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電解研磨を施した、ウルトラクリーンシリーズ。特殊ガス・高純度ガス・液体に使用可能。
「モデル225」は、特殊ガス用に開発された、静電容量方式の圧力センサです。配管時のトルクストレス、低温ガスのフローによる温度変化、外部からの高周波ノイズなどによる影響を受けにくい構造になっています。デッドスペースが、1.8ml と小さく、パージが容易に行えます。
<用途>
○特殊ガス供給システム
○ガスキャビネット
○半導体製造プロセス
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このカタログについて
ドキュメント名 | セトラシステムズ社 特殊・高純度ガス 圧力センサ モデル 225 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 850.9Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 日本パイオニクス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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225
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モデル225の仕様
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