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「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部 材を使用し、高い位置決め精度・高剛性を維持した汎用 位置決めステージです。
「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部材を使用し、高い位置決め精度・高剛性を維持した汎用位置決めステージです。
ステージの本体にはアルミニウム素材、案内部にはステンレス、メネジ、ウォームホイール部にはリン青銅などの金属や、
真空対応の絶縁材・潤滑材などを使用しています。これらの材料の選択や製造工程には、これまで弊社が放射光施設、半導体露光、
宇宙関連の装置開発で培ってきたノウハウが結集されています。また、検査や包装も十分に管理された環境のもとで行われています。
このカタログについて
ドキュメント名 | 真空対応ステージカタログ |
---|---|
ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 2.4Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 神津精機株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
Page1
真空対応ステージ
Vacuum Compatible Positioning Stage
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システム
製品 真空対応ステージガイダンス
System
Products
産業用 Understanding Vacuum Compatible Stage
Industrial
はじめに
実験用
Experi- Introduction
mental
「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部 'Kohzu vacuum-compatible stages' are precise and
手動精密
ステージ 材を使用し、高い位置決め精度・高剛性を維持した汎用 durable positioning instruments ideally suited for the Manual
Stage
位置決めステージです。ステージの本体にはアルミニウ extreme requirements imposed by high-vacuum X・XY
X・XY environments. Our vacuum-compatible stages exhibit
ム素材、案内部にはステンレス、メネジ、ウォームホイー
performance characteristics comparable to those of
Z ル部にはリン青銅などの金属や、真空対応の絶縁材・潤 Kohzu standard motion products. Kohzu vacuum-
Z
滑材などを使用しています。これらの材料の選択や製造 compatible stages are manufactured, assembled,
回転 工程には、これまで弊社が放射光施設、半導体露光、宇 inspected and packaged under highly controlled
Rotation
宙関連の装置開発で培ってきたノウハウが結集されて conditions. Since proper selection is at the core of
スイベル vacuum-compatibility, Kohzu engineers only specify low
(ゴニオ) います。また、検査や包装も十分に管理された環境のも
Swivel outgas metals, plastics, lubricants and components...
(Tilt) とで行われています。 materials are limited to aluminum, stainless steel, and
自動精密
ステージ ここに記載されているステージ以外でもエンコーダの phosphor bronze.
Motorized
Stage 取り付けや、超高真空対応製品などのご要望がございま Kohzu's years of developing customized vacuum-
X・XY
X・XY したら、弊社営業部までお問い合わせ下さい。 compatible solutions for synchrotron radiation
research, semiconductor lithography and space
Z development applications have yielded a vacuum-
Z
compatible motion instruments product line of
回転 unsurpassed quality, reliability and performance.
Rotation Ultra high vacuum oil-free lubrication as well as high-
precision linear and angular encoders can be provided
スイベル
(ゴニオ) on request. Please feel free to contact us for all your
Swivel
(Tilt) high and ultrahigh vacuum needs.
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空 到達圧力、残留ガス、放出ガス速度の計測
ステージ Vacuum Test Results
Vacuum
Stage
制御装置 テスト用の真空容器にステージを挿入した場合と、ステージ • Ultimate System Pressure
Control なし(バックグラウンド)の場合で、到達圧力の時間変化、残
Electron- • Residual Gas Analysis
ics 留ガス分析、放出ガス速度の計測結果を示します。 • Outgas Rate
モーター
コントローラ A small chamber was prepared to conduct these three
Motor
Controller vacuum tests. Vacuum chamber is first tested empty
ドライバ before introducing Kohzu's MVSA07A-RT vacuum-
ボックス compatible swivel stage.
Driver
Box
アプリ ■ 計測条件 ■ Test Equipment
ケーション Stage:MVSA07A-RT1
Applica- 試験ステージ:MVSA07A-RT
tion ■ 計測機器 ■ Chamber Volume:18ℓ
モーター テスト用真空容器:(容積:18ℓ) Pump:400ℓ/sec, Turbo Molecular2
ドライバ Pump:250ℓ/min, Scroll3
Motor ■ 真空ポンプ
Driver 4ターボ分子ポンプ ■ Gauge:Bayard-Alpert Ion Type
モーター (セイコー精機社製、型式:SPT-400 400ℓ/sec) RGA:Quadrupole Mass Spectrometer5ケーブル
Motor スクロールポンプ 1.Kohzu 70mm stage, Medium Vacuum Compatible
Cable (アネスト岩田社製、型式:ISP-250B 250ℓ/min) 2.Seiko Seiki SPT-400
付録
Appendix ■ 真空ゲージ 3.Anesto Iwata ISP-250B
B-A 形電離真空計 4.Anelva MG-2F with MIG-430 Controller
(アネルバ社製、ミニチュアゲージMG-2F, コントローラMIG-430) 5.A nelva M100QA-M,2.5mA filament current,1400V induced
アクセ voltage at 2nd electron multiplier.
サリー 四重極型質量分析計(アネルバ社製、型式:M-100QA-M)
Accesso- 計測条件: フィラメント電流2.5mA,
ries 2次電子増倍管印加電圧1400V
検査
システム
Inspection
System
M-002 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
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Page3
システム
製品
System
Products
産業用
Industrial
1.圧力の時間変化 10 -2
Ultimate System Pressure BackgroundMVSA07A-RT 実験用
10 -3 Experi-
mental
10 -4
手動精密
ステージ
10 -5 Manual
Stage
10 -6 X・XY
図1 真空到達度(試験ステージありとバックグラウンド) X・XY
Fig. 1 Pressure vs. Time 10 -7
0 5 10 15 20 25 Z
Time(h) Z
2.四重極型質量分析計を使用した残留ガス測定
Residual Gas Analysis
回転
Rotation
四重極型質量分析計では、気体分子の質量m(amu)(amu Quadrupole mass spectrometer detects mass to charge
はatom mass unitの略)を電荷量z(整数)で割ったものを ratio (m/z), where most elements detected are hydrogen,
観測します。 water, carbon and nitrogen compounds. Additionally
スイベル
(ゴニオ)
ステージを真空容器に入れた場合には、水素、水、炭化物、 traceamounts of hydrocarbon and carbonate fluorine are Swivel
窒化物などに加えて、潤滑剤が由来と思われる炭化水素ガス detected and directly attributed to the vacuum grease used
(Tilt)
to lubricate our stages. The partial pressures of trace 自動精密
や炭化フッ素ガスも観測されます。これらのガスは、常温で ステージcontaminants represent a small contribution to overall Motorized
は圧力にほとんど寄与しませんが、温度を上げると蒸発量が system pressure. However, outgassed contaminants will Stage
多くなり影響を与えます。超高真空下での使用には、炭化水 increase as stage temperature rises. If ultra high vacuum X・XY
素ガスや炭化フッ素ガス放出の少ない固体潤滑を採用し、ベ conditions are required, we offer customized oil-free stages X・XY
ーキング対応の材質に変更を推奨します。 fitted with materials and lubricants suitable for baking.
Kohzu can address all of your vacuum requirements, Z
4.93×10 -9 1.87×10 -8 including those for UHV motion applications. Z
3 10 -9 3 10 -9
7.54×10 -8 2.65×10 -5(Pa) 4.01×10 -7(Pa)
2.5 10 -9 2.5 10 -9 回転
Rotation
2 10 -9 2 10 -9
図2 残留ガス分析結果
1.5 10 -9 1.5 10 -9 スイベル
試験ステージあり(ベーキングなし)とバックグラウンド(ベー (ゴニオ)
1 10 -9 1 10 -9 Swivel
キング150℃10時間) (Tilt)
5 10 -10 5 10 -10
Fig. 2 After introducing stage (no baking) and After baking アライメント
0 0
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 chamber for 10hrs. at 150°C (without stage) ステージ
XYθ
m/z(amu) m/z(amu)
真空
試験ステージ バックグラウンド ステージ
Sample Stage Back Ground (without sample stage) Vacuum
Stage
3.放出ガス速度(オリフィス法) 制御装置Control
Gas Emission Velocity (Orifice method) Electron-
テストサンプルチャンバーP1と、排気系に至るベースチャンバーP2の間に ics
質量分析計(Qmass) 仕切りを設けます。その仕切りには微細穴があり、P1、P2に圧力差が生じるよ モーター
Quadrupole mass spectrometer コントローラ
ゲートバルブ うにしています。P1、P2の圧力を測定し、その圧力差を調べることでサンプル Motor
Gate valve 電離真空計
Controller
Ionization vacuum gauge からのガス放出速度が導き出されます。実際には、真空容器の表面でもガスの ドライバ
放出・吸着が起こるので、まずチャンバーが空の状態でのデータをバックグラウ ボックス
ンドとして測定します。そのデータを差し引いた上で、試料からの正味のガス放 DriverBox
出速度を求めます。 アプリ
A partition is installed between the test sample chamber P1 and base ケーションApplica-
chamber P2 that is connected to the exhaust system. The partition has fine tion
テストサンプルチャンバー holes that generate a pressure difference between P1 and P2. By measuring モーター
Test sample chamber ドライバthe pressure of P1 and P2 and examining the pressure difference, the gas Motor
オリフィス径付仕切り emission velocity from the sample can be obtained. Since emission and Driver
Partition with orifice holes
adsorption occur also on the surface of the vacuum equipment, first モーター
ベースチャンバー ケーブルperform measurements with empty chambers for control data. Calculate the Motor
Base chamber
net gas emission velocity from the sample by subtracting the control data. Cable
400L ターボ分子ポンプ 電離真空計 付録
400L Turbo-molecular pump Ionization vacuum gauge Appendix
Q=C{(P1-P2)-ground}(Pa・m3/sec)
(ground: サンプルが入っていない時のチャンバーの差圧)
Q: 放出されるガス速度 C: コンダクタンス P: チャンバーが空の時の差圧 アクセサリー
(ground: Differential pressure in chamber without sample) Accesso-
ries
Q: Gas emission velocity C: Conductance P: Differential pressure with empty chambers
検査
システム
Inspection
System
お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-003
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Current I(mA)
Current I(mA)
Pressure(Pa)
Page4
システム
製品 真空対応ステージガイダンス
System
Products
産業用 Understanding Vacuum Compatible Stage
Industrial
真空内で使用する際の注意点
実験用
Experi- How to use in vacuum
mental
手動精密 容器の排気について
ステージ
Manual
Stage 真空ポンプの選定・取り付けには、真空容器の容積、 • Vacuum Chamber
X・XY 内部装置からのガス放出量、排気系のコンダクタンスを Consideration must be given to vacuum vessel
X・XY volume, content outgas rate and the system's
考慮して下さい。また包装からステージを取り出した後 pumping conductance.
Z は、長時間大気に曝すことは避け、早めに真空下に設置 • Vacuum Handling
Z
して下さい。 Minimize exposure of vacuum-compatible stages to
atmo-spheric conditions. After unpacking, install
回転
Rotation モーターの発熱によるベーキング効果 vacuum-compatible stages into a vacuum chamber as
soon as possible.
スイベル 真空内では、大気中と異なり対流による熱伝導はほと • Motor Heating
(ゴニオ)
Swivel んどありません。このため、主にモーターから発生した熱 Heat conductivity and dissipation are significantly
(Tilt)
により、以下のような現象が起こります。 reduced in a vacuum environment. This will lead to 自動精密
ステージ 1. 潤滑剤の蒸発による真空容器内の劣化(圧力上昇など) over-heating of in-vacuum stepper motors if operated Motorized
Stage cont inuously for long per iods of t ime. Motor
2.ベアリング部の焼きつき
X・XY overheating will lead to a rise in system pressure
X・XY 3. 熱膨張による影響(ステージに熱が逃げるため、大気 caused by the evaporation of motor-bearing lubricants.
中よりも熱膨張の影響を受けやすくなる) Evaporation of motor-bearing lubricants can in turn
Z lead to premature bearing failure.
Z
Furthermore, it might be easy occured for dimensional
2.5 10 -4
回転 instability produced by thermal gradients and different
Rotation Rotaing motor(30 sec.) coeffcients of thermal expansion.
2 10 -4
スイベル Pressure 左のグラフは、真空容器の中に真空対応ステージに使用しているモータ
(ゴニオ) saturation1.5 10 -4 ーを挿入し、圧力変化を調べた結果で、モーターを励磁するとある時間を過
Swivel
(Tilt) Stasrt owthe current ぎた時点で圧力が飽和します。そのあとモーターを回転させると、回転中は
アライ 1 10 -4 圧力が急激に上昇しますが、しばらくするとすぐに元の状態に戻ります。
メント
ステージ これを繰り返すことにより、圧力が低くなっていきます。
XYθ
5 10 -5 The left graph shows pressure change over time as an in-vacuum stepper
真空 motor is powered 'On' and 'Off' inside a vacuum chamber. According to
ステージ the data collected, after starting a current flow to an in-vacuum motor,
Vacuum
Stage 0 5 10 15 20 25 system pressure will increase until reaching a saturation point. If the
制御装置 Time(h) motor generates in every 30 seconds, the pressure level is getting higher
Control immediately, but after that, the pressure returns to lower level. By
Electron-
ics 図3 モーターの励磁・回転と圧力上昇 repeating the motor running, the pressure is going down a gradually.
Fig. 3 Pressure vs. Time (while cycling motor)
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ 圧力を低く保つには…
ボックス To improve or maintain minimum system pressure...
Driver
Box
アプリ 1.使用する前に慣らし運転して、ガスを放出しておく。 1.Running in-vacuum motors as previously described
ケーション 2.停止時の励磁電流を必要最低限に抑える。 2.Maintain lowest possible motor holding currentsApplica-
tion
モーター
ドライバ より高精度を追求するには…
Motor To improve or maintain maximum positional accuracy...
Driver
モーター 1.モ ーターの温度を逃がすような工夫を施す。もしくは、 1. Reduce motor heating by minimizing power 'On'
ケーブル
Motor モーターとステージの間を断熱する。 cycles and holding current. Or, install thermal Cable
2. リニアエンコーダや回転エンコーダを組み込み、フィー insulation between motor and motion mechanics付録
Appendix 2. Add optional, vacuum-compatible, linear or angular
ドバック制御する。 encoders with feedback control.
アクセ ステージによっては、断熱材やエンコーダが取り付けら Some stages can not be fitted with insulating spacers
サリー
Accesso- れないものもあります。詳しくは営業部までお問い合わ or encoders. Please contact us for more information
ries
検査 せ下さい。 on stage options and functionality.
システム
Inspection
System
M-004 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
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Pressure(Pa)
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真空対応ステージの結線 システム製品
System
Products
Wiring Connection of Vacuum Compatible Stage 産業用
Industrial
接続構成例
Accessories for connection 実験用Experi-
mental
❸電流導入端子 モーターコントローラ
ステージコネクタ部 手動精密Feedthrough Motor Controller ステージ
Stage Connector Manual
❶真空対応ケーブル ❷モーターケーブル Stage
Vacuum compatible cable Motor Cable X・XY
X・XY
D-Sub / D-Sub D-Sub / モーターコントローラへ Z
Female / Female ZFemale / Male
真空側 Vacuum-side 大気側 Air-side 回転
Rotation
ステージをコントローラに接続するには、以下のケーブ The components required to connect Kohzu vacuum-
ルなどが必要になります。 compatible stages and SC controllers are: スイベル(ゴニオ)
❶真空対応ケーブル(ステージから電流導入端子) ❶Stage-to-feedthrough cable
Swivel
❷ (Tilt)Feedthrough-to-controller cable
❷ モーターケーブル(電流導入端子大気側からモーター ❸ 自動精密Electrical feedthrough (Hermetically sealed) ステージ
コントローラ) MotorizedStage
❸電流導入端子 X・XY
X・XY
名称 Name 写真 Picture 型式 Model Number 長さ Lenght 備考 Note
HVB-R9-192SC 0.48m(19"inch) Teflonの被覆線とDAP素材のコネクタを組み合わせたもの Z
を使用しています。 Z
Teflon Ribbon cable assembly with female sockets
❶真空対応ケーブル HVB-R9-392SC 0.99m(39"inch) &DAP(glass-filled dyiathilate).
Vacuum Compatible 回転
Cable KAP-R9-192SC 0.48m(19"inch) Kaptonの被覆線とPEEK素材のコネクタを組み合わせた
Rotation
ものを使用しています。
Kapton cable assembly wi th female sockets &
KAP-R9-392SC 0.99m(39"inch) スイベルPEEK(polyetheretherketone). (ゴニオ)
Swivel
(Tilt)
❷大気用ケーブル C9DAKM-030 3m (118"inch)
D-SubタイプコネクタとモーターコントローラKOSMOSシ
リーズを接続するケーブルです。 アライ
Motor Cable Motor cable for connecting between D-Sub type connector メント
C9DAKM-050 5m (196"inch) ステージand motor controller KOSMOS series. XYθ
真空
D-Subタイプコネクタを採用しています。導入端子は、真空側・大気側ともオスにな ステージ
❸電流導入端子 っています。フランジ規格はICF70です。
Vacuum
Stage
9D-275 Flange mounted electrical feedthroughs are fitted with D-Sub male interface on
Feedthrough 制御装置
both vacuum and air sides. Note that pins are straight-through design, so Control
typical pin assignment will be mirrored. Electron-
ics
なおご要望に応じてステージのコネクタも以下のように変更できます。 In addition to the above mentioned connectivity accessories, モーター
1. ケーブル直出し(ケーブル長最長2m)(配線色は、結線例を参照) Kohzu can also provide vacuum compatible flying-lead cables(up to コントローラMotor
2.ターミナル(結線をターミナルに取付) 2m in length) and various wiring-block terminals. Controller
詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。 Contact us for more information. ドライバ
ボックス
Driver
結線例 D-Sub Box
Stage wiring アオ Blue
アプリ
1 ケーション
キ Yellow ※
真空5相ステッピングモーター 2 Applica-
アカ Red tion
Vacuum compatible 3クロ Black
5-phase stepper moter 4 モーターミドリ Green ドライバ
5 Motor
Driver
センサー部 Sensor
アカ Red モーター
6 CWL.S
シロ White ケーブル
7 CCWL.S Motor
クロ Black COM Cable8
カプトン Kapton 付録
ミドリ Green
9 Appendix
旧タイプはオレンジ色です。
※ previous type color is orange.
アクセ
サリー
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-005
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システム
製品 真空自動Xステージ / テーブルサイズ 50×50
System
Products
産業用 Vacuum Motorized X Linear Stages / Table size 50×50
Industrial
実験用
Experi-
mental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z
MVXA05A-R101 MVXA05A-L2
回転
Rotation
MVXA05A-R101
スイベル (161.5)
(ゴニオ) (111.5) 50
Swivel 40
(Tilt) 30
自動精密 13
ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z
φ4 Depth 4mm 4.5
4-M2 Depth 5mm 4-M3 Depth 8mm 30
回転 M4 Depth 5mm 4-M3 Depth 5mm
Rotation
スイベル
(ゴニオ)
Swivel CW Limit Switch CCW Limit Switch
(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空
ステージ □30
Vacuum 4-for M3 screws
Stage
制御装置 MVXA05A-L2
Control
Electron- M4 Depth 6mm
ics
8-M3 Depth 6mm
モーター 42 (216.5)
コントローラ
21 (75.5) 85.5 55.5
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Applica-
tion
モーター 30
ドライバ
Motor 40
Driver 50
モーター CCW・Limit Switchケーブル CW・Limit Switch
Motor
Cable
付録
Appendix
アクセ
サリー 4-for M3 screws □40 35.5
Accesso- CCW CW
ries
検査
システム
Inspection
System
M-006 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
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(11) (11)
3.5 13
20 30
(16) 40
(18) 50
(68)
1 1
15
(16) 4
6 30
40 40
(19) 50
(69)
Page7
システム
製品
System
Products
産業用
Industrial
仕様 Specifications
型式 実験用MVXA05A-R101 MVXA05A-L2
Model Number Experi-mental
テーブル面 50mm×50mm 50mm×50mm
Table Size 手動精密ステージ
Manual
案内方式 精密クロスローラガイド 精密リニアガイド Stage
Guide Mechanism Cross-Roller Guide Linear Guide X・XY
X・XY
移動範囲 ±7.5mm ±25mm
Motion Range
Z
送り方式 研削ネジ, リード 0.5mm ボールネジ, リード1.0mm Z
Lead Mechanism Ground Screw, Lead 0.5mm Ball Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ 回転1μm/0.5μm 2μm/1μm
Full/Half Step Rotation
分解能 ※1
Resolution
マイクロステップ(1/20分割) 0.05μm 0.1μm
Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ)
Swivel
最高速度 (Tilt)2.5mm/sec 5mm/sec
Maximum Speed 自動精密
ステージ
累積リード誤差 Motorized≦6μm/15mm ≦15μm/50mm
Accumulated Lead Error Stage
X・XY
繰返し位置決め精度 X・XY≦±0.5μm
Repeatability
ロストモーション Z≦1μm
Lost Motion Z
水平 ≦1μm/15mm ≦3μm/50mm
Horizontal 回転
真直度 Rotation
Straightness
垂直 ≦1μm/15mm ≦3μm/50mm
Vertical スイベル
(ゴニオ)
バックラッシュ Swivel≦1μm
Backlash (Tilt)
アライ
モーメント荷重 メント※2 0.31 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness ステージ
XYθ
水平耐荷重 真空49N( 5kgf)
Load Capacity (Horizontal) ステージ
Vacuum
Stage
材質 アルミ合金
Material Aluminum alloy 制御装置
Control
Electron-
自重 ics0.57kg 1kg
Weight モーター
コントローラ
モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° Motor
Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Controller
ドライバ
コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ボックス
Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) Driver
Box
結線はM-005ページ参照 アプリ
Refer to page M-005 about wiring diagram ケーション
Applica-
tion
注意 Attention モーター
ドライバ
精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 Motor
ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Driver
Stages are inspected in air and are not suitable for baking.
Please contact Sales for information on bakable stages. モーターケーブル
仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Motor
Specifications may be changed without prior notice. Cable
付録
※1 ステージの検査はハーフステップで行っております。 Appendix
Stage is inspected by half step setting.
※2 Xステージ単体のモーメント荷重はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. アクセ
サリー
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-007
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システム
製品 真空自動Xステージ / テーブルサイズ 70×70
System
Products
産業用 Vacuum Motorized X Linear Stages / Table size 70×70
Industrial
実験用
Experi-
mental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z MVXA07A-R1 MVXA07A-L2
回転
Rotation
MVXA07A-R1
スイベル
(ゴニオ) (183)
Swivel (72.5) 40.5 70
(Tilt)
60
自動精密 42 40
ステージ 21 30
Motorized
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z
回転 M4 Depth 4mm
Rotation
4-M4 Depth 5mm
8-M3 Depth 5mm
スイベル
(ゴニオ) CW・Limit Switch CCW・Limit Switch
Swivel
(Tilt)
アライ
メント
ステージ
XYθ 4-for M4 screws □60
真空 CCW CW
ステージ
Vacuum
Stage
制御装置 MVXA07A-L2
Control
Electron-
ics 8-M3 Depth 5mm
モーター 5-M4 Depth 5mm
コントローラ 42 (256.5)
Motor 21 (75.5) 105.5 75.5
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Applica-
tion
モーター
ドライバ
Motor 30
Driver 40
モーター 60
ケーブル 70
Motor
Cable CCW・Limit Switch CW・Limit Switch
付録
Appendix
アクセ
サリー
Accesso- 4-for M4 screws □60 45.5
ries CCW CW
検査
システム
Inspection
System
M-008 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
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1 1
11 10
2.5 30
21 40
60
12.5 30 (14.4) 70
17 40 (84.4)
40 60
(15.7) 70
(85.7)
Page9
システム
製品
System
Products
産業用
Industrial
仕様 Specifications
型式 実験用MVXA07A-R1 MVXA07A-L2
Model Number Experi-mental
テーブル面 70mm×70mm 70mm×70mm
Table Size 手動精密ステージ
Manual
案内方式 精密クロスローラガイド 精密リニアガイド Stage
Guide Mechanism Cross-Roller Guide Linear Guide X・XY
X・XY
移動範囲 ±10mm ±35mm
Motion Range
Z
送り方式 研削ネジ, リード0.5mm ボールネジ, リード 1.0mm Z
Lead Mechanism Ground Screw, Lead 0.5mm Ball Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ 回転1μm/0.5μm 2μm/1μm
Full/Half Step Rotation
分解能 ※1
Resolution
マイクロステップ(1/20分割) 0.05μm 0.1μm
Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ)
Swivel
最高速度 (Tilt)2.5mm/sec 5mm/sec
Maximum Speed 自動精密
ステージ
累積リード誤差 Motorized≦10μm/20mm ≦15μm/70mm
Accumulated Lead Error Stage
X・XY
繰返し位置決め精度 X・XY≦±0.5μm
Repeatability
ロストモーション Z≦1μm
Lost Motion Z
水平 ≦1μm/20mm ≦3μm/70mm
Horizontal 回転
真直度 Rotation
Straightness
垂直 ≦1μm/20mm ≦3μm/70mm
Vertical スイベル
(ゴニオ)
バックラッシュ Swivel≦1μm
Backlash (Tilt)
アライ
モーメント荷重 メント※2 0.10 arcsec/N・cm 0.31 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness ステージ
XYθ
水平耐荷重 真空98N( 10kgf) 68.6N( 7kgf)
Load Capacity (Horizontal) ステージ
Vacuum
Stage
材質 アルミ合金
Material Aluminum alloy 制御装置
Control
Electron-
自重 ics0.75kg 1.3kg
Weight モーター
コントローラ
モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° Motor
Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Controller
ドライバ
コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ボックス
Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) Driver
Box
結線はM-005ページ参照 アプリ
Refer to page M-005 about wiring diagram ケーション
Applica-
tion
注意 Attention モーター
ドライバ
精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 Motor
ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Driver
Stages are inspected in air and are not suitable for baking.
Please contact Sales for information on bakable stages. モーターケーブル
仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Motor
Specifications may be changed without prior notice. Cable
付録
※1 ステージの検査はハーフステップで行っております。 Appendix
Stage is inspected by half step setting.
※2 Xステージ単体のモーメント荷重はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. アクセ
サリー
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-009
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Page10
システム
製品 真空自動Xステージ / テーブルサイズ 100×100, 160×124
System
Products
産業用 Vacuum Motorized X Linear Stages / Table size 100×100, 160×124
Industrial
実験用
Experi-
mental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z
MVXA10A-R1 MVXA10A-L2 MVXA16A-R1
回転
Rotation
MVXA10A-R1
(227)
スイベル (63) 64 100
(ゴニオ) 9042 60
Swivel 21 40
(Tilt)
自動精密
ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY
4-M3 Depth 8mm 9-M4 Depth 8mm
Z CW・Limit Switch CCW・Limit Switch
Z
回転 □90
Rotation 4-for M4 screws
CCW CW
MVXA10A-L2
スイベル M4 Depth 13mm
(ゴニオ) 4-M3 Depth 8mm 8-M4 Depth 8mm
Swivel 60 (346.8)
(Tilt) 30 (76.5) 135 130
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空
ステージ
Vacuum
Stage 40
60
制御装置 90100
Control
Electron- CCW・Limit Switch CW・Limit Switch
ics
モーター
コントローラ
Motor 8-for M4 screws 50 90 50 35
Controller CCW CW
ドライバ
ボックス MVXA16A-R1
Driver (316.3)
Box (100.3) 56 160
110
アプリ 90
ケーション 6060 40
Applica- 30 30
tion
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
8-M3 Depth 8mm 4-M5 Depth 8mm
付録
M5 Depth 8.5mm 8-M4 Depth 8mmAppendix
CCW・Limit Switch CW・Limit Switch
アクセ
サリー
Accesso-
ries
4-for M5 screws □110
検査 CCW CW
システム
Inspection
System
M-010 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
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15 10
7 3 6 6
7 40
30 60
90
(16)
7.5 10030
35 (116)40
60
90
110 17.5 40
(16) 124 60
( ) 50140 90
(20) 100
(120)
Page11
システム
製品
System
Products
産業用
Industrial
仕様 Specifications
型式 実験用MVXA10A-R1 MVXA10A-L2 MVXA16A-R1
Model Number Experi-mental
テーブル面 100mm×100mm 100mm×100mm 160mm×124mm
Table Size 手動精密ステージ
Manual
案内方式 精密クロスローラガイド 精密リニアガイド 精密クロスローラガイド Stage
Guide Mechanism Cross-Roller Guide Linear Guide Cross-Roller Guide X・XY
X・XY
移動範囲 ±12.5mm ±50mm ±25mm
Motion Range
Z
送り方式 研削ネジ, リード0.5mm ボールネジ, リード2.0mm 研削ネジ, リード1.0mm Z
Lead Mechanism Ground Screw, Lead 0.5mm Ball Screw, Lead 2.0mm Ground Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ 回転1μm/0.5μm 4μm/2μm 2μm/1μm
Full/Half Step Rotation
分解能 ※1
Resolution
マイクロステップ(1/20分割) 0.05μm 0.2μm 0.1μm
Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ)
Swivel
最高速度 (Tilt)2.5mm/sec 10mm/sec 5mm/sec
Maximum Speed 自動精密
ステージ
累積リード誤差 Motorized≦8μm/25mm ≦15μm/100mm ≦10μm/50mm
Accumulated Lead Error Stage
X・XY
繰返し位置決め精度 X・XY≦±0.5μm
Repeatability
ロストモーション Z≦1μm ≦2μm
Lost Motion Z
水平 ≦1μm/25mm ≦3μm/100mm ≦2μm/50mm
Horizontal 回転
真直度 Rotation
Straightness
垂直 ≦1μm/25mm ≦3μm/100mm ≦2μm/50mm
Vertical スイベル
(ゴニオ)
バックラッシュ Swivel≦0.5μm ≦2μm ≦1μm
Backlash (Tilt)
アライ
モーメント荷重 メント※2 0.02 arcsec/N・cm 0.05 arcsec/N・cm 0.03 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness ステージ
XYθ
水平耐荷重 真空196N( 20kgf) 294N( 30kgf)
Load Capacity (Horizontal) ステージ
Vacuum
Stage
材質 アルミ合金
Material Aluminum alloy 制御装置
Control
Electron-
自重 ics1.8kg 3.5kg 3.6kg
Weight モーター
コントローラ
モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° Motor
Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Controller
ドライバ
コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ボックス
Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) Driver
Box
結線はM-005ページ参照 アプリ
Refer to page M-005 about wiring diagram ケーション
Applica-
tion
注意 Attention モーター
ドライバ
精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 Motor
ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Driver
Stages are inspected in air and are not suitable for baking.
Please contact Sales for information on bakable stages. モーター
ケーブル
仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Motor
Specifications may be changed without prior notice. Cable
付録
※1 ステージの検査はハーフステップで行っております。 Appendix
Stage is inspected by half step setting.
※2 Xステージ単体のモーメント荷重はロール剛性となります。
Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. アクセ
サリー
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-011
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Page12
システム
製品 真空自動Zステージ / テーブルサイズ 70×70、100×100
System
Products
産業用 Vacuum Motorized Vertical Linear Stages / Table size 70×70, 100×100
Industrial
実験用
Experi-
mental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z
MVZA07A-X1 MVZA10A-W2 MVZA07A-W2C01
回転
Rotation
MVZA07A-X1 MVZA10A-W2
スイベル
(ゴニオ) (214)
Swivel (63) 51 100
(Tilt) 90 4-M3 Depth 8mm
自動精密 60
ステージ 34.5 40 8-M4 Depth 8mm
Motorized
Stage 70
X・XY 6040
X・XY 30
Z
Z
CW・Limit Switch CW・Limit Switch
CCW・Limit Switch CCW・Limit Switch
M4 Depth 4mm
回転 CW
Rotation 8-M3 Depth 5mm CCW
4-M4 Depth 5mm CCWCW
スイベル 4-for M4 screws
□90
(ゴニオ)
Swivel 60 60
(Tilt) 70 10 (14.4) 70 4-for M4 screws
アライ (80) (84.4)
メント
ステージ
XYθ
真空
ステージ
Vacuum
Stage MVZA07A-W2C01
制御装置
Control
Electron- (189)
ics 70 (119)
モーター 60
コントローラ CCW Limit switch 40 CW Limit switch 30
Motor 30 Depth 4mm 4.5 φ4 Depth 4mm
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box
アプリ
ケーション
Applica-
tion
モーター
ドライバ 4-M4 Depth 8mm 8-M3 Depth 6mm
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix
□60 4-for M4 screws
アクセ
サリー 低頭ネジ(付属品)での取り付けとなります。
Accesso-
ries Mounting by low head screw (attachment)
検査
システム
Inspection
System
M-012 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
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(86)
70 (16)
60
40±2.5 40
1 30
11
70±10
105 40.5 (72.5)
(2.5)
7 30
40
60
70
(0.5) (42) (218)
(42.5)
90
(13.5)
4
6.5 40
10 60
80±7 90
4 100
15 (104)
Page13
システム
製品
System
Products
産業用
Industrial
仕様 Specifications
型式 実験用MVZA07A-X1 MVZA07A-W2C01 MVZA10A-W2
Model Number Experi-mental
テーブル面 70mm×70mm 70mm×70mm 100mm×100mm
Table Size 手動精密ステージ
Manual
案内方式 精密クロスローラガイド Stage
Guide Mechanism Cross-Roller Guide X・XY
X・XY
移動範囲 ±10mm ±2.5mm ±7mm
Motion Range
Z
送り方式 研削ネジ, リード 0.5mm クサビ1/4 ボールネジ, リード1.0mm クサビ1/2 ボールネジ, リード1.0mm Z
Lead Mechanism Ground Screw, Lead 0.5mm 1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm 1/2-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm
フル/ハーフ ステップ 回転1.0μm/0.5μm 0.5μm/0.25μm 1.0μm/0.5μm
Full/Half Step Rotation
分解能 ※
Resolution
マイクロステップ(1/20分割) 0.05μm 0.025μm 0.05μm
Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ)
Swivel
最高速度 (Tilt)2.5mm/sec 1.25mm/sec 2.5mm/sec
Maximum Speed 自動精密
ステージ
繰返し位置決め精度 Motorized≦±0.5μm
Repeatability Stage
X・XY
ロストモーション X・XY≦1.5μm ≦0.5μm ≦1μm
Lost Motion
垂直度 Z≦7μm/20mm ≦8μm/5mm ≦5μm/14mm
Vertically Z
水平耐荷重 49N( 5kgf) 98N( 10kgf)
Load Capacity (Horizontal) 回転
Rotation
材質 アルミ合金
Material Aluminum alloy スイベル
(ゴニオ)
自重 Swivel1.4kg 1.3kg 3.1kg
Weight (Tilt)
アライ
モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° メント
Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° ステージ
XYθ
コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) 真空
Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ステージ
Vacuum
Stage
結線はM-005ページ参照 制御装置
Refer to page M-005 about wiring diagram Control
Electron-
ics
注意 Attention
モーター
精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 コントローラ
ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Motor
Stages are inspected in air and are not suitable for baking. Controller
Please contact Sales for information on bakable stages. ドライバ
仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 ボックス
Specifications may be changed without prior notice. Driver
Box
ステージの検査はハーフステップで行っております。 アプリ※
Stage is inspected by half step setting. ケーション
Applica-
tion
モーター
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix
アクセ
サリー
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-013
M_cc2015.indd 13 2019/03/01 12:41
Page14
システム
製品 真空自動回転ステージ / テーブルサイズ Φ49, Φ68
System
Products
産業用 Vacuum Motorized Rotation Stages / Table size Φ49, Φ68
Industrial
実験用
Experi-
mental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z MVRA05A-W01 MVRA07A-W
回転
Rotation
MVRA05A-W01
CCW CW
スイベル
(ゴニオ)
Swivel 3-for M3 Screws CW・Limit Switch
(Tilt)
4 CCW・Limit Switch
自動精密 0 05 φ3.5
ステージ 40
Motorized
Stage
X・XY
X・XY (R31)
Z
Z
36 (106.5)
(142.5)
回転
Rotation
Table matrix 4-M3 Depth 6mm
スイベル 4-M2 Depth 6mm
(ゴニオ) Φ6 Depth 4mm
Swivel
(Tilt)
Φ49
アライ
メント
ステージ
XYθ
真空 13
ステージ
30
Vacuum
Stage
制御装置 MVRA07A-W
Control
Electron-
ics CCW CW
モーター CW・Limit Switch CCW・Limit Switch
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ
ボックス
Driver
Box (R44)
アプリ
ケーション
Applica-
tion
モーター 35
ドライバ 8 70 (94.5)
Motor (172.5)
Driver
モーター 4-M3 Depth 4mm
ケーブル Φ68 Table matrix 4-M3 Depth 6mm
Motor Φ6 Depth 3mm
Cable
付録
Appendix
アクセ 4-for M4 Screws □60
サリー 30
Accesso- 40
ries
検査
システム
Inspection
System
M-014 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
M_cc2015.indd 14 2019/03/01 12:41
40 (88.9)
9.9
48 (104.8)
23 (20.8) 70 (14)
4
0.5 1.5
4
2
42
(30.8)
(55.8)
40 30
13
30
Page15
システム
製品
System
Products
産業用
Industrial
仕様 Specifications
型式 実験用MVRA05A-W01 MVRA07A-W
Model Number Experi-mental
テーブル面 Φ49mm Φ68mm
Table Size 手動精密ステージ
Manual
案内方式 アンギュラベアリング Stage
Guide Mechanism Angular Bearing X・XY
X・XY
回転範囲 +174°,-84° ±135°
Angular Range
Z
送り方式 ウォーム&ウォームホイール Z
Lead Mechanism Worm & Worm Wheel
フル/ハーフ ステップ 回転0.008°/0.004°
Full/Half Step Rotation
分解能 ※
Resolution
マイクロステップ(1/20分割) 0.0004°
Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ)
Swivel
最高速度 (Tilt)20°/sec
Maximum Speed 自動精密
ステージ
累積誤差 Motorized≦0.02°/360° ≦0.015°/360°
Accumulated Lead Error Stage
X・XY
ロストモーション X・XY≦0.009° ≦0.006°
Lost Motion
角度再現性 Z≦0.01°
Angular Repeatability Z
ピッチ誤差 ≦0.015°/4° ≦0.01°/4°
Pitch Error 回転
Rotation
バックラッシュ ≦0.005°
Backlash スイベル
(ゴニオ)
面振れ Swivel≦20μm/360°
Surface Runout (Tilt)
アライ
偏心 メント≦10μm/360°
Eccentricity ステージ
XYθ
モーメント荷重 真空1.12 arcsec/N・cm 0.71 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness ステージ
Vacuum
Stage
水平耐荷重 39.2N( 4kgf) 58.8N( 6kgf)
Load Capacity (Horizontal) 制御装置
Control
Electron-
材質 アルミ合金 ics
Material Aluminum alloy モーター
コントローラ
自重 Motor0.9kg 1.1kg
Weight Controller
ドライバ
モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° ボックス
Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Driver
Box
コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) アプリ
Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ケーション
Applica-
tion
結線はM-005ページ参照 モーター
Refer to page M-005 about wiring diagram ドライバ
Motor
注意 DriverAttention
モーター
精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 ケーブル
ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Motor
Stages are inspected in air and are not suitable for baking. Cable
Please contact Sales for information on bakable stages. 付録
仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Appendix
Specifications may be changed without prior notice.
※ ステージの検査はハーフステップで行っております。
アクセ
Stage is inspected by half step setting. サリー
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-015
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Page16
システム
製品 真空自動回転ステージ / テーブルサイズ Φ98,Φ158
System
Products
産業用 Vacuum Motorized Rotation Stages / Table size Φ98, Φ158
Industrial
実験用
Experi-
mental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z
MVRA10A-W MVRA16A-WH
回転
Rotation
MVRA10A-W
スイベル CCW CW
(ゴニオ) 10 4-for M4 screws
Swivel
(Tilt) CW・Limit Switch
00自動精密 1 0 CCW・Limit Switch9
ステージ
Motorized
Stage
)
X・XY (R55
X・XY
Z
Z (11.7) 59 (137.5)
(208.2)
4-M4 Depth 6mm
回転 Table matrix 4-M3 Depth 6mm
Rotation Φ98
Φ14 H7 Thru
スイベル
(ゴニオ)
Swivel
(Tilt)
アライ 40
メント 60
ステージ
XYθ
真空
ステージ MVRA16A-WH
Vacuum
Stage
2-for M5 screws
制御装置 Shaft length 7mm
Control
Electron- (246)
ics
モーター
コントローラ
Motor
Controller
ドライバ CW
ボックス CCW Limit Switch
Driver
Box CW Limit Switch
CCW
アプリ
ケーション
Applica- 4-M6 Depth 10mm
tion
モーター 80 35 6
ドライバ 140 2-for M5 screws 8-M4 Depth 10mmShaft length 8.5mm
Motor (14.9) 160
Driver
モーター φ55 Thru
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix 80 4-M6 Depth 10mm
アクセ
サリー Table matrix 60
Accesso- 90
ries
検査
システム
Inspection
System
M-016 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
M_cc2015.indd 16 2019/03/01 12:41
60 (150.2)
26 (7) 72.5 (70.7)
11
7
5 13
6 35 80
60 140
175 (19.1)
(194.1)
60
40
90 φ158
60
80
Page17
システム
製品
System
Products
産業用
Industrial
仕様 Specifications
型式 実験用MVRA10A-W MVRA16A-WH
Model Number Experi-mental
テーブル面 Φ98mm Φ158mm
Table Size 手動精密ステージ
Manual
案内方式 アンギュラベアリング Stage
Guide Mechanism Angular Bearing X・XY
X・XY
回転範囲 ±140° ±170°
Angular Range
Z
送り方式 ウォーム&ウォームホイール Z
Lead Mechanism Worm & Worm Wheel
フル/ハーフ ステップ 回転0.004°/0.002°
Full/Half Step Rotation
分解能 ※
Resolution
マイクロステップ(1/20分割) 0.0002°
Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ)
Swivel
最高速度 (Tilt)10°/sec
Maximum Speed 自動精密
ステージ
累積誤差 Motorized≦0.01°/360°
Accumulated Lead Error Stage
X・XY
ロストモーション X・XY≦0.005° ≦0.008°
Lost Motion
角度再現性 Z≦0.01° ≦0.004°
Angular Repeatability Z
ピッチ誤差 ≦0.01°/2° ≦0.004°/2°
Pitch Error 回転
Rotation
バックラッシュ ≦0.006° ≦0.004°
Backlash スイベル
(ゴニオ)
面振れ Swivel≦20μm/360°
Surface Runout (Tilt)
アライ
偏心 メント≦10μm/360°
Eccentricity ステージ
XYθ
モーメント荷重 真空0.10 arcsec/N・cm 0.03 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness ステージ
Vacuum
Stage
水平耐荷重 98N( 10kgf) 588N (60kgf)
Load Capacity (Horizontal) 制御装置
Control
Electron-
材質 アルミ合金 ics
Material Aluminum alloy モーター
コントローラ
自重 Motor2.9kg 5.4kg
Weight Controller
ドライバ
モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° ボックス
Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Driver
Box
コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) アプリ
Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ケーション
Applica-
tion
結線はM-005ページ参照 モーター
Refer to page M-005 about wiring diagram ドライバ
Motor
注意 DriverAttention
モーター
精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 ケーブル
ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Motor
Stages are inspected in air and are not suitable for baking. Cable
Please contact Sales for information on bakable stages. 付録
仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Appendix
Specifications may be changed without prior notice.
※ ステージの検査はハーフステップで行っております。
アクセ
Stage is inspected by half step setting. サリー
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-017
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システム
製品 真空自動スイベル(ゴニオ)ステージ / テーブルサイズ 50×50
System
Products
産業用 Vacuum Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table size 50×50
Industrial
実験用
Experi-
mental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z
MVSA05B-RT
回転
Rotation
スイベル
(ゴニオ) CW・Limit Switch CCW・Limit Switch
Swivel
(Tilt)
自動精密
ステージ
Motorized
Stage
X・XY
X・XY
Φ4 Depth 5mm
4-M3 Depth 4mm 4-M3 Depth 3.5mm
Z
Z
回転
Rotation
スイベル
(ゴニオ)
30
Swivel
(Tilt) 40
(10.5) (90.5)
アライ 50 42
メント (151)
ステージ
XYθ
真空
ステージ Rotation Center Rotation Center
Vacuum
Stage CW CCW CW CCW
制御装置
Control
Electron-
ics
モーター
コントローラ 4-for M3 screws □40
Motor
Controller MVSA05B-RT 4-for M3 screws
□40
ドライバ
ボックス MVSA05B-RM
Driver
Box
アプリ
ケーション
Applica- Rotation Center
tion
モーター
ドライバ
Motor CW CCW
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix 4-for M3 screws □40
MVSA05B-RB
アクセ
サリー
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
M-018 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
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(69.5)
18 86 18 50 (0.5) 50 (19)
8 7 40
3 3 30
14 10
13 11
18 68
8
3
13 11
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システム
製品
System
Products
産業用
Industrial
仕様 Specifications
型式 実験用MVSA05B-RT MVSA05B-RM MVSA05B-RB Experi-
Model Number mental
テーブル面 50mm×50mm 手動精密
Table Size ステージ
Manual
案内方式 精密クロスローラガイド Stage
Guide Mechanism Cross-Roller Guide X・XY
X・XY
回転範囲 ±10° ±8°
Angular Range
Z
送り方式 ウォーム&ウォームホイール Z
Lead Mechanism Worm & Worm Wheel
フル/ハーフ ステップ 回転0.00312°/0.00156° 0.0024°/0.0012° 0.00192°/0.00096°
Full/Half Step Rotation
分解能 ※1
Resolution
マイクロステップ(1/20分割) 0.000156° 0.00012° 0.000096° スイベル
Micro Step (1/20 div) (ゴニオ)
Swivel
最高速度 (Tilt)7.75°/sec 6°/sec 4.8°/sec
Maximum Speed 自動精密
ステージ
ワークディスタンス Motorized50mm±0.2mm 68mm±0.2mm 86mm±0.2mm
Work Distance Stage
X・XY
回転中心変位量 X・XY≦Φ0.05mm/±10° ≦Φ0.05mm/±8°
Rotation Center Error
ロストモーション Z≦0.006°
Lost Motion Z
バックラッシュ ≦0.003° 回転
Backlash Rotation
モーメント荷重 ※2 0.31 arcsec/N・cm
Moment Load Stiffness スイベル
(ゴニオ)
水平耐荷重 Swivel29.4N( 3kgf)
Load Capacity (Horizontal) (Tilt)
アライ
材質 リン青銅 メント
Material Phosphor bronze ステージ
XYθ
自重 真空0.75kg
Weight ステージ
Vacuum
Stage
モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° 制御装置
Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Control
Electron-
コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ics
Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) モーター
コントローラ
結線はM-005ページ参照 Motor
Controller
Refer to page M-005 about wiring diagram
ドライバ
ボックス
注意 Attention Driver
Box
精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。
ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 アプリ
Stages are inspected in air and are not suitable for baking. ケーション
Please contact Sales for information on bakable stages. Applica-
tion
仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。
Specifications may be changed without prior notice. モーター
ドライバ
Motor
※1 ステージの検査はハーフステップで行っております。
Driver
Stage is inspected by half step setting. モーター
※2 ステージ単体のモーメント荷重はロール剛性となります。 ケーブル
Moment Stiffness of single stage is measured in Roll Direction. Motor
Cable
付録
Appendix
アクセ
サリー
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-019
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システム
製品 真空自動スイベル(ゴニオ)ステージ / テーブルサイズ 70×70
System
Products
産業用 Vacuum Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table size 70×70
Industrial
実験用
Experi-
mental
手動精密
ステージ
Manual
Stage
X・XY
X・XY
Z
Z
MVSA07A-RT
回転
Rotation
スイベル CCW・Limit Switch CW・Limit Switch
(ゴニオ)
Swivel
(Tilt)
自動精密
ステージ
Motorized Φ5 Depth 5mm
Stage 8-M3 Depth 6mm 4-M4 Depth 5mm
X・XY
X・XY
Z
Z
回転
Rotation 30
40
60
スイベル (16) 70 (101) 42
(ゴニオ) (187)
Swivel
(Tilt)
アライ Rotation Center Rotation Center
メント
ステージ
XYθ CW CCW
CW CCW
真空
ステージ
Vacuum
Stage
制御装置
Control
Electron- 4-for M4 screws □60
ics
モーター MVSA07A-RT 4-for M4 screws □60
コントローラ
Motor
Controller MVSA07A-RM
ドライバ
ボックス
Driver
Box Rotation Center
アプリ
ケーション
Applica-
tion
モーター CW CCW
ドライバ
Motor
Driver
モーター
ケーブル
Motor
Cable
付録
Appendix □60
4-for M4 screws
アクセ
サリー MVSA07A-RB
Accesso-
ries
検査
システム
Inspection
System
M-020 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com
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26 122 26 70 (85.5)
11.85 9 (0.5) 70 (15)
4 4 60
40
30
9.15 6.85
12 4
26 96
12.5
4
8.5 7.5