キヤノンアネルバ株式会社のカタログ一覧

フルレンジ・安定測定

◆掲載内容◆ ・M-370CG　コールドカソードゲージ　熱フィラメントを使用しない堅牢なコールドカソードゲージ（冷陰極電離真空計）・M361CP　コールドカソードピラニゲージ　大気圧〜中真空を測定するピラニゲージと高真空〜超高真空を測定する...

超高真空技術のキヤノンアネルバ、製品ガイドのご案内です。

◆掲載内容◆ ・コールドカソードピラニゲージ　コールドカソードゲージ・透過密閉型　マイクロフォーカスX線源・プロセスガスモニタ・ヘリウムリークディテクタ・キャパシタンスゲージ・トランスデューサ型真空計シリーズ・ワイドレン...

小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発したポータブルタイプのヘリウムリークディテクター...

コンパクトタイプ、ハイパワータイプ、ハイパワー＆ドライタイプ、スニファー専用タイプを取り扱っています。【特長】イージーオペレーション業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現イージーキャリー耐久性を重視した堅牢設計幅広...

最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計

キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

スパッタプロセスモニタリングと残留ガス分析の両立

成膜中のガス分圧を監視出来るため、ガス異常・リークなどの不具合を察知し、プロセス安定性を提供いたします。【特長】・成膜中に高感度で水素を検出可能・メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト・さまざまなアラー...