そのまま真空容器へ SIGMA TECH
・アウトガス対策：線材や潤滑剤にアウトガスが発生しにくい素材を使用し真空容器内で使用可能なステージとなっております。
・高分解能・再現性：リニアエンコーダをテーブル中央に搭載し、位置の読取誤差を減らす設計となっており、読み取った位置情報をもとにフィードバック制御を行っているため位置の再現性が優れております。
・選べる可動タイプ：直動タイプ以外にも昇降タイプ、微小回転タイプをラインナップしております。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 真空対応 リニアエンコーダ搭載 高分解能位置決め装置 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | シグマテック株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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