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最小レンジ0.05~mL/minの超微少流量に対応した流量センサ
109シリーズは液体用の超微小流量センサです。レンジは0.05~0.5mL/minから最
大1~10mL/minまで4種類用意されています。サーマルマスフローセンサ(特許)を採
用し、優れた再現性を実現しています。配管接続はステンレスチューブを用いており、酸、溶剤、
その他腐蝕性流体にも使用できます。
最大使用圧力は3.45MPa、最小0.005mL/minまでの流量変化の測定が可能です。
流量に比例したリニアな0~5VDC、0~10VDC、4~20mA出力から選択できます。
■ 0.05~0.5mL/minから
■ 1~10mL/minのレンジ
■ 最小0.005mL/ minの流量
■ 変化検知可能
■ アナログ出力
■ メンテナンスフリー
■ 高速応答
■ 高耐圧 最高使用圧力3.45MPa
このカタログについて
ドキュメント名 | マクミラン社 0.05mL/min~ の超微小 流量センサ 109シリーズ |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 525.8Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 日本パイオニクス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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Model 109 シリーズ
液体用 超微小流量センサ
■ 0.05~0.5mL/minから
■ 1~10mL/minのレンジ
■ 最小0.005mL/ minの流量
■ 変化検知可能
■ アナログ出力
■ メンテナンスフリー
■ 高速応答
■ 高耐圧 最高使用圧力3.45MPa
測定液体がセンサに入り込み、液体の一部が
細いチューブへ流れ込みます。
このチューブには2本のコイルが上流側、下
流側にそれぞれ巻きつけられ、液体がチュー
ブを通る際に、電子回路がコイル間の熱の移
動量を検知します。
109シリーズは液体用の超微小流量センサです。レンジは0.05~0.5mL/minから最
大1~10mL/minまで4種類用意されています。サーマルマスフローセンサ(特許)を採
用し、優れた再現性を実現しています。配管接続はステンレスチューブを用いており、酸、溶剤、
その他腐蝕性流体にも使用できます。
最大使用圧力は3.45MPa、最小0.005mL/minまでの流量変化の測定が可能です。
流量に比例したリニアな0~5VDC、0~10VDC、4~20mA出力から選択できます。
単位:mm
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仕 様 モデル 109
精 度 ±1.0% FS (直線性含む)※
再 現 性 ±1.0% FS ※
最 大 使 用 圧 力 3.45MPa
圧 力 影 響 ±0.02%FS /6.9kPaまたはそれ以下
圧 力 損 失 Max.5hPa
環 境 温 度 流体温度 5 to 50℃ 保管温度 0 to 70℃
温 度 影 響 ±0.01%FS / ℃またはそれ以下
接 液 部 材 質 SUS304、SUS316、PTFE
非 接 液 部 材 質 アルミニウム、ABS プラスチック、ナイロン、ポリエステル
推 奨 フ ィ ル タ 100ミクロン以下
適 合 流 体 接液部材質と測定技術に適合する液体
負 荷 抵 抗 2.5kΩ以上(0 to 5V)
5kΩ以上(0 to 10V)
外 部 抵 抗 500Ω以下(4to 20mA)
ウォ-ムアップ時間 5分以下
電 源 12VDC@5W (12~15VDC)
電 気 接 続 7ピンコネクタ
応 答 性 典型:5秒以下(流量変化後)
セトリングタイム 典型:10~30秒(最終目標値の90%)、最大:90秒(±1%FS目標値到達)
信 頼 性 100,000時間(MTBF)
保 護 等 級 IP67(NEMA4)
※FS流量の10~100%の場合。 直線性はBFSL。 成績書に別途記載が無ければ校正作業は純水で行っています。
型式と適合表をご確認のうえ、下記の例のようにご指定ください
(例) 109(型式)-005(レンジ)-D(出力)-S1(継手)-C0(ケーブル)
*別紙レンジと継手の適合表もご確認ください。
型 式選択
①流量レンジ ②出力 ③継手サイズ
コ ード 仕 様 コード 仕 様 コード 仕 様
0 05 0.05~0.5 mL/min D 0~5VDC 1/16”ステンレス
S1
010 0.1~1.0 mL/min K 0~10VDC チューブ接続
0 50 0.5~5.0 mL/min C 4~20mA 1/8”ステンレス
S2
1 00 1.0~10.0 mL/min チューブ接続
④ケーブル ⑤電源アダプター(オプション) ⑥ディスプレイ(オプション)
コード 仕 様 コード 仕 様 コード 仕 様
C0 なし 109-PS-08 115V AC 電源 流量ディスプレイ、3 1/2 桁
210R
CP6 PVC ケーブル 1.85m 109-PS-18 230V AC 電源 5~30VDC 電源
CP12 PVC ケーブル 3.7m 250 多機能ディスプレイ、115V AC電源
250E 多機能ディスプレイ、230V AC電源
品質向上のため、予告なく仕様変更することがあります。
ST事業部
〒114-0001 東京都北区東十条 6-10-12
TEL:(03)3903-2181 FAX:(03)3903-0123
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