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Porvair社 GasPro高性能ガスフィルター オールフッ素樹脂/SUS316L

製品カタログ

このカタログについて

ドキュメント名 Porvair社 GasPro高性能ガスフィルター オールフッ素樹脂/SUS316L
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 日本パイオニクス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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オールフッ素樹脂 316L インラインフィルター GasPro™フィルターは、半導体ガスフィルター用と 仕様 / 特徴 して特別に設計されています。全溶接構造になっ • ・3nmフィルター ており、大流量が必要でスペースが限られている 多孔質PTFEフィルターで0.003μmのろ過精度 ところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現してい • ・最大使用温度 ます。 TEM900、1800、1900 : 121℃ TEM:1100、1200、1300、1400、1500 : 150℃ メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨され たSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するため • ・最大使用圧力 にろ過した窒素でパージされ出荷されます。 TEM900、1900 : 20.7MPa 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けら TEM:1100、1200、1300、1400、1500 : 1.72MPa れるようになっています。 TEM1800 : 5.16MPa (詳細は各モデルカタログ参照) アプリケーション ・Point-of-use半導体特殊ガスろ過 ・PTFE メディア (その他材質は2ページ目以降参照) ・不活性ガスおよび特殊ガスの供給 • ・大流量超高純度不活性ガスおよび特殊ガス • ・電解研磨316Lハウジング 腐食やパーティクルの発生を防ぐために、10Raに ・半導体、TFTフラットパネルディスプレイ、シリコンウ 電解研磨された316Lステンレスハウジング エハー製造、太陽光発電/ソーラープロセスガス • • ・クリーンルーム製造 クリーンルームで製造されており、パーティク ルフリー、ケミカルクリーン、有機物質フリー でのハンドリング作業 (追加の事前調整はオプションです) • • ・100%ヘリウムリークテスト <1x10 -9 atm cc / sec
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○TEM-900 (流量:0~30L/min) フィルターメディア / 型式 入口/出口 その他材質 長さ(L) ハウジング TEM-911 1/4" compression inlet/outlet 73.2mm (2.88”) TEM-911s 1/4” compression inlet/outlet 73.2mm (2.88”) TEM-911-6 3/8" compression inlet/outlet 89.4mm (3.52”) TEM-912 1/4” male/female face seal 91.4mm (3.60”) TEM-913 1/4" female/male face seal PTFE / 316L 87.8mm (3.46”) PTFE / FEP / FKM TEM-914 1/4" female/female face seal stainless steel 97.8mm (3.85”) TEM-915 1/4" male face seal inlet/outlet 84.1mm (3.31”) TEM-915s 1/4” male face seal inlet/outlet 84.1mm (3.31”) TEM-915-8 1/2" male face seal inlet/outlet 84.1mm (3.31”) TEM-925 1/4” male/male VCO** 76.2mm (3.0”) ** VCOはSwagelok社の商標でVCO継手シールはFKMです。 流量 / 圧力損失 ○TEM-1100 (流量:0~8550L/min) フィルターメディア / 型式 入口/出口 その他材質 長さ(L) ハウジング TEM-1115-16 1.0” male face seal inlet/outlet 899.9mm(35.43”) TEM-1128-24 1.5” FNPT inlet/outlet PTFE / 316L 864mm (34.0”) フッ素系樹脂/ TEM-1150-24 1.5” tube stub inlet/outlet stainless steel FEP被覆バイトン 946.2mm (37.25”) TEM-1160-24 1.5” Tri-Clamp ends 889mm (35.0”) 流量 / 圧力損失 ○TEM-1200 (流量:0~5700L/min) フィルターメディア / 型式 入口/出口 その他材質 長さ(L) ハウジング TEM-1211-16 1.0” compression inlet/outlet 635mm (25.0”) TEM-1215-16 1.0” male face seal inlet/outlet PTFE / 316L フッ素系樹脂/ 658.4mm (25.92”) TEM-1250-16 1.0” butt weld inlet/outlet stainless steel FEP被覆バイトン 676.7mm (26.64”) TEM-1250-24 1.5” butt weld inlet/outlet 762mm (30.0”) 流量 / 圧力損失
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○TEM-1300 (流量:0~2900L/min) フィルターメディア / 型式 入口/出口 その他材質 長さ(L) ハウジング TEM-1315-12 3/4" compression inlet/outlet 403.9mm (15.90”) PTFE / 316L フッ素系樹脂/ TEM-1350-16 1.0" tube stub inlet/outlet 388.1mm (15.28”) stainless steel FEP被覆バイトン TEM-1350-24 1.5" tube stub inlet/outlet 386mm (15.19”) 流量 / 圧力損失 ○TEM-1400 (流量:0~2100L/min) フィルターメディア / 型式 入口/出口 その他材質 長さ(L) ハウジング TEM-1411-12 3/4" compression inlet/outlet 208.3mm (8.20”) TEM-1414-8 1/2" female face seal inlet/outlet 257.6mm (10.14”) TEM-1415-8 1/2" male face seal inlet/outlet 225.0mm (8.86") TEM-1415-12 3/4" male face seal inlet/outlet PTFE / 316L フッ素系樹脂/ 225.0mm (8.86") TEM-1415-16 1.0" male face seal inlet/outlet stainless steel FEP被覆バイトン 225.0mm (8.86”) TEM-1450-8 1/2" butt weld inlet/outlet 294.9mm (11.61") TEM-1450-12 3/4" butt weld inlet/outlet 294.9mm (11.61”) TEM-1450-16 1.0" butt weld inlet/outlet 232.2mm (9.14”) 流量 / 圧力損失 ○TEM-1500 (流量:0~700L/min) フィルターメディア / 型式 入口/出口 その他材質 長さ(L) ハウジング TEM-1511-8 1/2" compression inlet/outlet 129mm (5.08”) TEM-1515-8 1/2" male face seal inlet/outlet 156mm (6.14") PTFE / 316L フッ素系樹脂/ TEM-1515-8P 1/2" male face seal inlet/outlet FEP被覆バイトン 197mm (7.75") stainless steel TEM-1515-12 3/4" male face seal inlet/outlet 156mm (6.14”) TEM-1550-12P 3/4" butt weld inlet/outlet 294.9mm (11.61”) 流量 / 圧力損失
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○TEM-1800 (流量:0~300L/min) フィルターメディア/ 型式 入口/出口 その他材質 長さ(L) ハウジング TEM-1811 1/4” compression inlet/outlet 141.9mm (5.585”) TEM-1811-6 3/8” compression inlet/outlet 116.5mm (4.585”) TEM-1811-8 1/2" compression inlet/outlet 143.9mm (5.665”) PTFE / 316L フッ素系樹脂/ TEM-1812-P 1/4” male face seal inlet/female outlet FEP被覆バイトン 141.2mm (5.561”) stainless steel TEM-1815-6 3/8” male face seal inlet/outlet 132.6mm (5.22”) TEM-1850-6 3/8” butt weld inlet/outlet 143.9mm (5.665”) TEM-1850-8 1/2” butt weld inlet/outlet 143.9mm (5.665”) 流量 / 圧力損失 ○TEM-1900 (流量:0~100L/min) フィルターメディア/ 型式 入口/出口 その他材質 長さ(L) ハウジング TEM-1911 1/4" compression inlet/outlet 116.8mm (4.6”) TEM-1911-6 3/8” compression inlet/outlet 122.2mm (4.81”) TEM-1911-8 1/2" compression inlet/outlet 122.7mm (4.83”) PTFE / 316L フッ素系樹脂/ TEM-1915 1/4” male face seal inlet/outlet stainless steel FEP被覆バイトン 127mm (5.00”) TEM-1915-6 3/8” male face seal inlet/outlet 133.4mm (5.25”) TEM-1915-8 1/2” male face seal inlet/outlet 133.4mm (5.25”) TEM-1950-8 1/2" butt weld inlet/outlet 130.3mm (5.13”) 流量 / 圧力損失 Porvair Filtration Group Inc.の英文カタログを翻訳編集しております。記載内容は英文が優先されます *メーカー品質向上のため、予告なく仕様変更することがあります。 ST事業部 〒114-0001 東京都北区東十条6-10-12 TEL:(03)3903-2181 FAX:(03)3903-0123 https://www.japan-pionics.co.jp sales-st@japan-pionics.co.jp