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マクミラン社 小型薬液 流量センサ 106シリーズ

製品カタログ

低粘度の液体を15mL/min~の小さい流量から測定。 多種の溶液に使用可能。

■ 先進的なマイクロタービン構造により再現性の高い測定が可能。
■ パーティクルの発生が無い
■ ゼロドリフトの問題が無い
■ 各種の溶剤、純水、酸、CMP スラリーに使用が可能。
■ コンパクトなサイズ

このカタログについて

ドキュメント名 マクミラン社 小型薬液 流量センサ 106シリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 590.8Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 日本パイオニクス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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Model 106 シリーズ 薬液用流量センサ ■ 先進的なマイクロタービン構造により再現性の 高い測定が可能。 ■ パーティクルの発生が無い ■ ゼロドリフトの問題が無い ■ 各種の溶剤、純水、酸、CMPスラリーに使用 が可能。 ■ コンパクトなサイズ モデル106は、低粘度の液体を15mL/minの マクミラン社のマイクロタービン・ホイールは、水力 ように小さい流量から50L/minのように大きい 発電所に見られるペルトン水車のコンセプトを採用し 流量まで精度良く測定できる流量センサです。ペル ています。ホイールに小さなサファイヤのシャフトを トン型のマイクロタービン・ホイル(特許)を採用 圧入し、サファイヤのベアリングで支えられています。 しているので、優れた再現性を持ち、ウルトラクリーン ホイールとシャフトは、軽量なので、液体に浮遊した 用途に適したデザインになっています。プロセス 状態で回転します。この浮遊効果により、ホイールは ベアリングの中央部で浮いているので、シャフトとベ を汚染させるパーティクルの発生がなく、長期間に アリングの磨耗がありません。 わたって、正確な計測が可能です。 圧力接続は、チューブタイプの継ぎ手を採用してお マイクロタービン・ホイールには、円心円上に8つの ります。また電源と出力・継手のサイズ・ケーブル 貫通穴が等間隔に設けられています。ホイールが回転 の長さ等を各種の用途に合せて選択でき、利用しや すると、テフロンの側壁を通して赤外ビームがホイー すくなっています。 ルに向けて照射されます。反対側の側壁で受光センサ が、貫通穴を通ってくる赤外ビームを検知し、パルス マイクロタービン技術を採用した106は、コンパクト 信号に変換します。ホイールがより早く回転すると、 で、差圧検知タイプの流量センサと比較すると パルス数が増え、ホイールが止まると、パルスは出な 約1/4のサイズになります。 くなります。 106の接液部の材質は、テフロン、カルレッツ、 サファイヤなので、フッ酸、その他の酸、CMPスラリー、 溶剤、純水、現像液など、ほとんどすべての低粘度の 液体に使用できます。
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精 度 パルス出力(コード A.E)±3.0% FS 電圧電流出力(コード B,C,D,J,K) ±1.0% FS 再 現 性 ±0.2% FS 使 用 圧 力 定格:400 KPa 最大:680 KPa 媒 体 温 度 標準:5~55℃ オプション(コードHT):5~85℃ 周 囲 温 度 保 管時:0~70℃ 接液部・Oリング 材質 接液部:PTFE・サファイア Oリング材質:カルレッツ 本 体 材 質 PTFE、ライトン、バイトン、SUS、アルミニウム,PVC 推 奨 フ ィ ル タ 25ミクロン以下 適 合 流 体 10cst以下の液体 パルス出力 アナログ出力 矩形波 BOSFETパルス 0~5V:負荷抵抗は2.5KΩ以上 非絶縁 出 力 2500Vで絶縁 0~200Hz(コード 3 典型値) 0~10V:負荷抵抗は5KΩ以上 非絶縁 0~500Hz(コード 4 典型値) 4~20mA:外部抵抗は500Ω以下 12~15VDCタイプ コードA:50mA コードD,K:55mA 消 費 電 流 22~25VDCタイプ コードB,J:55mA コードC 75mA コードE:50mA 電 気 接 続 PVCケーブル (標準長さ 1.85m) 信 頼 性 100,000時間 (MTBF) 型式と適合表をご確認のうえ、下記の例のようにご指定ください (例) 106-3E-T4-C10 ① 流量レンジ ②電源と出力 ③継手サイズ ④ケーブル コード 流 量 レ ン ジ コード 電源/出力 コード 継手のサイズ コード ケーブルの長さ 3 15~100 mL/min A 12-15VDC/パルス出力 T2 1/8”PFA チューブ接続 C3 0.92m 4 20~200 mL/min B 22-25VDC/0-5VDC T4 1/4”PFA チューブ接続 C6 1.85m 5 50~500 mL/min C25 7.7m C 15-25VDC/4-20mA T6 3/8”PFA チューブ接続 6 100~1000 mL/min D 12-15VDC/0-5VDC F4 1/4”PFA オスフレア 7 200~2000 mL/min E 22-25VDC/パルス出力 F6 3/8”PFA オスフレア 8 500~5000 mL/min J 22-25VDC/0-10VDC 9 1000~10000 mL/min K 12-15VDC/0-10VDC 流量レンジと継手サイズ適合 オプションコード表 コード HT 媒体温度 5~85℃ T2 T4 T6 F4 F6 レンジ 本体部の金属部分の PTFE TX チューブ継手サイズ 3 ○ ○ ○ ○ ○ コーティング(ネジ等) 4 ○ ○ ○ ○ マイクロタービンホールの U 100ml/min レンジ 1/8”Tube 5 ○ ○ ○ ○ アップグレード 2L/min レンジまで 1/4”Tube 6 ○ ○ ○ ○ FN PVDF フレアナット 5,10L/min 3/8”Tube 7 ○ ○ ○ 8 ○ ○ ○ 9 ○ ○ 品質向上のため、予告なく仕様変更することがあります。 ST事業部 〒114-0001 東京都北区東十条 6-10-12 TEL:(03)3903-2181 FAX:(03)3903-0123 https://www.japan-pionics.co.jp sales-st@japan-pionics.co.jp