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近赤外全自動歪検査器 LSM-9001NIR

製品カタログ

対応が難しかった半導体ウェハーなどの低位相差サンプルを対象にした全自動歪検査器です。

このカタログについて

ドキュメント名 近赤外全自動歪検査器 LSM-9001NIR
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 496.6Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社ルケオ (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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すべてはお客様の品質のために (ひずみ) 近赤外全自 動 歪検査器 フルオートストレインアイ LSM-9001NIR ✔ Si・SiC・GaN・ガラスウエハの歪分布評価 ✔ サイズ 50×50mm を面分布で 1 分で評価 ✔ 有色ガラス・アクリル樹脂製品の歪分布評価 シ リ コ ン ウ エ ハ の 品 質 管 理 が 可 能 ■ 対応が難しかった半導体ウェハーなどの低位相差サンプルを対象にした全自動歪検査器です。 弊社ショールームで いつでもサンプル評価 できます! ■ 主な評価対象 ・ Si / SiC / GaN / ガラスウエハ 例えば、こんな色の ・ 透明 / 有色樹脂製品 樹脂が評価可能! ・ 水晶 / 石英 / 光学結晶 詳細については、お問い合せ下さい。
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■ 評価事例 シリコンウエハ / 有色アクリル樹脂成形 品 シリコンウエハ ノッチ周辺 歪分布(グラインディング工程の残留応力) 圧縮荷重を受ける黒色アクリル樹脂円板 歪分布 ■ 仕 様 仕様 近赤外歪検査器 LSM-9001NIR 表示項目 位相差(nm)、応力(MPa) サンプル評価を承っております! 評価範囲 0~150nm 本リーフレットの製品以外にも 測定有効サイズ 約 50×50mm 様々な検査器があります! 検査方式 近赤外(NIR)回転検光子法 お気軽にご連絡ください。 外観寸法 / 重量 (本体) W300×D353×H540mm / 22kg URL https://www.luceo.co.jp ※ 仕様は予告なしに変更されることがあります。 2022.12