株式会社ニクニ白鷹のカタログ一覧

先進のNiS Gunで成膜グレードを飛躍的に向上!

1.優れた耐久性　NiS Gunは陰極部にTa-LaB6複合陰極方式を採用、発熱による問題を　排除、長寿命化を実現しました。さらに陰極部にキャリアガスを導入　することで、チャンバー内の成膜領域と圧力差をもたせる（圧力勾配）　ことにより反応...