シール部の締め込みによるゼロ値シフトがありません
・センサー設置時のシール部締め込みによるゼロ値シフトを改善した設計です
・圧力センサー本体にてゼロ調整が可能です
・新型HYZシリーズ同様に、ダイヤフラム部は高耐食性ハステロイを採用しました
・接ガス部がSUS316L＋ハステロイの高耐食圧力センサーです
・ゲージ圧、連成圧ともに製作可能です
・絶縁性の高い圧膜ダイヤフラム構造なので安心してお使いいただけます
・標準の伝送信号は国際規格の2線式4-20mAです
・ケーブル着脱式ですのでメンテナンス時の作業負担が軽減されます
・HYPシリーズに比べデッドスペースを小さくしています
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 半導体製造装置圧力センサー(集積型ガスパネル用) HYZFシリーズ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 568.6Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社テムテック研究所 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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