マクミラン社　小型薬液 流量センサ 106シリーズ

Model 106 シリーズ 薬液用流量センサ ■ 先進的なマイクロタービン構造により再現性の 高い測定が可能。 ■ パーティクルの発生が無い ■ ゼロドリフトの問題が無い ■ 各種の溶剤、純水、酸、CMPスラリーに使用 が可能。 ■ コンパクトなサイズ モデル１０６は、低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの マクミラン社のマイクロタービン・ホイールは、水力 ように小さい流量から５０Ｌ／ｍｉｎのように大きい 発電所に見られるペルトン水車のコンセプトを採用し 流量まで精度良く測定できる流量センサです。ペル ています。ホイールに小さなサファイヤのシャフトを トン型のマイクロタービン・ホイル（特許）を採用 圧入し、サファイヤのベアリングで支えられています。 しているので、優れた再現性を持ち、ウルトラクリーン ホイールとシャフトは、軽量なので、液体に浮遊した 用途に適したデザインになっています。プロセス 状態で回転します。この浮遊効果により、ホイールは ベアリングの中央部で浮いているので、シャフトとベ を汚染させるパーティクルの発生がなく、長期間に アリングの磨耗がありません。 わたって、正確な計測が可能です。 圧力接続は、チューブタイプの継ぎ手を採用してお マイクロタービン・ホイールには、円心円上に８つの ります。また電源と出力・継手のサイズ・ケーブル 貫通穴が等間隔に設けられています。ホイールが回転 の長さ等を各種の用途に合せて選択でき、利用しや すると、テフロンの側壁を通して赤外ビームがホイー すくなっています。 ルに向けて照射されます。反対側の側壁で受光センサ が、貫通穴を通ってくる赤外ビームを検知し、パルス マイクロタービン技術を採用した１０６は、コンパクト 信号に変換します。ホイールがより早く回転すると、 で、差圧検知タイプの流量センサと比較すると パルス数が増え、ホイールが止まると、パルスは出な 約１／４のサイズになります。 くなります。 １０６の接液部の材質は、テフロン、カルレッツ、 サファイヤなので、フッ酸、その他の酸、ＣＭＰスラリー、 溶剤、純水、現像液など、ほとんどすべての低粘度の 液体に使用できます。

精 度 パルス出力（ｺｰﾄﾞ A.E）±３.０％ ＦＳ 電圧電流出力（ｺｰﾄﾞ B,C,D,J,K） ±１.０％ ＦＳ 再 現 性 ±０.２% ＦＳ 使 用 圧 力 定格：４００ ＫＰａ 最大：６８０ ＫＰａ 媒 体 温 度 標準：５～５５℃ オプション（コードＨＴ）：５～８５℃ 周 囲 温 度 保 管時：０～７０℃ 接液部・Ｏリング 材質 接液部：ＰＴＦＥ・サファイア Ｏリング材質：カルレッツ 本 体 材 質 ＰＴＦＥ、ライトン、バイトン、ＳＵＳ、アルミニウム，ＰＶＣ 推 奨 フ ィ ル タ ２５ミクロン以下 適 合 流 体 １０ｃｓｔ以下の液体 パルス出力 アナログ出力 矩形波 ＢＯＳＦＥＴパルス ０～５Ｖ：負荷抵抗は２.５ＫΩ以上 非絶縁 出 力 ２５００Ｖで絶縁 ０～２００Ｈｚ(ｺｰﾄﾞ 3 典型値) ０～１０Ｖ：負荷抵抗は５ＫΩ以上 非絶縁 ０～５００Ｈｚ(ｺｰﾄﾞ 4 典型値) ４～２０ｍＡ：外部抵抗は５００Ω以下 １２～１５ＶＤＣタイプ コードＡ：５０ｍＡ コードＤ，Ｋ：５５ｍＡ 消 費 電 流 ２２～２５ＶＤＣタイプ コードＢ，Ｊ：５５ｍＡ コードＣ ７５ｍＡ コードＥ：５０ｍＡ 電 気 接 続 ＰＶＣケーブル （標準長さ １.８５ｍ） 信 頼 性 １００,０００時間 （ＭＴＢＦ） 型式と適合表をご確認のうえ、下記の例のようにご指定ください (例) １０６－３Ｅ－Ｔ４－Ｃ１０ ① 流量レンジ ②電源と出力 ③継手サイズ ④ケーブル ｺｰﾄﾞ 流 量 レ ン ジ ｺｰﾄﾞ 電源／出力 ｺｰﾄﾞ 継手のサイズ ｺｰﾄﾞ ｹｰﾌﾞﾙの長さ 3 15～100 mL/min Ａ 12-15VDC/ﾊﾟﾙｽ出力 T2 1/8”PFA チューブ接続 C3 0.92m 4 20～200 mL/min Ｂ 22-25VDC/0-5VDC T4 1/4”PFA チューブ接続 C6 1.85m 5 50～500 mL/min C25 7.7m Ｃ 15-25VDC/4-20mA T6 3/8”PFA チューブ接続 6 100～1000 mL/min Ｄ 12-15VDC/0-5VDC F4 1/4”PFA オスフレア 7 200～2000 mL/min Ｅ 22-25VDC/ﾊﾟﾙｽ出力 F6 3/8”PFA オスフレア 8 500～5000 mL/min Ｊ 22-25VDC/0-10VDC 9 1000～10000 mL/min Ｋ 12-15VDC/0-10VDC 流量レンジと継手サイズ適合 オプションコード表 ｺｰﾄﾞ ＨＴ 媒体温度 5～85℃ T2 T4 T6 F4 F6 ﾚﾝｼﾞ 本体部の金属部分の PTFE ＴＸ ﾁｭｰﾌﾞ継手ｻｲｽﾞ 3 ○ ○ ○ ○ ○ コーティング(ネジ等) 4 ○ ○ ○ ○ マイクロタービンホールの Ｕ 100ml/min ﾚﾝｼﾞ 1/8”Tube 5 ○ ○ ○ ○ アップグレード 2L/min ﾚﾝｼﾞまで 1/4”Tube 6 ○ ○ ○ ○ ＦＮ PVDF フレアナット 5,10L/min 3/8”Tube 7 ○ ○ ○ 8 ○ ○ ○ 9 ○ ○ 品質向上のため、予告なく仕様変更することがあります。 ＳＴ事業部 〒114-0001 東京都北区東十条 6-10-12 TEL:(03)3903-2181 FAX:(03)3903-0123 https://www.japan-pionics.co.jp sales-st@japan-pionics.co.jp