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このカタログについて
ドキュメント名 | Porvair社 GasPro高性能ガスフィルター オールフッ素樹脂/SUS316L |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 510.3Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 日本パイオニクス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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オールフッ素樹脂
316L インラインフィルター
GasPro™フィルターは、半導体ガスフィルター用と 仕様 / 特徴
して特別に設計されています。全溶接構造になっ
• ・3nmフィルター
ており、大流量が必要でスペースが限られている 多孔質PTFEフィルターで0.003μmのろ過精度
ところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現してい
• ・最大使用温度
ます。
TEM900、1800、1900 : 121℃
TEM:1100、1200、1300、1400、1500 : 150℃
メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨され
たSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するため
• ・最大使用圧力
にろ過した窒素でパージされ出荷されます。
TEM900、1900 : 20.7MPa
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けら
TEM:1100、1200、1300、1400、1500 : 1.72MPa
れるようになっています。
TEM1800 : 5.16MPa
(詳細は各モデルカタログ参照)
アプリケーション
・Point-of-use半導体特殊ガスろ過
・PTFE メディア (その他材質は2ページ目以降参照)
・不活性ガスおよび特殊ガスの供給
•
・大流量超高純度不活性ガスおよび特殊ガス • ・電解研磨316Lハウジング
腐食やパーティクルの発生を防ぐために、10Raに
・半導体、TFTフラットパネルディスプレイ、シリコンウ
電解研磨された316Lステンレスハウジング
エハー製造、太陽光発電/ソーラープロセスガス
•
• ・クリーンルーム製造
クリーンルームで製造されており、パーティク
ルフリー、ケミカルクリーン、有機物質フリー
でのハンドリング作業
(追加の事前調整はオプションです)
•
• ・100%ヘリウムリークテスト
<1x10 -9 atm cc / sec
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○TEM-900 (流量:0~30L/min)
フィルターメディア /
型式 入口/出口 その他材質 長さ(L)
ハウジング
TEM-911 1/4" compression inlet/outlet 73.2mm (2.88”)
TEM-911s 1/4” compression inlet/outlet 73.2mm (2.88”)
TEM-911-6 3/8" compression inlet/outlet 89.4mm (3.52”)
TEM-912 1/4” male/female face seal 91.4mm (3.60”)
TEM-913 1/4" female/male face seal PTFE / 316L 87.8mm (3.46”)
PTFE / FEP / FKM
TEM-914 1/4" female/female face seal stainless steel 97.8mm (3.85”)
TEM-915 1/4" male face seal inlet/outlet 84.1mm (3.31”)
TEM-915s 1/4” male face seal inlet/outlet 84.1mm (3.31”)
TEM-915-8 1/2" male face seal inlet/outlet 84.1mm (3.31”)
TEM-925 1/4” male/male VCO** 76.2mm (3.0”)
** VCOはSwagelok社の商標でVCO継手シールはFKMです。
流量 / 圧力損失
○TEM-1100 (流量:0~8550L/min)
フィルターメディア /
型式 入口/出口 その他材質 長さ(L)
ハウジング
TEM-1115-16 1.0” male face seal inlet/outlet 899.9mm(35.43”)
TEM-1128-24 1.5” FNPT inlet/outlet PTFE / 316L 864mm (34.0”)
フッ素系樹脂/
TEM-1150-24 1.5” tube stub inlet/outlet stainless steel FEP被覆バイトン 946.2mm (37.25”)
TEM-1160-24 1.5” Tri-Clamp ends 889mm (35.0”)
流量 / 圧力損失
○TEM-1200 (流量:0~5700L/min)
フィルターメディア /
型式 入口/出口 その他材質 長さ(L)
ハウジング
TEM-1211-16 1.0” compression inlet/outlet 635mm (25.0”)
TEM-1215-16 1.0” male face seal inlet/outlet PTFE / 316L フッ素系樹脂/ 658.4mm (25.92”)
TEM-1250-16 1.0” butt weld inlet/outlet stainless steel FEP被覆バイトン 676.7mm (26.64”)
TEM-1250-24 1.5” butt weld inlet/outlet 762mm (30.0”)
流量 / 圧力損失
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○TEM-1300 (流量:0~2900L/min)
フィルターメディア /
型式 入口/出口 その他材質 長さ(L)
ハウジング
TEM-1315-12 3/4" compression inlet/outlet 403.9mm (15.90”)
PTFE / 316L フッ素系樹脂/
TEM-1350-16 1.0" tube stub inlet/outlet 388.1mm (15.28”)
stainless steel FEP被覆バイトン
TEM-1350-24 1.5" tube stub inlet/outlet 386mm (15.19”)
流量 / 圧力損失
○TEM-1400 (流量:0~2100L/min)
フィルターメディア /
型式 入口/出口 その他材質 長さ(L)
ハウジング
TEM-1411-12 3/4" compression inlet/outlet 208.3mm (8.20”)
TEM-1414-8 1/2" female face seal inlet/outlet 257.6mm (10.14”)
TEM-1415-8 1/2" male face seal inlet/outlet 225.0mm (8.86")
TEM-1415-12 3/4" male face seal inlet/outlet PTFE / 316L フッ素系樹脂/ 225.0mm (8.86")
TEM-1415-16 1.0" male face seal inlet/outlet stainless steel FEP被覆バイトン 225.0mm (8.86”)
TEM-1450-8 1/2" butt weld inlet/outlet 294.9mm (11.61")
TEM-1450-12 3/4" butt weld inlet/outlet 294.9mm (11.61”)
TEM-1450-16 1.0" butt weld inlet/outlet 232.2mm (9.14”)
流量 / 圧力損失
○TEM-1500 (流量:0~700L/min)
フィルターメディア /
型式 入口/出口 その他材質 長さ(L)
ハウジング
TEM-1511-8 1/2" compression inlet/outlet 129mm (5.08”)
TEM-1515-8 1/2" male face seal inlet/outlet 156mm (6.14")
PTFE / 316L フッ素系樹脂/
TEM-1515-8P 1/2" male face seal inlet/outlet FEP被覆バイトン 197mm (7.75")
stainless steel
TEM-1515-12 3/4" male face seal inlet/outlet 156mm (6.14”)
TEM-1550-12P 3/4" butt weld inlet/outlet 294.9mm (11.61”)
流量 / 圧力損失
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○TEM-1800 (流量:0~300L/min)
フィルターメディア/
型式 入口/出口 その他材質 長さ(L)
ハウジング
TEM-1811 1/4” compression inlet/outlet 141.9mm (5.585”)
TEM-1811-6 3/8” compression inlet/outlet 116.5mm (4.585”)
TEM-1811-8 1/2" compression inlet/outlet 143.9mm (5.665”)
PTFE / 316L フッ素系樹脂/
TEM-1812-P 1/4” male face seal inlet/female outlet FEP被覆バイトン 141.2mm (5.561”)
stainless steel
TEM-1815-6 3/8” male face seal inlet/outlet 132.6mm (5.22”)
TEM-1850-6 3/8” butt weld inlet/outlet 143.9mm (5.665”)
TEM-1850-8 1/2” butt weld inlet/outlet 143.9mm (5.665”)
流量 / 圧力損失
○TEM-1900 (流量:0~100L/min)
フィルターメディア/
型式 入口/出口 その他材質 長さ(L)
ハウジング
TEM-1911 1/4" compression inlet/outlet 116.8mm (4.6”)
TEM-1911-6 3/8” compression inlet/outlet 122.2mm (4.81”)
TEM-1911-8 1/2" compression inlet/outlet 122.7mm (4.83”)
PTFE / 316L フッ素系樹脂/
TEM-1915 1/4” male face seal inlet/outlet
stainless steel FEP被覆バイトン 127mm (5.00”)
TEM-1915-6 3/8” male face seal inlet/outlet 133.4mm (5.25”)
TEM-1915-8 1/2” male face seal inlet/outlet 133.4mm (5.25”)
TEM-1950-8 1/2" butt weld inlet/outlet 130.3mm (5.13”)
流量 / 圧力損失
Porvair Filtration Group Inc.の英文カタログを翻訳編集しております。記載内容は英文が優先されます
*メーカー品質向上のため、予告なく仕様変更することがあります。
ST事業部
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