プラズマインジケータPLAZMARK 耐熱性ラベルNo.102 PLL0203-102

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PLL0203-102
¥10,450 (税込)

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置くだけで簡単に「プラズマ見える化®」 高温環境下でのプラズマ処理にも使える耐熱性ラベルの低感度タイプです

色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータです。
色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性(200℃)を実現。
高温プロセスでもお使いいただけます。
フレキシブル性、接着性がありますので、基板表面だけでなく装置内に自由に設置し評価を行うことができます。
Ar、O2、H2、CF4、SF6、Cl2など各種ガスで反応します。

No.102は耐熱性ラベルの低感度タイプです。

主な仕様
本体サイズ: 16mm x 25mm x 80μm
検知部サイズ: φ10mm
耐熱温度: 200℃
本体材料: ポリイミド
検知部材料:無機色材、レジン

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