CVD・エッチング・インプラ等で発生する生成物を除去します
主に半導体・液晶製造装置・真空装置(イオン注入・CVD ・エッチング等々)から排気されるガス反応性生物(微粉体)を除去する装置です。 特にイオン注入やCVD装置から排出される1μm以下の反応生成物をうず流旋回 吸着と高機能マグネットエレメントに...
真空ポンプ内オイルに混入する水を分離・除去します
油水分離機サン・セパレータークリーナーの導入事例をご紹介します。 真空ポンプの故障・チョコ停・性能低下等にお困り方必見です!
サンセパレーターエレメントは炭化水素系洗浄液に混入する水分を分離除去するコアレッサー...
洗浄液交換周期の延命、残留水分によるワークへの逆汚染防止、等の効果があります。 ・油水分離性能に優れている。 ・液を常時清浄に保つことができる。 ・自動排液機能により、適宜外部へ排出されます。 (自動タイプ) ◆詳細はカタログをダウンロー...
大成技研の小型モデルのオイルクリーナー・油水分離機のご紹介です。
本機は真空ポンプ用の取水分離機です。充填されているセパレーターエレメントは当社の開発した高機能吸水繊維を利用した新しい発想の油水分離フィルターです。 ◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
技術に圧倒的なこだわりをもち、真面目に向きあう。 エンジニアを育てる実績と環境がここ...
掲載製品 ・真空ポンプ用油水分離機/オイルクリーナー ・真空ポンプ用トラパックフィルター ・水系、準水系洗浄液用の油水分離機 サンアクアクリーナー ・吸水フィルター、水分除去フィルター、オイルクリーナー、フラットボールバルブ ◆詳細はカ...
大成技研の油水分離機・オイルクリーナーのご紹介です。
大成技研の油水分離機、サンセパレータークリーナーは、真空ポンプ油および油圧作動油等の油水分離機です。 大成技研のオイルクリーナー、サンオイルクリーナーは、真空ポンプ油および油圧作動油等のオイルクリーナーです。 ◆詳細はカタログをダウンロードし...
真空ポンプ内オイルの汚れを浄化します
〇オイル交換を減らしたい 〇真空ポンプの故障をなくしたい 〇良い真空環境を作りたい そんな方におススメの水分・酸・汚れが同時に除去できる 大成技研の主力製品のご紹介です。
ハイテクを支える-SUNシリーズ
本機は多量の水分が真空ポンプに混入するとき、真空ポンプ油から連続して水分を分離・排水する装置です。 真空ポンプに水分が混入すると、真空圧力は低下し能力低下を招き、時には真空ポンプ油より水分が多くなり、定期的な水抜き作業程度では故障の防止はかないません。...
本機は当社が開発した水系・準水系洗浄液用の油水分離機です。
内蔵しているアクアセパレーターエレメントは極めて強い油との親和力とミセル破壊力を有し油膜を形成します。これにより洗浄液中の微細油滴を捕捉同化し、比重差により浮上分離させます。 ◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...