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高精度表面形状測定システム DYVOCE series、ウエハ応力解析ソフトウェア

製品カタログ

このカタログについて

ドキュメント名 高精度表面形状測定システム DYVOCE series、ウエハ応力解析ソフトウェア
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 371.7Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 神津精機株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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高精度表面形状測定システム Dyvoce Series ・非接触型平坦度測定 ・SEMI規格対応測定 ・ウエハ自重たわみ補正 ※:DY-3000RS Dyvoce Series Spec Sheet 型式(Model) DY-3000 DY-3000RS DY-3000RC 駆動タイプ XY XΘ XΘ 測定範囲 300×300㎜ Φ300㎜ Φ300㎜ 測定再現性(σ)※1 <1μm <1μm <1μm 高さ分解能 0.01μm 0.01μm 0.01μm 最高速度 200㎜/sec 5rps 5rps スループット※2 <7分 <1分 <1分 最大ワーク質量※3 5kg 0.5kg 0.5kg 装置重量※4 約330kg 約430kg 2300kg ※1: 平面度λ/3のガラス基板のSORI測定の結果 ※2: Φ4インチウエハ片面測定の時間 ※3: 校正用ガラス基板を除く ※4: 固定ガード付の場合 Software Mapping 真直度などのステージ動作特性を補正 Correction 自重によるウエハのたわみを補正 SpiderMeasure 十字や円弧などでの間引き測定 GridMaker 様々な測定レシピを連続で動作 NoiseCut ノイズカット・スムージングなどのフィルター SEMI WARP・BOW・SORI・GBIR・SFQRなどの項目に対応 Report HTML形式でのレポート出力 Dyvoce Series
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高精度表面形状測定システム Dyvoce Series ウエハ応力解析ソフトウェア ・BW-Stress・FT-Stress 反り測定と同時に、 応力解析が可能に ベアウエハ応力解析ソフトウェア 成膜ウエハ応力解析ソフトウェア BW-Stress FT-Stress ベアウエハに内在している応力を 成膜することによって発生する応力を 形状測定の結果から解析 形状測定の結果から解析 Dyvoce Series