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セトラシステムズ社 特殊・高純度ガス 圧力センサ モデル 225

製品カタログ

電解研磨を施した、ウルトラクリーンシリーズ。特殊ガス・高純度ガス・液体に使用可能。

「モデル225」は、特殊ガス用に開発された、静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどによる影響を受けにくい構造になっています。デッドスペースが、1.8ml と小さく、パージが容易に行えます。

<用途>
○特殊ガス供給システム
○ガスキャビネット
○半導体製造プロセス

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このカタログについて

ドキュメント名 セトラシステムズ社 特殊・高純度ガス 圧力センサ モデル 225
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 850.9Kb
登録カテゴリ
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モデル225の仕様 ” ” ” ST事業部 〒114-0001 東京都北区東十条 6-10-12 TEL:(03)3903-2181 FAX:(03)3903-0123 https://www.japan-pionics.co.jp sales-st@japan-pionics.co.jp 2103-10N