レーザ測長計

LV-9002/9300A/0121A レーザ測長計 高速・高分解能 簡単セッティング

小型・小質量のコーナーキューブと干渉計内蔵のシンプルな構成 ■ マイクロホン、加速度検出器との同期計測 セッティングも簡単で、最大4chに増設して同期計測も可能 計測用マイクロホン 変位解析 　1MHzサンプリングのアナログの変位出力を MIシリーズ ソフトウェア PC 装備。 　LV-9002/LV-9300A/LV-0121Aは、He-Neレーザ光を使って直線変位を測定する高精度・高速応答非接触測長システムです。 LV-0930 作動部位の変位値（m）を計測・評価対象に装着した計 プリンター 5 m/sの高速応答、最高1 MHzの高速サンプリングの性能で、プリンター・スキャナー・コピー機等のOA機器や、工作機械・移動ステージ 測用マイクロホンや加速度検出器、電流プローブなど 等の精密、高速位置決め機構を有する機械の動特性解析まで、高精度な位置決め計測・解析を行うことができます。 レーザ測長計 センサ 他の検出器と同期した評価が可能です。 LV-9002 USB2.0 動作音信号 加速度 検出器 NPシリーズ 変位信号 レーザ測長計 LV-9300A + ディジタル変位計DS-5000 LV-0121A O-Solution DS-5000でデータ収録、解析 ※写真は、 　LV-9002 レーザ測長計センサ、 　LV-9300A レーザ測長計、 　LV-0121A ディジタル変位計の組み合わせ 変位解析ソフトウェア　LV-0930 ■ 時間計測 　最大1MHzサンプリングで移動変位を収録。収録した変位から、移動速度、加速度に加え、オーバー シュート・アンダーシュートの測定が可能。また、センサを2台使用することで、差動・差分に加えピッチング・ ■ 高速チップマウンタやディスペンサ・ヘッドの動特性計測 ヨーイングの解析ができます。 ■ 変位（m） ■ 速度（m/s） ■ 加速度（m/s2） 　高速動作するチップマウンタやディスペンサ装置の ヘッド部などを高精度で評価する事が可能です。 5 m/（s MAX） 5 m/（s MAX） コーナーキューブ LV-0801 レーザ測長計センサ LV-9002 質量：0.2 g以下 直径：4 mm 全長：3.4 mm ■ 位置決め計測 　測定対象を正負の方向に等間隔ごと・指定回数で運転することで、目標位置に対しての偏差を自動算 コーナーキューブ 出。設定した制御目標値に対して実際に停止した位置をリアルタイムに時間-変位グラフにプロットして、 LV-0801 位置-偏差グラフを表示します。各制御目標位置に対して方向別に偏差の平均、標準偏差を算出し、グラ 質量：0.2 g以下 直径：φ4 mm フやCSVファイルに出力可能です。 ■ 移動量-時間データ（5点5往復データ） 往路 復路 ■ ピッチング&ヨーイング、差分計測 コーナーキューブ LV-0801 / LV-0802 × 2 ■ 評価動作（例）（5点5往復構成） 　センサを2台以上使う事で、測定対象の進行方向を基準にして レーザ測長計センサ LV-9002 × 2 上下回転（ピッチング）や左右回転（ヨーイング）を評価する事がで 計測位置 きます。実装機などでは高速移動時のマウンタのヘッド部とノズル 5 アライメント治具 LV-0822A × 2 の揺れや収束時間を差分計測で行う事ができます。 4 3 大型三脚 × 2 プリント用トラバース装置のヨーイング 2 ■ 移動距離に応じた偏差の平均グラフ 角度（°） 1 PC レーザ測長計 0 1回目 ２回目 3回目 4回目 5回目 LV-9300A 往復回数 往路 USB接続 ケーブル × 2 復路 変位（m） アナログ変位出力 ディジタル変位計 変位解析ソフトウェア ±10 V × 2 LV-0121A × 2 LV-0930 2 3

軽量コーナーキューブの装着でセッティング完了 解析までをトータルでサポート フィールドでもラボでもセッティングが簡単 2ch レーザ測長計 レーザ測長計間シンクロ用ケーブル ビームエクス 標準構成 (受注生産) パンダ×4倍 ■ コーナーキューブ ■ アライメント治具 LV-0822A LV-0815 レーザ測長計センサ LV-9002 ディジタル変位計 LV-0121Aへ 波形解析・記録装置 LV-0801 / 0802 Yθ（垂直方向角度） Y（垂直方向平行） （最大4台同期） 音響振動解析システム LV-0801 LV-0802 直角ミラー 計測・解析ソフトウエア X（水平方向平行） コーナーキューブ LV-0965 O-Solution DS-5000 シンクロ用ケーブル O-Solution ※LV-0815とは DR-0703 　併用出来ません。 信号ケーブル RR-0030（3 m） 波形解析 Xθ（水平方向角度） 　※RR-0030（3 m）は 　　LV-9002に付属します。 ディジタル変位計 ・基本周波数解析 コーナーキューブ LV-0121A ・相互周波数解析 　レーザ測長センサ LV-9002と φ4 mm ・1/Nオクターブ解析 LV-0801 1ch レーザ測長計　 標準構成 ・定幅トラッキング解析 質量：0.2 g以下 質量：2 g以下 アライメント治具 LV-0822Aを組 質量：0.2 g以下 直径：4 mm ディジタル ・音質評価 直径：10 mm み合わせる事で、移動軸線への光 レーザ測長計センサ レーザ測長計 変位計 ・変動音解析 　レーザ測長計 LV-9002/9300A/LV-0121A 線アライメントを容易にし、角度誤 LV-9002 LV-9300A LV-0121A ORFX ・基本統計解析 差を最小限に抑える事ができます。 コーナーキューブ FFTアナライザ に使用する最小コーナーキューブは僅か0.2 g以下 φ10 mm ORF CF-9200A/9400A の微小質量（LV-0801）です。計測対象が作動・停 LV-0802 CSV 質量：2 g以下 止する時に生じる加速度でコーナーキューブの質量 Xθ移動範囲 ：±1.5° WAV 信 号 処 理 が発生する力を最小限に抑える事ができます。 Yθ移動範囲 ：±1.5° ・移動平均 水平移動範囲：±6.5 mm 垂直移動範囲：±6.5 mm 接着用 ・簡易演算 ワックス ・検索値抽出処理 NP-0010 ・時間軸微積分 信号ケーブル アナログ変位出力 ・ヒルベルト変換 RR-0030（3 m） ±10 V データレコーダ ・テーパー処理 ■ ビームエクスパンダ LV-0815 DR-7100 ・レベル調整 アライメント治具 ・リサンプリング 　レーザ測長計センサ LV-9002にビームエクスパンダ LV-0815（工場出荷オプション）を装 LV-0822A ・ディジタルフィルタ ビームエクスパンダ 着する事で、上下・左右の検出範囲を20×20 mmに拡張します。歪み、たわみの上を上下左 （ FIR/IIR） LV-0815 右に揺動し移動する物体や円弧に移動してくるターゲットの変位も捉える事ができます。 ・チャンネル間演算 その他 スチールプレート 電圧波形観測器 横から見たイメージ LV-0018A リセットスイッチ 20 mm以内 ビームエクスパンダ レーザ測長計センサ LV-0125 LV-0815 LV-9002 大型三脚 20 mm 以内 ディジタル変位出力 USB2.0 USB接続ケーブル （LV-0121A付属） レンズ開口径 φ22.5 mm 上から見たイメージ 許容範囲 20 mm以内 ※1 収納トランク 収納トランク 倍　　率 ×4 ※2 （1ch用） （2ch用） L 変位解析ソフトウェア ※1 コーナーキューブ LV-0802使用時 LV-0320 LV-0330 LV-0930 ※2 LV-9002の出射ビーム径に対して PC ※LV-0815は、出荷時装着、もしくは引き取っての装着作業が必要です。 ※レーザ測長計センサ LV-9002が別途必要です。　※ビームエクスパンダの着脱はできません。 ※波形解析装置、波形記録装置は、別途詳しいカタログをご用意しておりますのでご請求ください。 ■ 高精度型干渉式変位計（受注対応） 製　品　名 型　名 用　途 　高精度型干渉式変位計は、LV-9002の先端に可変焦点レンズを装 レーザ測長計センサ LV-9002 レーザ放射、検出（ 信号ケーブルRR-0030 3 m付属） 着する事で、レーザ光のスポット径を最小20μｍ※1まで焦点させ、コー レーザ測長計 LV-9300A 本体 ナーキューブの装着無しの無負荷非接触で対象の微小振幅変位（m） ディジタル変位計 LV-0121A センサ増設時にLV-9002とセットで使用（センサ増設時は引き取りが必要となります。） を検出する変位計です。レンズ焦点を無限大にする事で通常のレーザ測 コーナーキューブ LV-0801 測定対象に装着し、レーザ光をセンサヘッドに反射させます。（φ4 mm 質量0.2 g以下） （いずれか必要です） LV-0802 測定対象に装着し、レーザ光をセンサヘッドに反射させます。（φ10 mm 質量2 g以下） 長計として使用する事もできます。※2 高い精度の変位計測を求めるアプ オプション 型　名 用　途 リケーションに適しています。 信号ケーブル RR-0030 レーザ測長計センサLV-9002とレーザ測長計LV-9300Aを繋ぐ信号ケーブルです。（3 m（）LV-9002に付属） ※1 最短焦点距離（100 mm時）　※2 コーナーキューブが必要です。 アライメント治具 LV-0822A 対象の移動軸線とレーザ光のアライメントを容易にします。 直角ミラー LV-0965 対象の移動軸線に合わせてレーザ光を90°曲げます。（ミラーを懸架する治具・スタンドが別途必要です。） 射出光出力 1 mW 以下（クラス２ JIS C 6802 規格準拠） 変位解析ソフトウェア LV-0930 変位を含む各種振幅のディジタル解析用ソフトウェアです。 レンズ焦点範囲 100 mm ～∞ リセットスイッチ LV-0125 離れた場所から原点のゼロリセットとBNC端子によるトリガ入力が可能です。（ケーブル長：3 m） レーザスポット径 20 μm 以下（焦点100 mm時） 収納トランク（1 chセット用） LV-0320 レーザ測長計センサLV-9002×1、レーザ測長計L-9300A×1、ディジタル変位計LV-0121A×1、 アライメント治具LV-0822A×1、ケーブル一式 レベル表示 10 セグメント LED バー 表　示　器 収納トランク（2 chセット用） LV-0330 レーザ測長計センサLV-9002×2、レーザ測長計L-9300A×1、ディジタル変位計LV-0121A×2、 検出エラー表示（赤色 LED 表示） アライメント治具LV-0822A×2、ケーブル一式 ビームエクスパンダ LV-0815 レーザ光を20×20 mmに広げ、上下・左右の検出範囲を拡張します。（取付費を含みます。後付時は引き取りが必要となります。） 可変焦点レンズ装着 加速度検出器用ワックス NP-0010 接着能力と着脱の容易さを両立したコーナーキューブ（LV-0801/802）接着用のワックスです。 大型三脚 定盤が無い場所でセンサヘッドの設置に使用します。 ※レンズの着脱は出来ません レーザ測長計間シンクロ用ケーブル（受注生産） DR-0703のロングタイプ（3ch以上時に必要となります。（）600 mm） 4 5

仕　様 LV-9002 レーザ測長計センサ LV-0121A ディジタル変位計（LV-9300Aと一体化使用時） LV-0930 変位解析ソフトウェア 検波復調方式 光ヘテロダイン検波による変位復調 アナログ出力 ±10 V（ 入力インピーダンス 100 kΩ 以上にて） 環境設定 温度（℃）/湿度（%）/気圧（hPa）/レーザ波長（nm）/ 時間-変位（m） 光源 He-Ne レーザ（波長 632.8 nm※）※個別の波長はセンサに表記 DC：DC ～ 100 kHz（ fc = －3 dB） 入力 熱膨張補正率（ppm/℃）/対象物体温度（℃）/使用CH数/極性設定 振幅 時間-速度（m/s） 遮断周波数 モニター可能チャンネル Ch1、Ch2、Ch3、Ch4　接続されたセンサの変位値を表示 射出光出力 1 mW 未満（クラス2 JISC6802） AC：0.3 Hz ～ 100 kHz（ fc = －3 dB） 時間-加速度（m/s2） 計測インジケータ 白：計測中断 / 緑：計測、モニター実施中 測定範囲 コーナーキューブ使用：±10 m アナログ出力 直線性 ±0.1 ％/F.S（温度係数：±0.025 ％/F.S/℃） 、1、2、3、4、 レーザ受光ERROR 白：受光レベル正常 / 変動グラフ 上下限（%） 0.001、0.01、0.1 5、6、7、8、9、10、500 レンズ開口径 Φ｠6 mm アナログリップル 2 mVp‒p 以下 インジケータ 赤：受光無し、光線遮断あり 描画 中心値 数値入力　m m/s m/s2 波長安定度 ±0.2 ppm 出力インピーダンス 50 Ω（最低入力インピーダンス 100 kΩ 以上） Y軸スケール（m） ±10 m ～ ±10 μm 複数 ピッチング&ヨーイング / 真直値 / 角度 / 差分 干渉レベル表示：10 セグメント LED バ－ 出力端子 BNC（CO2型） モニター機能 X軸スケール（s） サンプリング点数とサンプリング周波数で決定 チャンネル解析 ※2台以上のセンサを使用時。 表示器 レーザ状態表示：ウォームアップ時赤色LED点灯 最大計測速度 5.0 m/（s 全レンジ） カーソル機能 スクロールバーで選択した時間の変位値を表示 移動平均 １～100（回） ／測定可能時緑色LED点灯 レンジ表示 選択レンジを７セグメントLEDで表示 変位値SI接頭語切替 mm、μm、nm 検出 ERROR 表示：赤色LED点灯 フレーム長 128、256、512、1024、2048、 グ ディジタル 解析機能 4096、8192、16384 サンプル点数表示 1～65535（設定値） センサ主固定穴 主固定 Φ 6.5×2 レンジ 最大 アナロ 測定範囲 最小分解能 分解能 周波数解析 連続積算数表示 1～10（設定値） 窓関数 Rectangular / Hanning / 信号ケーブル（RR-0030）｠ 長さ 3 ｍ（ケーブル外皮：耐熱耐油 PVC 黒色） 0.1 μm/V ±1 μm 0.15 nm FlatTop / Exponetial サンプル数 1～65535 質量 約2.6 kg 1 μm/V ±10 μm 0.3 nm オーバーラップ（%） 0、25、50、75 連続回数 1～10 外形寸法 P.8参照 5 μm/V ±50 μm 1.5 nm オフセット補正 ２～10個の波形のオフセット補正 1 MHz、500 kHz、200 kHz、100 kHz、 フィルタ 32、64、128、256、512、 設定レンジ 10 μm/V ±100 μm 3 nm LV-9300A レーザ測長計 サンプリング 50 kHz、20 kHz、10 kHz、5 kHz、2 kHｚ、 タップ長 1024、2048 100 μm/V ±1 mm 30 nm 0.155 nm 周波数 1 kHz、500 Hz、200 Hz、100 Hz、50 Hz、 ディジタル アナログ出力：0 ～ 10 V（入力インピーダンス100 kΩ以上にて） 20 Hz、10 Hz、5 Hz、2 Hz、1 Hz、0.5 Hz フィルタ LPF （サンプリング周波数/2.56）Hz～0 Hz モニター出力 2 mm/V ±20 mm 618 nm 出力インピーダンス：50 Ω 以下 ※干渉レベルを電圧出力 アナログ 時間計測 収録時間 HPF 0 Hz～（サンプリング周波数/2.56）Hz 出力端子：C02型（BNC） 変位レンジ 0.1 m/v ±1.0 m 30 μm 解析機能 65.5 msec（1 MHzサンプリング） ※サンプリング点数： ～36時間24分30秒（0.5 Hzサンプリング） サーチ メインサーチカーソル、サブサーチカーソル： 0.5 m/v ±5.0 m 154 μm 65535点時 干渉レベル表示：20 セグメント LED バ－ カーソル機能 振幅 / 時間 / 時間デルタ / 振幅デルタ 1 m/V ±10 m 309 μm 数値出力 バイナリ / csv レーザ状態表示：ウォームアップ時赤色LED 種類 OFF /Ch1 / EXT（外部入力） 表示器 データ出力 ／測定可能時緑色LED レンジオーバー表示 各レンジ 100 ％ 以上で赤色 LED 点灯 方向 ↑（Rise）、↓（Fall） イメージ出力 ビットマップ トリガ機能 ERROR 表示：計測エラー時に赤色LED点灯 リセット表示 変位ゼロリセット操作・入力時に緑色 LED 点灯 ポジション 0 %、25 %、50 %、75 % OS Microsoft®Windows®10 64ビットのみ OS/CPU 一般仕様（ディジタル変位計 LV-0121Aを含む） アナログ出力：1 MHz 固定 トリガ位置 0～±10（nm、μm、mm、m） CPU Intel®Core™ i3 2 GHz以上 使用電源 AC 100 ～ 240 V　50/60 Hz ディジタル出力：変位解析ソフトウェア ピッチ間隔（mm）/ +方向回数、-方向回数 / 繰り返し回数 （LV-0930）にて可変可能 設定 消費電力 60 ～ 140 VA サンプリング ピッチ許容値（mm） / 停止速度設定（mm/ｓ） / 終了サンプル数 周波数 （1 MHz、500 kHz、200 kHz、100 kHz、 動作温度範囲 5 ～ 40 ℃ 50 kHz、20 kHz、10 kHz、5 kHz、2 kHｚ、 サンプリング時間 62.5 ms　※変位値計測サンプリング時間62.5 ms固定 1 kHz、500 Hz、200 Hz、100 Hz、50 Hz、 使用湿度範囲 30 ～ 80 %RH（結露なきこと） 行き繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均 20 Hz、10 Hz、5 Hz、2 Hz、1 Hz、0.5 Hz） 保存温度範囲 －10 ～ 50 ℃ 帰り繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均 USB Ver. 2.0（ Full Speed） 1チャンネル測定器 約6.5 kg ディジタル出力 行き帰り繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均 質量 コネクタタイプ：mini-Bタイプ 位置決め精度 2チャンネル測定器 約8.0 kg 変位ゼロリセット信号入力／ TRIG 信号入力 統計解析機能 行き繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均の標準偏差 位置決め 1チャンネル測定器 325（W）×222（D）×135（H）mm（突起部含まず） 帰り繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均の標準偏差 :2014 外形寸法 コネクタタイプ：R03-R5F 精度 -1:2014 21CFR 1040.10 and 1040.11 2チャンネル測定器 378（W）×222（D）×135（H）mm（突起部含まず） 解析機能 行き帰り繰り返し回数分、各ポジション位置の偏差の平均の標準偏差 外部リセット信号：無電圧a接点信号入力/closeにてRESET動作 繰り返し回数それぞれの行きと帰りの各ポジション位置の偏差 対象の移動方向と信号出力極性 TRIG信号：TTL（＋5 V信号） ※LV-0930使用時使用可能 一方向位置決めの偏差及び繰り返し性（行き） 位置決め精度 ・測定対象変位方向がセンサヘッド側に近づく場合：変位電圧出力は＋電圧 EXT信号入力 A 外部リセット信号入力 統計解析グラフ 一方向位置決めの偏差及び繰り返し性（帰り） ・測定対象変位方向がセンサヘッド側から遠ざかる場合：変位電圧出力はー電圧 B 外部リセット信号COM 印刷機能 両方向位置決めの偏差及び繰り返し性（行き・帰り） ＋V 近 ピンアサイン C TRIG信号入力 試験日/時刻/試験場所/機種名/機械番号/ D TRIG信号COM 試験条件 測定軸/温度（℃）/気圧（hPa）/湿度（%）/ 0 E 記録・編集 物体温度（#1（）℃）/物体温度（#2（）℃）/ N・C 線膨張係数（ppm）/位置決め計測設定値 RESET 信号 －V 遠 SYNCHRONOUS 同期用コネクタ 信号入出力 （2台接続時） 信号 CLK 信号 LV-0121A ディジタル変位計とLV-0930 変位解析ソフトウェアによるデータサンプリング周波数とデータ取得時間 0.5 Hz 36時間24分30秒 131070 sec EXT 信号入力 等価回路 TRIG 信号 1 Hz 18時間12分15秒 65535 sec 外形寸法 P.8参照 2 Hz 9時間6分7秒 32767.5 sec 外部機器 LV-0121A内部 質量 約 1.6 kg 5 Hz 3時間38分27秒 13107 sec 10 Hz 1時間49分13秒 6553.5 sec リセット信号 20 Hz 54分36秒 3276.75 sec 無電圧a接点信号 EXT 50 Hz 54分36秒 1310.7 sec A 外部リセット信号入力 100 Hz 10分55秒 655.35 sec B 外部リセット信号COM 200 Hz 5分27秒 327.675 sec 接点クローズ時：リセット サンプリング 500 Hz 収録時間 2分11秒 収録時間 131.07 sec 5 V 5 V 周波数（Hz） 1 kHz （時分秒） 1分5秒 (sec) 65.535 sec 2 kHz 32秒 32.7675 sec TRIG信号 4.7 k 5 kHz 13秒 13.107 sec Hi=5～3.5 V TRIG信号入力 10 kHz 6秒 6.5535 sec C 20 kHz 3秒 3.27675 sec Lo=1.5～0 V D TRIG信号COM 22 k 50 kHz 1秒 1.3107 sec 1000 p 100 kHz 655.3 m秒 0.65535 sec 0 V E 0 V 200 kHz 327.7 m秒 0.327675 sec 500 kHz 131.7 m秒 0.13107 sec 6 1 MHz 65.5 m秒 0.065535 sec 7

外形寸法図 単位：mm レーザ測長計センサ LV-9002 レーザ測長計 LV-9300A + ディジタル変位計 LV-0121A （9.2） 218 83.5 6 5 13 192.5 （12.5） ∅ ∅2 325 16 84 コーナーキューブ LV-0801 LV-0802 φ4 φ10 有効径φ3 有効径φ7 （9.8） アライメント治具 LV-0822A 2-M6（センサ取付けネジ穴） 18 206 （15） 260 （24） （2） 108 （2） 131 12 三脚用ネジ穴 M8ネジ穴 直角ミラー LV-0965 55 20 32 4-φ4.2 貫 出射光 φ12 貫 通 φ15 ミラー 通 入射光 φ12 貫 通 φ15 光路図 36 ※LV-0815とは併用出来ません。 輸出貨物： リスト規制該当品 ※Microsoft®Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 その他記載されている会社名、 製品名は各社の商標または登録商標です。 お客様へのお願い　　当社製品（役務を含む）を輸出または国外へ持出す際の注意について 当社製品（役務を含む）を輸出または国外へ持出す場合は､外為法（外国為替及び外国貿易法）の規定により､リスト規制該当品であれば､経済産業大臣へ輸出許可申請の手続きを 行ってください。また非該当品であれば､通関上何らかの書類が必要となります。尚､非該当品であってもキャッチオール規制に該当する場合は､経済産業大臣へ輸出許可申請が必要と なります。お問い合わせは､当社の最寄りの営業所または当社輸出管理担当窓口（電話045-476-9707）までご連絡ください。 ●記載事項は変更になる場合がありますので、ご注文の際はご確認ください。 注意 ●機器を正しく安全にお使いいただくために、ご使用前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。 ●代理店・販売店 〒222-8507 神奈川県横浜市港北区新横浜3‒9‒3　TEL（. 045）935‒3888 お客様相談室 フリーダイヤル 0120－388841 受付時間 ： 9:00～12:00／13:00～18:00（土・日・祝日を除く） 北 関 東（028）684‒2400 浜 松（053）462‒5611 九 州（092）432‒2335 埼 玉（048）474‒8311 中 部（0565）41‒3551 海 外（045）476-9725 首 都 圏（045）935-3838 関 西（06）6386‒3141 沼 津（055）988‒3738 広 島（082）246‒1777 ホームページアドレス https://www.onosokki.co.jp/ E‒mailアドレス webinfo@onosokki.co.jp CAT.NO. 1644-09 Printed in Japan (U) (KO) '22.12月改訂 83 67 11 14 72 38 32 144.5（センサ設置面） 38.5 （40.5） 38 222.8 （7） （7） 135.4 φ7 10 φ3 3.4