「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部 材を使用し、高い位置決め精度・高...
「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部材を使用し、高い位置決め精度・高剛性を維持した汎用位置決めステージです。 ステージの本体にはアルミニウム素材、案内部にはステンレス、メネジ、ウォームホイール部にはリン青銅などの金属や、 真空対応の絶縁材...
小型デバイスの組立や多軸組合せ時のベースに最適なXYθ薄型アライメントステージを各種...
◆XYθ薄型アライメントステージシリーズ YRA-070 シリーズ最小のアライメントステージ YRA-071 多様なモータ変更要求に対応可能 YRA-130 中小型液晶やウエハの貼り合わせに最適 YRA-200 シリーズ最大の高耐荷重仕様...
ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に最適
高精度形状測定システムDyvoce ( ダイボス) シリーズは、被測定ワークに合わせたレーザ変位計を用いる非接触形状測定システムです。使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコン...
全ての送り機構にボールネジを採用し、耐久性アップ
液晶プロジェクタ、カメラモジュール等の光軸調整を行う際の微細な位置決めに最適な、6軸マニピュレータです。小型化、軽量化、高剛性化を同時に実現しました。 従来型マニピュレータと比較して 高さ 50%ダウン 幅 40%ダウン 重量 30%ダウ...