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高精度表面形状システム DYVOCE Series

製品カタログ

このカタログについて

ドキュメント名 高精度表面形状システム DYVOCE Series
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 2.4Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 神津精機株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に最適 単 ー 用.indd 1 15.1.5 0:19:13 PM
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仕 様 機械仕様 型 式 DY-1000 DY-3000 XY測定範囲 100×100mm 300×300mm XY最小分解能 1μm 1μm 真直度(Z方向) ≦1μm/30mm(任意位置) ≦1μm/30mm(任意位置)8μm/100mm( ※≦1μm/100mm) 12μm/300mm( ※≦1μm/300mm) 水平耐荷重 1Kg 5Kg 電源電圧/最大消費電力 100V 50/60HZ 約 300W 100V 50/60HZ 約 500W (※:マッピング補正実装時の真直度) ソフトウェア仕様 駆 動 各種単軸駆動、各種2軸補完駆動、各種指定座標駆動 計 測 各制御パラメータ設定、各Scanタイプ選択、PointMaker、GridMaker 解 析 断面表示、高さ・幅・角度・円弧計測、3D表示、SEMI規格値出力 データ入出力 計測結果保存(kzv・csv)、測定条件パラメータ(読込・保存)、 計測結果レポート出力、キャプチャ画像保存(2D・3D) DY-1000 DY-3000 コンソールラック ※オプション 幅 504mm 幅 794mm 幅 571mm 奥 行 453mm 奥 行 654.5mm 奥 行 800mm 高 さ 552.5mm 高 さ 1,111mm 高 さ 770mm 重 量 約 39kg 重 量 約 170kg 重 量 約 70kg 794 654.5 571 800 504 453 ● カスタマイズ ラインナップ以外のステージサイズ(測定領域)に関しては、ご用途に応じてカスタマイズ対応可能です。 また、ワークに合わせた専用ホルダの製作も承っております。 ● 御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っております。 サンプル測定 ● 弊社ショールームにお越しいただき、実際に測定を試していただくことも可能です。   詳しくは弊社営業部までお問い合わせ下さい。 神津精機株式会社 本社/工場 〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15 大 阪 支 店 〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38 TEL.044-981-2131 FAX.044-981-2181 新大阪西浦ビル202 TEL.06-6398-6610 FAX.06-6398-6620 ホームページ http://www.kohzu.co.jp お問い合わせ先 E-mail:sale@kohzu.co.jp このパンフレットに記載された内容、仕様は予告なく変更されることがあります。 14.11 単 ー 用.indd 2 15.1.5 0:19:21 PM 210.5 552.5 709 1,111 770
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機 能 解析(オプション) マッピング補正 基準平面基板の表面高さデータを事前に測定し、補正データとして保存します。 そのデータを実際のワークの測定データから差し引くことにより、スキャンステージの持つ 微小な揺動も補正して、ワークの真値に近づけます。 特に反りの小さなワークの測定に有効です。 ■ マッピング補正前 ■ マッピング補正後 ■ 基準平面基板測定 SORI:4μm SORI:0.3μm ※φ200ガラス平面基板(平面度:4/λ)の表面を測定しSORI算出した場合 自重たわみ補正 ウエハの自重起因のたわみを補正することにより、ウエハ本来のたわみデータを算出します。 特に薄いウエハ・大口径ウエハに有効です。 重力補正前 重力補正後 SORI:42μm SORI:20μm ※中心吸着した 4inch ウエハの測定例 両面差分モード 理想モデル差分モード ウエハの裏表両面の表面形状を測定し、そのデータの差分から自重 有限要素法により作成した自重 たわみの影響を消した補正データをつくります。 たわみを含むウエハの理想モデルと 測定データの差分から自重 表面 うらがえす 裏面 たわみの影響を消した補正 データをつくります。 単 ー 用.indd 3 15.1.5 0:19:26 PM
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Dyvoce Series 高精度形状測定システム Dyvoce(ダイボス)シリーズは、 被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる 非接触形状測定システムです。 使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、 高精度ステージメーカならではの高い信頼性と モーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。 構 成 図 変位センサ用 コントロール 変位センサ コントローラ PC BOX 装置本体(※2) (※1) (※1)測定用センサはワークに合わせて最適なものを選定し組み込まれます。  (※2)ワークにあわせたホルダの製作・組み込みも可能です。 ア プ リ ケ ー シ ョ ウエハ ガラス フィルム 電子基板 ン 単 ー 用.indd 4 15.1.5 0:19:30 PM
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機 能 測定駆動 DyvoceMeasure(形状測定ソフトウェア)   豊富な測定駆動を有する制御駆動ソフト DyvoceMeasure(ダイボスメジャー) ステージの位置決めをはじめ、豊富な駆 動・測定機能により、測定パターンを実現 させます。専用解析ソフト形式・CSV 形 式でのデータ保存が可能です。 SpiderMeasure(間引き測定)   間引き測定用の駆動パターンの設定を行 います。 ■スキャンモード クロスライン・インクライン・サークル上 の様々なスキャン測定やこれらの組み合 わせにより、近似的に表面形状を測定す る機能です。 ■セット画面 全面スキャンに対して圧倒的な測定時間 の短縮となります。 GridMake(r 複数ワーク一括測定) 複数ワークの測定を一連のシーケンスと して完了させます。 ■スケジュール 様々なワーク形状・測定パラメータ・配置 の組み合わせでも対応可能。設定したプ ログラムごとの個々のデータを順次保存 していきます。 単 ー 用.indd 5 15.1.5 0:19:34 PM
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機 能 解 析 DyvoceAnalyze(r 解析ソフトウェア) 取得データからの 2D/3D 断面形状プロファイルよりグラフ表示・各種計測と、様々な解析を 行います。CSVファイルへのエクスポートや報告書作成に便利なレポート出力も可能です。 ■ 傾き補正 ■ フルクラム ■ 形状計測  (座標軸回転) 高さ計測 ZOOM 幅計測 角度計測 (3点/2辺挟角) 3点補正 曲率計測 (3点/範囲) SORI・BOW(SEMI Stndard) 測定データから、SEMI 規格の【SORI】【BOW】の値の自動算出を行います。 最大値・最小値ポイントもイメージ内に表示します。 ZOOM レポート作成 ■ SORI / BOW ■ 形状計測 幅・高さなどの 2D、SORI・BOWな どの3Dデータからの形状計測結果を レポート形式で出力を行います。 単 ー 用.indd 6 15.1.5 0:19:39 PM