京浜ラムテック株式会社のカタログ一覧
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RAM 低ダメージカソード
対向式で低ダメージ化
■ターゲット表面周回プラズマで高速成膜化 ■磁気回路でワイドエロ―ジョン化してターゲット利用率を向上 ■CU製温調ローラーとの組み合わせで低ダメージの相乗効果が狙える
Cu製 温調ローラー
熱伝導率の良い無酸素銅製ローラー
表面へ温調流体を流すための流路を摩擦攪拌接合で形成 ■Cuの熱伝導率はSUS304に対して24倍 ■Crの熱伝導率もSUS304に対して5.8倍
対向式で低ダメージ化
■ターゲット表面周回プラズマで高速成膜化 ■磁気回路でワイドエロ―ジョン化してターゲット利用率を向上 ■CU製温調ローラーとの組み合わせで低ダメージの相乗効果が狙える
熱伝導率の良い無酸素銅製ローラー
表面へ温調流体を流すための流路を摩擦攪拌接合で形成 ■Cuの熱伝導率はSUS304に対して24倍 ■Crの熱伝導率もSUS304に対して5.8倍