 0.7+L/400 μm の保証精度を実現しています。また、最小 ボール径φ0.3 mmのスタイラスを使用できるため、細部の 高精度測定にも対応可能です。(VAST XT goldセンサ搭載時) ZEISS VASTテクノロジと ロータリテーブルで効率良く 測定移動時に変化する力（加速度）によるスタイラスや測定機 の変形をリアルタイムに補正できる「VAST Navigator」を 標準搭載。高速スキャニング測定時の精度を格段に高めること ができ、信頼性の高い測定を短時間で行える優れた技術です。 さらに、ロータリテーブルをはじめ、より測定効率を高める様々 なオプションをご用意しています。 2つのエコ機能で ランニングコスト抑制 エアや電力の余計な消費を削減できる2つの機能で、測定機 運用におけるランニングコスト抑制に貢献します。 3

小さなワークピースも高精度に 高精度・高速でのスキャニング測定を 実現するアクティブスキャニングセンサ VAST XT gold 測定力を常に一定に保ち、さらに測定力の掛かる方向もワー ク表⾯に対して法線方向になるよう制御することができます。 この測定力の制御により、スタイラスのたわみ量を最⼩かつ 一定に抑えて補正し、高精度・高速でのスキャニング測定を 実現します。 また、ZEISS MICURAは本センサで最⼩ボール径φ0.3 mmのスタイラスを使用できる唯一のモデルです。 温度膨張の誤差要因 温度膨張率の不確かさ 温度測定誤差 ※スケール温度分布の偏り テスト条件 : 温度変化 2℃、測長長さ 500mm のとき スケール Zerodur®＊ 0.05 0 スチール 0.50 0.58 Glass 0.50 1.95 温度膨張の誤差要因比較 精度の要である各軸スケールに、熱に よる伸縮が極めて小さい素材を採用 ハイエンド機 ZEISS XENOSⓇやZEISS PRISMOⓇ family と同じ、熱膨張係数がほぼ 0に等しい ZerodurⓇ(ゼロデュ ア)を採用しており、環境温度の変化による精度への影響を 最小限に抑制します。 4

アクティブダンピングシステムを エアベアリングによる4方向からの 標準搭載 ガイド支持で駆動時のねじれを防止 エア式のアクティブダンピンシステムを標準搭載しており、測 各軸ガイドを上下左右の4 方向からエアベアリングで支持す 定機を常に水平に保ち、床からの振動伝達を低減。振動による ることで、駆動時の測定機のねじれを抑制。ねじれが抑制さ 測定結果への影響を抑えた、信頼性の高い測定を実現します。 れることで安定した駆動を⾏えるため、高速でも高精度に測 定することができます。 ガイドの伸縮に影響されないスケール保持方法 固定端 ローラーによる自由支持点 温度変化によるガイドの伸縮に影響を 軽量、高剛性かつ熱に強い 受けない独⾃のフローティングスケール カーボン製エクステンション 保持方式 ZEISS REACH CFX (オプション) 各軸のスケールを、一方をガイドに固定し、もう一方を開放し ZEISS 独⾃のカーボン技術により、熱による伸縮を殆ど生じ て取り付ける独⾃方式により、温度変化によるガイド伸縮の影 させないため、温度環境に左右されず高精度な測定結果を得 響をスケールが受けない構造です。 られます。また、剛性が高く、測定時のたわみを最⼩限に抑 えることで、精度を損なうことなく高速スキャニング測定を行 えます。 5

ZEISS VASTテクノロジとロータリテーブル　で効率良く 「VAST Navigator」により 高精度かつ高速でスキャニング測定 測定移動時に変化する力（加速度）によるスタイラスや測定機 の変形をリアルタイムに補正できるNavigator 機能を搭載。 高速スキャニング測定時の精度を格段に高めることができ、 信頼性の高い測定を短時間で⾏える優れた技術です。 (YouTube) 6

ZEISS VASTテクノロジとロータリテーブル　で効率良く 「VAST Performance」 (オプション) 「VAST Performance」 (オプション) FlyScan 機能により、穴や切り欠き QuickChange 機能により、 形状を気にせずスキャニング測定 スタイラス交換を高速化 切り欠き形状部をまるで連続面であるかの如くスキャニング スタイラス交換動作を測定機の最高速度で⾏うことのできる 測定できる機能です。切り欠きのあるワークピースの内外周 機能です。ワークピースの形状が複雑な場合など、複数のス や穴壁面の測定、平面度評価において凹形状部を避けること タイラスシステムを頻繁に交換しながら測定する際に検査工 なく測定でき、絶大な時間短縮を可能にします。 程のタクトタイム短縮に貢献します。 ⻭⾞やインペラなどの複雑形状ワークを 水平回転機構つきのアクティブスキャニ 高精度・短時間・低コストで測定できる ングセンサ VAST XTR gold (オプション) ロータリテーブル (オプション) アクティブスキャニングセンサのメリットはそのままに、回転機 構による15°ピッチ=24ポジションでの位置決めにより、複雑 測定機本体の3 軸とロータリテーブルの回転軸を同期する4 なワークピース形状に対応できるセンサです。スタイラス交 軸スキャニング測定により、⻭⾞やインペラ、航空機エンジン 換回数減による測定時間短縮や、スタイラスコストの削減に ブレードなどの複雑形状のワークを、回転させながら最小限 貢献します。ロータリテーブルへの積載が難しい、高重量ワー のスタイラス構成で測定できます。複雑形状の高精度測定、 クピースや大型ワークピースの測定におすすめです。 スタイラスコストの削減、さらにはスタイラス交換回数減によ る測定時間の短縮も実現できる一石三鳥のオプションです。 7

2 つのエコ機能でランニングコスト抑制 エア供給の “アイドリングストップ ” 「ZEISS AirSaver」 ⾃動⾞のアイドリングストップのように、本体待機時に圧縮空 気の供給を⾃動的に停止する機能です。ジョイスティック操作 やCNC 測定の開始時には、圧縮空気の供給を⾃動的に再開 します。不必要なエア消費を抑えることで電力消費を低減で き、ランニングコスト削減につながります。 (YouTube) スタイラスシステムの構築を 簡単に⾏える組立治具 FixAssistⓇ (オプション) FixAssistⓇ VAST はVAST XT gold、 FixAssistⓇ XTR は VAST XTR gold 用のスタイラスシステム組み立て治具です。 Z 軸の水平方向の角度や、横方向に伸ばしたエクステンショ ンに取り付けたキューブアダプタやアングルブロックの角度を 正確に決めてスタイラスシステムを構築できます。 8

2 つのエコ機能でランニングコスト抑制 電源の “⾃動ON/OFFタイマー ” 新機能「ZEISS PowerSaver」 予め曜日や日にちに特定の時刻を設定しておくことで、測定 機の電源を⾃動でON/OFFできる機能です。この機能を活 用することで、例えば、オペレータ出勤時間前に電源ON、そ れまでは電源OFF の設定をすることにより、温度ならしのた めに夜間測定機の電源を入れたままにしたり、オペレータが早 朝に出勤し電源を入れたりする必要がなくなります。 測定をもっと簡単に！おすすめアクセサリ クランピング治具 クランピング治具 ZEISS OmniFixⓇ Kits (オプション) ZEISS OmniFixⓇ Vise (オプション) ZEISS OmniFixⓇ Kits は、小型加工部品から、航空 ZEISS OmniFixⓇ Vise は軽量ながら極めて安定した状態でワークを固 機部品、大型⾞両のシートメタルやプラスチック製の 定することができ、信頼性の高い測定を実現します。また、円筒形状など ボディコンポーネントに至るまでの多様なニーズを の回転対称ワークを同じ中点位置で固定できるセンタークランピング機 満たすように設計されています。各キットはモジュー 能を搭載し、ロータリテーブルを使用しての測定時にワークをテーブル ル設計されており拡張性に富んでいます。 中央に配置するための固定治具としても有効にお使いいただけます。 (YouTube) (YouTube) 9

データ 仕様 ZEISS MICURA 型式 5/7/6 X (mm) 500 測定範囲 Y (mm) 700 Z (mm) 600 最大許容長さ測定誤差 E0, MPE, E150, MPE (μm) 0.7+L/400 繰返し範囲の最大許容限界 R0, MPL (μm) 0.55 測定精度 *1 VAST XT gold /VST XTR gold 最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU, MPE (μm) 0.8 最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP (μm) 0.9 τ =40 測長スケール ガラスセラミック（Zerodur Ⓡ）スケール 分解能 (μm) 0.08 材質 はんれい岩 使用可能幅 (mm) 827 テーブル 使用可能奥行き (mm) 1050 床からテーブル面までの高さ (mm) 700 スタイラス取付面までの高さ (VAST XT gold 装着時） (mm) 660 ワーク X ガイド下端までの高さ (mm) 804 最大積載質量 (kg) 730 案内方式 エアベアリング ジョイスティックモード (mm/sec) 0 ～ 70 駆動速度 CNC モード ベクトル方向 (mm/sec) 最大 475 スキャニング速度 (Navigator 機能使用時 ) (mm/sec) 最大 150 駆動加速度 ベクトル方向 (mm/sec2) 最大 1850 環境温度 (℃ ) 19 ～ 22 (℃ /day) 1.0 精度保証環境 温度変化 (℃ /hour) 0.5 温度勾配 (℃ /m) 0.5 供給圧力 (MPa) 0.6 ～ 0.8 空気源 消費量 (NL/min) 80 供給電圧 (V/%) AC100 ～ 240 ± 10 電源 周波数 (Hz/%) 50/60 ± 3.5 消費電力 (VA) 800 幅 (mm) 1411 本体寸法 奥行き (mm) 1603 高さ (mm) 2658 外形寸法・質量 *2 本体質量 (kg) 1200 最小天井高さ (mm) 2858 本体搬入時高さ *3 (mm) 2348 *1 E0, MPE, E150, MPE 及び R0, MPL の試験及び評価方法は、ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013) に準拠します。 PFTU, MPE の試験及び評価方法は、ISO 10360-5:2010(JIS B 7440-5:2013) に準拠します。 MPETHP の試験及び評価方法は、ISO 10360-4:2000(JIS B 7440-4:2003) に準拠します。 上記精度は下記スタイラスを使用した場合の数値です。なお、L(mm) は任意の長さです。 　 VAST XT gold/VAST XTR gold …先端ボール直径 8 mm、長さ60 mm *2 寸法及び外観図は本体のみのものです。本体とは別にコントローラ(W × D × H: 745 × 580 × 730 ※いずれも概算値 )、 PCラック(W × D × H: 800 × 700 × 700) が付属します。 *3 測定機搬入の際は、搬入経路の高さ、特に入り口などの間口・高さの確認をお願い致します。 開口高さは、各測定機の搬入台車などの高さ約 200 mm を加えた高さが必要です。 10

外観図 ロータリテーブル (オプション) 仕様 型式 RT-RB-100 分解能 （秒） 0.0012 長さ (mm) 346 幅 (mm) 280 ロータリテーブル寸法 高さ (mm) 120 フェースプレート (天板 )を含めた高さ (mm) 139 フェースプレート (天板 ) 直径 (mm) Φ 300 (kg) 36 質量 フェースプレート (天板 )を含めた質量 (kg) 45 最大積載質量 (kg) * (kg) 100 環境温度範囲 (℃) 10 ～ 30 * 最大積載質量の条件を満たしていても測定できない場合があります。ワークピースの情報をご提供のうえ、事前にご相談ください。 11

（本社）〒192-8515 東京都八王子市石川町 2968-2　TEL：（ 042）642-1701　FAX：（ 042）642-1798 ご用命は、販売店へ お問い合わせ先 B-32-1183-J-2307