基板サイズ25mm×25mmまで対応できるSPD方式成膜装置
個々の溶液瓶、配管、供給速度測定装置を備えた噴霧ノズルが 3 個まで取り付け可能です。 噴霧ノズルはモーターで可動にした台に取り付けられており、均一な噴霧領域を拡げられます。 多数の改良を加え、お困りの企業様必見です。