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真空対応ステージカタログ

製品カタログ

 「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部 材を使用し、高い位置決め精度・高剛性を維持した汎用 位置決めステージです。

「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部材を使用し、高い位置決め精度・高剛性を維持した汎用位置決めステージです。
ステージの本体にはアルミニウム素材、案内部にはステンレス、メネジ、ウォームホイール部にはリン青銅などの金属や、
真空対応の絶縁材・潤滑材などを使用しています。これらの材料の選択や製造工程には、これまで弊社が放射光施設、半導体露光、
宇宙関連の装置開発で培ってきたノウハウが結集されています。また、検査や包装も十分に管理された環境のもとで行われています。

このカタログについて

ドキュメント名 真空対応ステージカタログ
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 神津精機株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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真空対応ステージ Vacuum Compatible Positioning Stage
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システム 製品 真空対応ステージガイダンス System Products 産業用 Understanding Vacuum Compatible Stage Industrial はじめに 実験用 Experi- Introduction mental  「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部 'Kohzu vacuum-compatible stages' are precise and 手動精密 ステージ 材を使用し、高い位置決め精度・高剛性を維持した汎用 durable positioning instruments ideally suited for the Manual Stage 位置決めステージです。ステージの本体にはアルミニウ extreme requirements imposed by high-vacuum X・XY X・XY environments. Our vacuum-compatible stages exhibit ム素材、案内部にはステンレス、メネジ、ウォームホイー performance characteristics comparable to those of Z ル部にはリン青銅などの金属や、真空対応の絶縁材・潤 Kohzu standard motion products. Kohzu vacuum- Z 滑材などを使用しています。これらの材料の選択や製造 compatible stages are manufactured, assembled, 回転 工程には、これまで弊社が放射光施設、半導体露光、宇 inspected and packaged under highly controlled Rotation 宙関連の装置開発で培ってきたノウハウが結集されて conditions. Since proper selection is at the core of スイベル vacuum-compatibility, Kohzu engineers only specify low (ゴニオ) います。また、検査や包装も十分に管理された環境のも Swivel outgas metals, plastics, lubricants and components... (Tilt) とで行われています。 materials are limited to aluminum, stainless steel, and 自動精密 ステージ  ここに記載されているステージ以外でもエンコーダの phosphor bronze. Motorized Stage 取り付けや、超高真空対応製品などのご要望がございま Kohzu's years of developing customized vacuum- X・XY X・XY したら、弊社営業部までお問い合わせ下さい。 compatible solutions for synchrotron radiation research, semiconductor lithography and space Z development applications have yielded a vacuum- Z compatible motion instruments product line of 回転 unsurpassed quality, reliability and performance. Rotation Ultra high vacuum oil-free lubrication as well as high- precision linear and angular encoders can be provided スイベル (ゴニオ) on request. Please feel free to contact us for all your Swivel (Tilt) high and ultrahigh vacuum needs. アライ メント ステージ XYθ 真空 到達圧力、残留ガス、放出ガス速度の計測 ステージ Vacuum Test Results Vacuum Stage 制御装置 テスト用の真空容器にステージを挿入した場合と、ステージ • Ultimate System Pressure Control なし(バックグラウンド)の場合で、到達圧力の時間変化、残 Electron- • Residual Gas Analysis ics 留ガス分析、放出ガス速度の計測結果を示します。 • Outgas Rate モーター コントローラ A small chamber was prepared to conduct these three Motor Controller vacuum tests. Vacuum chamber is first tested empty ドライバ before introducing Kohzu's MVSA07A-RT vacuum- ボックス compatible swivel stage. Driver Box アプリ ■ 計測条件 ■ Test Equipment ケーション Stage:MVSA07A-RT1 Applica- 試験ステージ:MVSA07A-RT tion ■ 計測機器 ■ Chamber Volume:18ℓ モーター テスト用真空容器:(容積:18ℓ) Pump:400ℓ/sec, Turbo Molecular2 ドライバ Pump:250ℓ/min, Scroll3 Motor ■ 真空ポンプ Driver 4ターボ分子ポンプ ■ Gauge:Bayard-Alpert Ion Type モーター (セイコー精機社製、型式:SPT-400 400ℓ/sec) RGA:Quadrupole Mass Spectrometer5ケーブル Motor スクロールポンプ 1.Kohzu 70mm stage, Medium Vacuum Compatible Cable (アネスト岩田社製、型式:ISP-250B 250ℓ/min) 2.Seiko Seiki SPT-400 付録 Appendix ■ 真空ゲージ 3.Anesto Iwata ISP-250B B-A 形電離真空計 4.Anelva MG-2F with MIG-430 Controller (アネルバ社製、ミニチュアゲージMG-2F, コントローラMIG-430) 5.A nelva M100QA-M,2.5mA filament current,1400V induced アクセ voltage at 2nd electron multiplier. サリー 四重極型質量分析計(アネルバ社製、型式:M-100QA-M) Accesso- 計測条件: フィラメント電流2.5mA, ries 2次電子増倍管印加電圧1400V 検査 システム Inspection System M-002 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 2 2019/03/01 12:41
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システム 製品 System Products 産業用 Industrial 1.圧力の時間変化 10 -2 Ultimate System Pressure BackgroundMVSA07A-RT 実験用 10 -3 Experi- mental 10 -4 手動精密 ステージ 10 -5 Manual Stage 10 -6 X・XY 図1 真空到達度(試験ステージありとバックグラウンド) X・XY Fig. 1 Pressure vs. Time 10 -7 0 5 10 15 20 25 Z Time(h) Z 2.四重極型質量分析計を使用した残留ガス測定 Residual Gas Analysis 回転 Rotation 四重極型質量分析計では、気体分子の質量m(amu)(amu Quadrupole mass spectrometer detects mass to charge はatom mass unitの略)を電荷量z(整数)で割ったものを ratio (m/z), where most elements detected are hydrogen, 観測します。 water, carbon and nitrogen compounds. Additionally スイベル (ゴニオ) ステージを真空容器に入れた場合には、水素、水、炭化物、 traceamounts of hydrocarbon and carbonate fluorine are Swivel 窒化物などに加えて、潤滑剤が由来と思われる炭化水素ガス detected and directly attributed to the vacuum grease used (Tilt) to lubricate our stages. The partial pressures of trace 自動精密 や炭化フッ素ガスも観測されます。これらのガスは、常温で ステージcontaminants represent a small contribution to overall Motorized は圧力にほとんど寄与しませんが、温度を上げると蒸発量が system pressure. However, outgassed contaminants will Stage 多くなり影響を与えます。超高真空下での使用には、炭化水 increase as stage temperature rises. If ultra high vacuum X・XY 素ガスや炭化フッ素ガス放出の少ない固体潤滑を採用し、ベ conditions are required, we offer customized oil-free stages X・XY ーキング対応の材質に変更を推奨します。 fitted with materials and lubricants suitable for baking. Kohzu can address all of your vacuum requirements, Z 4.93×10 -9 1.87×10 -8 including those for UHV motion applications. Z 3 10 -9 3 10 -9 7.54×10 -8 2.65×10 -5(Pa) 4.01×10 -7(Pa) 2.5 10 -9 2.5 10 -9 回転 Rotation 2 10 -9 2 10 -9 図2 残留ガス分析結果 1.5 10 -9 1.5 10 -9 スイベル 試験ステージあり(ベーキングなし)とバックグラウンド(ベー (ゴニオ) 1 10 -9 1 10 -9 Swivel キング150℃10時間) (Tilt) 5 10 -10 5 10 -10 Fig. 2 After introducing stage (no baking) and After baking アライメント 0 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 chamber for 10hrs. at 150°C (without stage) ステージ XYθ m/z(amu) m/z(amu) 真空 試験ステージ バックグラウンド ステージ Sample Stage Back Ground (without sample stage) Vacuum Stage 3.放出ガス速度(オリフィス法) 制御装置Control Gas Emission Velocity (Orifice method) Electron-  テストサンプルチャンバーP1と、排気系に至るベースチャンバーP2の間に ics 質量分析計(Qmass) 仕切りを設けます。その仕切りには微細穴があり、P1、P2に圧力差が生じるよ モーター Quadrupole mass spectrometer コントローラ ゲートバルブ うにしています。P1、P2の圧力を測定し、その圧力差を調べることでサンプル Motor Gate valve 電離真空計 Controller Ionization vacuum gauge からのガス放出速度が導き出されます。実際には、真空容器の表面でもガスの ドライバ 放出・吸着が起こるので、まずチャンバーが空の状態でのデータをバックグラウ ボックス ンドとして測定します。そのデータを差し引いた上で、試料からの正味のガス放 DriverBox 出速度を求めます。 アプリ A partition is installed between the test sample chamber P1 and base ケーションApplica- chamber P2 that is connected to the exhaust system. The partition has fine tion テストサンプルチャンバー holes that generate a pressure difference between P1 and P2. By measuring モーター Test sample chamber ドライバthe pressure of P1 and P2 and examining the pressure difference, the gas Motor オリフィス径付仕切り emission velocity from the sample can be obtained. Since emission and Driver Partition with orifice holes adsorption occur also on the surface of the vacuum equipment, first モーター ベースチャンバー ケーブルperform measurements with empty chambers for control data. Calculate the Motor Base chamber net gas emission velocity from the sample by subtracting the control data. Cable 400L ターボ分子ポンプ 電離真空計 付録 400L Turbo-molecular pump Ionization vacuum gauge Appendix Q=C{(P1-P2)-ground}(Pa・m3/sec) (ground: サンプルが入っていない時のチャンバーの差圧) Q: 放出されるガス速度 C: コンダクタンス P: チャンバーが空の時の差圧 アクセサリー (ground: Differential pressure in chamber without sample) Accesso- ries Q: Gas emission velocity C: Conductance P: Differential pressure with empty chambers 検査 システム Inspection System お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-003 M_cc2015.indd 3 2019/03/01 12:41 Current I(mA) Current I(mA) Pressure(Pa)
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システム 製品 真空対応ステージガイダンス System Products 産業用 Understanding Vacuum Compatible Stage Industrial 真空内で使用する際の注意点 実験用 Experi- How to use in vacuum mental 手動精密 容器の排気について ステージ Manual Stage  真空ポンプの選定・取り付けには、真空容器の容積、 • Vacuum Chamber X・XY 内部装置からのガス放出量、排気系のコンダクタンスを Consideration must be given to vacuum vessel X・XY volume, content outgas rate and the system's 考慮して下さい。また包装からステージを取り出した後 pumping conductance. Z は、長時間大気に曝すことは避け、早めに真空下に設置 • Vacuum Handling Z して下さい。 Minimize exposure of vacuum-compatible stages to atmo-spheric conditions. After unpacking, install 回転 Rotation モーターの発熱によるベーキング効果 vacuum-compatible stages into a vacuum chamber as soon as possible. スイベル  真空内では、大気中と異なり対流による熱伝導はほと • Motor Heating (ゴニオ) Swivel んどありません。このため、主にモーターから発生した熱 Heat conductivity and dissipation are significantly (Tilt) により、以下のような現象が起こります。 reduced in a vacuum environment. This will lead to 自動精密 ステージ 1. 潤滑剤の蒸発による真空容器内の劣化(圧力上昇など) over-heating of in-vacuum stepper motors if operated Motorized Stage cont inuously for long per iods of t ime. Motor 2.ベアリング部の焼きつき X・XY overheating will lead to a rise in system pressure X・XY 3. 熱膨張による影響(ステージに熱が逃げるため、大気 caused by the evaporation of motor-bearing lubricants. 中よりも熱膨張の影響を受けやすくなる) Evaporation of motor-bearing lubricants can in turn Z lead to premature bearing failure. Z Furthermore, it might be easy occured for dimensional 2.5 10 -4 回転 instability produced by thermal gradients and different Rotation Rotaing motor(30 sec.) coeffcients of thermal expansion. 2 10 -4 スイベル Pressure  左のグラフは、真空容器の中に真空対応ステージに使用しているモータ (ゴニオ) saturation1.5 10 -4 ーを挿入し、圧力変化を調べた結果で、モーターを励磁するとある時間を過 Swivel (Tilt) Stasrt owthe current ぎた時点で圧力が飽和します。そのあとモーターを回転させると、回転中は アライ 1 10 -4 圧力が急激に上昇しますが、しばらくするとすぐに元の状態に戻ります。 メント ステージ  これを繰り返すことにより、圧力が低くなっていきます。 XYθ 5 10 -5 The left graph shows pressure change over time as an in-vacuum stepper 真空 motor is powered 'On' and 'Off' inside a vacuum chamber. According to ステージ the data collected, after starting a current flow to an in-vacuum motor, Vacuum Stage 0 5 10 15 20 25 system pressure will increase until reaching a saturation point. If the 制御装置 Time(h) motor generates in every 30 seconds, the pressure level is getting higher Control immediately, but after that, the pressure returns to lower level. By Electron- ics 図3 モーターの励磁・回転と圧力上昇 repeating the motor running, the pressure is going down a gradually. Fig. 3 Pressure vs. Time (while cycling motor) モーター コントローラ Motor Controller ドライバ 圧力を低く保つには… ボックス To improve or maintain minimum system pressure... Driver Box アプリ 1.使用する前に慣らし運転して、ガスを放出しておく。 1.Running in-vacuum motors as previously described ケーション 2.停止時の励磁電流を必要最低限に抑える。 2.Maintain lowest possible motor holding currentsApplica- tion モーター ドライバ より高精度を追求するには… Motor To improve or maintain maximum positional accuracy... Driver モーター 1.モ ーターの温度を逃がすような工夫を施す。もしくは、 1. Reduce motor heating by minimizing power 'On' ケーブル Motor モーターとステージの間を断熱する。 cycles and holding current. Or, install thermal Cable 2. リニアエンコーダや回転エンコーダを組み込み、フィー insulation between motor and motion mechanics付録 Appendix 2. Add optional, vacuum-compatible, linear or angular ドバック制御する。 encoders with feedback control. アクセ ステージによっては、断熱材やエンコーダが取り付けら Some stages can not be fitted with insulating spacers サリー Accesso- れないものもあります。詳しくは営業部までお問い合わ or encoders. Please contact us for more information ries 検査 せ下さい。 on stage options and functionality. システム Inspection System M-004 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 4 2019/03/01 12:41 Pressure(Pa)
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真空対応ステージの結線 システム製品 System Products Wiring Connection of Vacuum Compatible Stage 産業用 Industrial 接続構成例 Accessories for connection 実験用Experi- mental ❸電流導入端子 モーターコントローラ ステージコネクタ部 手動精密Feedthrough Motor Controller ステージ Stage Connector Manual ❶真空対応ケーブル ❷モーターケーブル Stage Vacuum compatible cable Motor Cable X・XY X・XY D-Sub / D-Sub D-Sub / モーターコントローラへ Z Female / Female ZFemale / Male 真空側 Vacuum-side 大気側 Air-side 回転 Rotation ステージをコントローラに接続するには、以下のケーブ The components required to connect Kohzu vacuum- ルなどが必要になります。 compatible stages and SC controllers are: スイベル(ゴニオ) ❶真空対応ケーブル(ステージから電流導入端子) ❶Stage-to-feedthrough cable Swivel ❷ (Tilt)Feedthrough-to-controller cable ❷ モーターケーブル(電流導入端子大気側からモーター ❸ 自動精密Electrical feedthrough (Hermetically sealed) ステージ コントローラ) MotorizedStage ❸電流導入端子 X・XY X・XY 名称 Name 写真 Picture 型式 Model Number 長さ Lenght 備考 Note HVB-R9-192SC 0.48m(19"inch) Teflonの被覆線とDAP素材のコネクタを組み合わせたもの Z を使用しています。 Z Teflon Ribbon cable assembly with female sockets ❶真空対応ケーブル HVB-R9-392SC 0.99m(39"inch) &DAP(glass-filled dyiathilate). Vacuum Compatible 回転 Cable KAP-R9-192SC 0.48m(19"inch) Kaptonの被覆線とPEEK素材のコネクタを組み合わせた Rotation ものを使用しています。 Kapton cable assembly wi th female sockets & KAP-R9-392SC 0.99m(39"inch) スイベルPEEK(polyetheretherketone). (ゴニオ) Swivel (Tilt) ❷大気用ケーブル C9DAKM-030 3m (118"inch) D-SubタイプコネクタとモーターコントローラKOSMOSシ リーズを接続するケーブルです。 アライ Motor Cable Motor cable for connecting between D-Sub type connector メント C9DAKM-050 5m (196"inch) ステージand motor controller KOSMOS series. XYθ 真空 D-Subタイプコネクタを採用しています。導入端子は、真空側・大気側ともオスにな ステージ ❸電流導入端子 っています。フランジ規格はICF70です。 Vacuum Stage 9D-275 Flange mounted electrical feedthroughs are fitted with D-Sub male interface on Feedthrough 制御装置 both vacuum and air sides. Note that pins are straight-through design, so Control typical pin assignment will be mirrored. Electron- ics なおご要望に応じてステージのコネクタも以下のように変更できます。 In addition to the above mentioned connectivity accessories, モーター 1. ケーブル直出し(ケーブル長最長2m)(配線色は、結線例を参照) Kohzu can also provide vacuum compatible flying-lead cables(up to コントローラMotor 2.ターミナル(結線をターミナルに取付) 2m in length) and various wiring-block terminals. Controller 詳しくは営業部までお問い合わせ下さい。 Contact us for more information. ドライバ ボックス Driver 結線例 D-Sub Box Stage wiring アオ Blue アプリ 1 ケーション キ Yellow ※ 真空5相ステッピングモーター 2 Applica- アカ Red tion Vacuum compatible 3クロ Black 5-phase stepper moter 4 モーターミドリ Green ドライバ 5 Motor Driver センサー部 Sensor アカ Red モーター 6 CWL.S シロ White ケーブル 7 CCWL.S Motor クロ Black COM Cable8 カプトン Kapton 付録 ミドリ Green 9 Appendix  旧タイプはオレンジ色です。 ※ previous type color is orange. アクセ サリー Accesso- ries 検査 システム Inspection System お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-005 M_cc2015.indd 5 2019/03/01 12:41
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システム 製品 真空自動Xステージ / テーブルサイズ 50×50 System Products 産業用 Vacuum Motorized X Linear Stages / Table size 50×50 Industrial 実験用 Experi- mental 手動精密 ステージ Manual Stage X・XY X・XY Z Z MVXA05A-R101 MVXA05A-L2 回転 Rotation MVXA05A-R101 スイベル (161.5) (ゴニオ) (111.5) 50 Swivel 40 (Tilt) 30 自動精密 13 ステージ Motorized Stage X・XY X・XY Z Z φ4 Depth 4mm 4.5 4-M2 Depth 5mm 4-M3 Depth 8mm 30 回転 M4 Depth 5mm 4-M3 Depth 5mm Rotation スイベル (ゴニオ) Swivel CW Limit Switch CCW Limit Switch (Tilt) アライ メント ステージ XYθ 真空 ステージ □30 Vacuum 4-for M3 screws Stage 制御装置 MVXA05A-L2 Control Electron- M4 Depth 6mm ics 8-M3 Depth 6mm モーター 42 (216.5) コントローラ 21 (75.5) 85.5 55.5 Motor Controller ドライバ ボックス Driver Box アプリ ケーション Applica- tion モーター 30 ドライバ Motor 40 Driver 50 モーター CCW・Limit Switchケーブル CW・Limit Switch Motor Cable 付録 Appendix アクセ サリー 4-for M3 screws □40 35.5 Accesso- CCW CW ries 検査 システム Inspection System M-006 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 6 2019/03/01 12:41 (11) (11) 3.5 13 20 30 (16) 40 (18) 50 (68) 1 1 15 (16) 4 6 30 40 40 (19) 50 (69)
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システム 製品 System Products 産業用 Industrial 仕様 Specifications 型式 実験用MVXA05A-R101 MVXA05A-L2 Model Number Experi-mental テーブル面 50mm×50mm 50mm×50mm Table Size 手動精密ステージ Manual 案内方式 精密クロスローラガイド 精密リニアガイド Stage Guide Mechanism Cross-Roller Guide Linear Guide X・XY X・XY 移動範囲 ±7.5mm ±25mm Motion Range Z 送り方式 研削ネジ, リード 0.5mm ボールネジ, リード1.0mm Z Lead Mechanism Ground Screw, Lead 0.5mm Ball Screw, Lead 1.0mm フル/ハーフ ステップ 回転1μm/0.5μm 2μm/1μm Full/Half Step Rotation 分解能 ※1 Resolution マイクロステップ(1/20分割) 0.05μm 0.1μm Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ) Swivel 最高速度 (Tilt)2.5mm/sec 5mm/sec Maximum Speed 自動精密 ステージ 累積リード誤差 Motorized≦6μm/15mm ≦15μm/50mm Accumulated Lead Error Stage X・XY 繰返し位置決め精度 X・XY≦±0.5μm Repeatability ロストモーション Z≦1μm Lost Motion Z 水平 ≦1μm/15mm ≦3μm/50mm Horizontal 回転 真直度 Rotation Straightness 垂直 ≦1μm/15mm ≦3μm/50mm Vertical スイベル (ゴニオ) バックラッシュ Swivel≦1μm Backlash (Tilt) アライ モーメント荷重 メント※2 0.31 arcsec/N・cm Moment Load Stiffness ステージ XYθ 水平耐荷重 真空49N( 5kgf) Load Capacity (Horizontal) ステージ Vacuum Stage 材質 アルミ合金 Material Aluminum alloy 制御装置 Control Electron- 自重 ics0.57kg 1kg Weight モーター コントローラ モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° Motor Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Controller ドライバ コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ボックス Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) Driver Box 結線はM-005ページ参照 アプリ Refer to page M-005 about wiring diagram ケーション Applica- tion 注意 Attention モーター ドライバ 精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 Motor ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Driver Stages are inspected in air and are not suitable for baking. Please contact Sales for information on bakable stages. モーターケーブル 仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Motor Specifications may be changed without prior notice. Cable 付録 ※1 ステージの検査はハーフステップで行っております。 Appendix Stage is inspected by half step setting. ※2 Xステージ単体のモーメント荷重はロール剛性となります。 Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. アクセ サリー Accesso- ries 検査 システム Inspection System お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-007 M_cc2015.indd 7 2019/03/01 12:41
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システム 製品 真空自動Xステージ / テーブルサイズ 70×70 System Products 産業用 Vacuum Motorized X Linear Stages / Table size 70×70 Industrial 実験用 Experi- mental 手動精密 ステージ Manual Stage X・XY X・XY Z Z MVXA07A-R1 MVXA07A-L2 回転 Rotation MVXA07A-R1 スイベル (ゴニオ) (183) Swivel (72.5) 40.5 70 (Tilt) 60 自動精密 42 40 ステージ 21 30 Motorized Stage X・XY X・XY Z Z 回転 M4 Depth 4mm Rotation 4-M4 Depth 5mm 8-M3 Depth 5mm スイベル (ゴニオ) CW・Limit Switch CCW・Limit Switch Swivel (Tilt) アライ メント ステージ XYθ 4-for M4 screws □60 真空 CCW CW ステージ Vacuum Stage 制御装置 MVXA07A-L2 Control Electron- ics 8-M3 Depth 5mm モーター 5-M4 Depth 5mm コントローラ 42 (256.5) Motor 21 (75.5) 105.5 75.5 Controller ドライバ ボックス Driver Box アプリ ケーション Applica- tion モーター ドライバ Motor 30 Driver 40 モーター 60 ケーブル 70 Motor Cable CCW・Limit Switch CW・Limit Switch 付録 Appendix アクセ サリー Accesso- 4-for M4 screws □60 45.5 ries CCW CW 検査 システム Inspection System M-008 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 8 2019/03/01 12:41 1 1 11 10 2.5 30 21 40 60 12.5 30 (14.4) 70 17 40 (84.4) 40 60 (15.7) 70 (85.7)
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システム 製品 System Products 産業用 Industrial 仕様 Specifications 型式 実験用MVXA07A-R1 MVXA07A-L2 Model Number Experi-mental テーブル面 70mm×70mm 70mm×70mm Table Size 手動精密ステージ Manual 案内方式 精密クロスローラガイド 精密リニアガイド Stage Guide Mechanism Cross-Roller Guide Linear Guide X・XY X・XY 移動範囲 ±10mm ±35mm Motion Range Z 送り方式 研削ネジ, リード0.5mm ボールネジ, リード 1.0mm Z Lead Mechanism Ground Screw, Lead 0.5mm Ball Screw, Lead 1.0mm フル/ハーフ ステップ 回転1μm/0.5μm 2μm/1μm Full/Half Step Rotation 分解能 ※1 Resolution マイクロステップ(1/20分割) 0.05μm 0.1μm Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ) Swivel 最高速度 (Tilt)2.5mm/sec 5mm/sec Maximum Speed 自動精密 ステージ 累積リード誤差 Motorized≦10μm/20mm ≦15μm/70mm Accumulated Lead Error Stage X・XY 繰返し位置決め精度 X・XY≦±0.5μm Repeatability ロストモーション Z≦1μm Lost Motion Z 水平 ≦1μm/20mm ≦3μm/70mm Horizontal 回転 真直度 Rotation Straightness 垂直 ≦1μm/20mm ≦3μm/70mm Vertical スイベル (ゴニオ) バックラッシュ Swivel≦1μm Backlash (Tilt) アライ モーメント荷重 メント※2 0.10 arcsec/N・cm 0.31 arcsec/N・cm Moment Load Stiffness ステージ XYθ 水平耐荷重 真空98N( 10kgf) 68.6N( 7kgf) Load Capacity (Horizontal) ステージ Vacuum Stage 材質 アルミ合金 Material Aluminum alloy 制御装置 Control Electron- 自重 ics0.75kg 1.3kg Weight モーター コントローラ モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° Motor Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Controller ドライバ コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ボックス Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) Driver Box 結線はM-005ページ参照 アプリ Refer to page M-005 about wiring diagram ケーション Applica- tion 注意 Attention モーター ドライバ 精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 Motor ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Driver Stages are inspected in air and are not suitable for baking. Please contact Sales for information on bakable stages. モーターケーブル 仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Motor Specifications may be changed without prior notice. Cable 付録 ※1 ステージの検査はハーフステップで行っております。 Appendix Stage is inspected by half step setting. ※2 Xステージ単体のモーメント荷重はロール剛性となります。 Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. アクセ サリー Accesso- ries 検査 システム Inspection System お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-009 M_cc2015.indd 9 2019/03/01 12:41
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システム 製品 真空自動Xステージ / テーブルサイズ 100×100, 160×124 System Products 産業用 Vacuum Motorized X Linear Stages / Table size 100×100, 160×124 Industrial 実験用 Experi- mental 手動精密 ステージ Manual Stage X・XY X・XY Z Z MVXA10A-R1 MVXA10A-L2 MVXA16A-R1 回転 Rotation MVXA10A-R1 (227) スイベル (63) 64 100 (ゴニオ) 9042 60 Swivel 21 40 (Tilt) 自動精密 ステージ Motorized Stage X・XY X・XY 4-M3 Depth 8mm 9-M4 Depth 8mm Z CW・Limit Switch CCW・Limit Switch Z 回転 □90 Rotation 4-for M4 screws CCW CW MVXA10A-L2 スイベル M4 Depth 13mm (ゴニオ) 4-M3 Depth 8mm 8-M4 Depth 8mm Swivel 60 (346.8) (Tilt) 30 (76.5) 135 130 アライ メント ステージ XYθ 真空 ステージ Vacuum Stage 40 60 制御装置 90100 Control Electron- CCW・Limit Switch CW・Limit Switch ics モーター コントローラ Motor 8-for M4 screws 50 90 50 35 Controller CCW CW ドライバ ボックス MVXA16A-R1 Driver (316.3) Box (100.3) 56 160 110 アプリ 90 ケーション 6060 40 Applica- 30 30 tion モーター ドライバ Motor Driver モーター ケーブル Motor Cable 8-M3 Depth 8mm 4-M5 Depth 8mm 付録 M5 Depth 8.5mm 8-M4 Depth 8mmAppendix CCW・Limit Switch CW・Limit Switch アクセ サリー Accesso- ries 4-for M5 screws □110 検査 CCW CW システム Inspection System M-010 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 10 2019/03/01 12:41 15 10 7 3 6 6 7 40 30 60 90 (16) 7.5 10030 35 (116)40 60 90 110 17.5 40 (16) 124 60 ( ) 50140 90 (20) 100 (120)
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システム 製品 System Products 産業用 Industrial 仕様 Specifications 型式 実験用MVXA10A-R1 MVXA10A-L2 MVXA16A-R1 Model Number Experi-mental テーブル面 100mm×100mm 100mm×100mm 160mm×124mm Table Size 手動精密ステージ Manual 案内方式 精密クロスローラガイド 精密リニアガイド 精密クロスローラガイド Stage Guide Mechanism Cross-Roller Guide Linear Guide Cross-Roller Guide X・XY X・XY 移動範囲 ±12.5mm ±50mm ±25mm Motion Range Z 送り方式 研削ネジ, リード0.5mm ボールネジ, リード2.0mm 研削ネジ, リード1.0mm Z Lead Mechanism Ground Screw, Lead 0.5mm Ball Screw, Lead 2.0mm Ground Screw, Lead 1.0mm フル/ハーフ ステップ 回転1μm/0.5μm 4μm/2μm 2μm/1μm Full/Half Step Rotation 分解能 ※1 Resolution マイクロステップ(1/20分割) 0.05μm 0.2μm 0.1μm Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ) Swivel 最高速度 (Tilt)2.5mm/sec 10mm/sec 5mm/sec Maximum Speed 自動精密 ステージ 累積リード誤差 Motorized≦8μm/25mm ≦15μm/100mm ≦10μm/50mm Accumulated Lead Error Stage X・XY 繰返し位置決め精度 X・XY≦±0.5μm Repeatability ロストモーション Z≦1μm ≦2μm Lost Motion Z 水平 ≦1μm/25mm ≦3μm/100mm ≦2μm/50mm Horizontal 回転 真直度 Rotation Straightness 垂直 ≦1μm/25mm ≦3μm/100mm ≦2μm/50mm Vertical スイベル (ゴニオ) バックラッシュ Swivel≦0.5μm ≦2μm ≦1μm Backlash (Tilt) アライ モーメント荷重 メント※2 0.02 arcsec/N・cm 0.05 arcsec/N・cm 0.03 arcsec/N・cm Moment Load Stiffness ステージ XYθ 水平耐荷重 真空196N( 20kgf) 294N( 30kgf) Load Capacity (Horizontal) ステージ Vacuum Stage 材質 アルミ合金 Material Aluminum alloy 制御装置 Control Electron- 自重 ics1.8kg 3.5kg 3.6kg Weight モーター コントローラ モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° Motor Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Controller ドライバ コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ボックス Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) Driver Box 結線はM-005ページ参照 アプリ Refer to page M-005 about wiring diagram ケーション Applica- tion 注意 Attention モーター ドライバ 精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 Motor ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Driver Stages are inspected in air and are not suitable for baking. Please contact Sales for information on bakable stages. モーター ケーブル 仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Motor Specifications may be changed without prior notice. Cable 付録 ※1 ステージの検査はハーフステップで行っております。 Appendix Stage is inspected by half step setting. ※2 Xステージ単体のモーメント荷重はロール剛性となります。 Moment Stiffness of single X stage is measured in Roll Direction. アクセ サリー Accesso- ries 検査 システム Inspection System お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-011 M_cc2015.indd 11 2019/03/01 12:41
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システム 製品 真空自動Zステージ / テーブルサイズ 70×70、100×100 System Products 産業用 Vacuum Motorized Vertical Linear Stages / Table size 70×70, 100×100 Industrial 実験用 Experi- mental 手動精密 ステージ Manual Stage X・XY X・XY Z Z MVZA07A-X1 MVZA10A-W2 MVZA07A-W2C01 回転 Rotation MVZA07A-X1 MVZA10A-W2 スイベル (ゴニオ) (214) Swivel (63) 51 100 (Tilt) 90 4-M3 Depth 8mm 自動精密 60 ステージ 34.5 40 8-M4 Depth 8mm Motorized Stage 70 X・XY 6040 X・XY 30 Z Z CW・Limit Switch CW・Limit Switch CCW・Limit Switch CCW・Limit Switch M4 Depth 4mm 回転 CW Rotation 8-M3 Depth 5mm CCW 4-M4 Depth 5mm CCWCW スイベル 4-for M4 screws □90 (ゴニオ) Swivel 60 60 (Tilt) 70 10 (14.4) 70 4-for M4 screws アライ (80) (84.4) メント ステージ XYθ 真空 ステージ Vacuum Stage MVZA07A-W2C01 制御装置 Control Electron- (189) ics 70 (119) モーター 60 コントローラ CCW Limit switch 40 CW Limit switch 30 Motor 30 Depth 4mm 4.5 φ4 Depth 4mm Controller ドライバ ボックス Driver Box アプリ ケーション Applica- tion モーター ドライバ 4-M4 Depth 8mm 8-M3 Depth 6mm Motor Driver モーター ケーブル Motor Cable 付録 Appendix □60 4-for M4 screws アクセ サリー 低頭ネジ(付属品)での取り付けとなります。 Accesso- ries Mounting by low head screw (attachment) 検査 システム Inspection System M-012 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 12 2019/03/01 12:41 (86) 70 (16) 60 40±2.5 40 1 30 11 70±10 105 40.5 (72.5) (2.5) 7 30 40 60 70 (0.5) (42) (218) (42.5) 90 (13.5) 4 6.5 40 10 60 80±7 90 4 100 15 (104)
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システム 製品 System Products 産業用 Industrial 仕様 Specifications 型式 実験用MVZA07A-X1 MVZA07A-W2C01 MVZA10A-W2 Model Number Experi-mental テーブル面 70mm×70mm 70mm×70mm 100mm×100mm Table Size 手動精密ステージ Manual 案内方式 精密クロスローラガイド Stage Guide Mechanism Cross-Roller Guide X・XY X・XY 移動範囲 ±10mm ±2.5mm ±7mm Motion Range Z 送り方式 研削ネジ, リード 0.5mm クサビ1/4 ボールネジ, リード1.0mm クサビ1/2 ボールネジ, リード1.0mm Z Lead Mechanism Ground Screw, Lead 0.5mm 1/4-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm 1/2-Wedge, Ball Screw, Lead 1.0mm フル/ハーフ ステップ 回転1.0μm/0.5μm 0.5μm/0.25μm 1.0μm/0.5μm Full/Half Step Rotation 分解能 ※ Resolution マイクロステップ(1/20分割) 0.05μm 0.025μm 0.05μm Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ) Swivel 最高速度 (Tilt)2.5mm/sec 1.25mm/sec 2.5mm/sec Maximum Speed 自動精密 ステージ 繰返し位置決め精度 Motorized≦±0.5μm Repeatability Stage X・XY ロストモーション X・XY≦1.5μm ≦0.5μm ≦1μm Lost Motion 垂直度 Z≦7μm/20mm ≦8μm/5mm ≦5μm/14mm Vertically Z 水平耐荷重 49N( 5kgf) 98N( 10kgf) Load Capacity (Horizontal) 回転 Rotation 材質 アルミ合金 Material Aluminum alloy スイベル (ゴニオ) 自重 Swivel1.4kg 1.3kg 3.1kg Weight (Tilt) アライ モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° メント Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° ステージ XYθ コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) 真空 Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ステージ Vacuum Stage 結線はM-005ページ参照 制御装置 Refer to page M-005 about wiring diagram Control Electron- ics 注意 Attention モーター 精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 コントローラ ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Motor Stages are inspected in air and are not suitable for baking. Controller Please contact Sales for information on bakable stages. ドライバ 仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 ボックス Specifications may be changed without prior notice. Driver Box  ステージの検査はハーフステップで行っております。 アプリ※ Stage is inspected by half step setting. ケーション Applica- tion モーター ドライバ Motor Driver モーター ケーブル Motor Cable 付録 Appendix アクセ サリー Accesso- ries 検査 システム Inspection System お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-013 M_cc2015.indd 13 2019/03/01 12:41
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システム 製品 真空自動回転ステージ / テーブルサイズ Φ49, Φ68 System Products 産業用 Vacuum Motorized Rotation Stages / Table size Φ49, Φ68 Industrial 実験用 Experi- mental 手動精密 ステージ Manual Stage X・XY X・XY Z Z MVRA05A-W01 MVRA07A-W 回転 Rotation MVRA05A-W01 CCW CW スイベル (ゴニオ) Swivel 3-for M3 Screws CW・Limit Switch (Tilt) 4 CCW・Limit Switch 自動精密 0 05 φ3.5 ステージ 40 Motorized Stage X・XY X・XY (R31) Z Z 36 (106.5) (142.5) 回転 Rotation Table matrix 4-M3 Depth 6mm スイベル 4-M2 Depth 6mm (ゴニオ) Φ6 Depth 4mm Swivel (Tilt) Φ49 アライ メント ステージ XYθ 真空 13 ステージ 30 Vacuum Stage 制御装置 MVRA07A-W Control Electron- ics CCW CW モーター CW・Limit Switch CCW・Limit Switch コントローラ Motor Controller ドライバ ボックス Driver Box (R44) アプリ ケーション Applica- tion モーター 35 ドライバ 8 70 (94.5) Motor (172.5) Driver モーター 4-M3 Depth 4mm ケーブル Φ68 Table matrix 4-M3 Depth 6mm Motor Φ6 Depth 3mm Cable 付録 Appendix アクセ 4-for M4 Screws □60 サリー 30 Accesso- 40 ries 検査 システム Inspection System M-014 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 14 2019/03/01 12:41 40 (88.9) 9.9 48 (104.8) 23 (20.8) 70 (14) 4 0.5 1.5 4 2 42 (30.8) (55.8) 40 30 13 30
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システム 製品 System Products 産業用 Industrial 仕様 Specifications 型式 実験用MVRA05A-W01 MVRA07A-W Model Number Experi-mental テーブル面 Φ49mm Φ68mm Table Size 手動精密ステージ Manual 案内方式 アンギュラベアリング Stage Guide Mechanism Angular Bearing X・XY X・XY 回転範囲 +174°,-84° ±135° Angular Range Z 送り方式 ウォーム&ウォームホイール Z Lead Mechanism Worm & Worm Wheel フル/ハーフ ステップ 回転0.008°/0.004° Full/Half Step Rotation 分解能 ※ Resolution マイクロステップ(1/20分割) 0.0004° Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ) Swivel 最高速度 (Tilt)20°/sec Maximum Speed 自動精密 ステージ 累積誤差 Motorized≦0.02°/360° ≦0.015°/360° Accumulated Lead Error Stage X・XY ロストモーション X・XY≦0.009° ≦0.006° Lost Motion 角度再現性 Z≦0.01° Angular Repeatability Z ピッチ誤差 ≦0.015°/4° ≦0.01°/4° Pitch Error 回転 Rotation バックラッシュ ≦0.005° Backlash スイベル (ゴニオ) 面振れ Swivel≦20μm/360° Surface Runout (Tilt) アライ 偏心 メント≦10μm/360° Eccentricity ステージ XYθ モーメント荷重 真空1.12 arcsec/N・cm 0.71 arcsec/N・cm Moment Load Stiffness ステージ Vacuum Stage 水平耐荷重 39.2N( 4kgf) 58.8N( 6kgf) Load Capacity (Horizontal) 制御装置 Control Electron- 材質 アルミ合金 ics Material Aluminum alloy モーター コントローラ 自重 Motor0.9kg 1.1kg Weight Controller ドライバ モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° ボックス Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Driver Box コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) アプリ Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ケーション Applica- tion 結線はM-005ページ参照 モーター Refer to page M-005 about wiring diagram ドライバ Motor 注意 DriverAttention モーター 精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 ケーブル ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Motor Stages are inspected in air and are not suitable for baking. Cable Please contact Sales for information on bakable stages. 付録 仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Appendix Specifications may be changed without prior notice. ※ ステージの検査はハーフステップで行っております。 アクセ Stage is inspected by half step setting. サリー Accesso- ries 検査 システム Inspection System お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-015 M_cc2015.indd 15 2019/03/01 12:41
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システム 製品 真空自動回転ステージ / テーブルサイズ Φ98,Φ158 System Products 産業用 Vacuum Motorized Rotation Stages / Table size Φ98, Φ158 Industrial 実験用 Experi- mental 手動精密 ステージ Manual Stage X・XY X・XY Z Z MVRA10A-W MVRA16A-WH 回転 Rotation MVRA10A-W スイベル CCW CW (ゴニオ) 10 4-for M4 screws Swivel (Tilt) CW・Limit Switch 00自動精密 1 0 CCW・Limit Switch9 ステージ Motorized Stage ) X・XY (R55 X・XY Z Z (11.7) 59 (137.5) (208.2) 4-M4 Depth 6mm 回転 Table matrix 4-M3 Depth 6mm Rotation Φ98 Φ14 H7 Thru スイベル (ゴニオ) Swivel (Tilt) アライ 40 メント 60 ステージ XYθ 真空 ステージ MVRA16A-WH Vacuum Stage 2-for M5 screws 制御装置 Shaft length 7mm Control Electron- (246) ics モーター コントローラ Motor Controller ドライバ CW ボックス CCW Limit Switch Driver Box CW Limit Switch CCW アプリ ケーション Applica- 4-M6 Depth 10mm tion モーター 80 35 6 ドライバ 140 2-for M5 screws 8-M4 Depth 10mmShaft length 8.5mm Motor (14.9) 160 Driver モーター φ55 Thru ケーブル Motor Cable 付録 Appendix 80 4-M6 Depth 10mm アクセ サリー Table matrix 60 Accesso- 90 ries 検査 システム Inspection System M-016 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 16 2019/03/01 12:41 60 (150.2) 26 (7) 72.5 (70.7) 11 7 5 13 6 35 80 60 140 175 (19.1) (194.1) 60 40 90 φ158 60 80
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システム 製品 System Products 産業用 Industrial 仕様 Specifications 型式 実験用MVRA10A-W MVRA16A-WH Model Number Experi-mental テーブル面 Φ98mm Φ158mm Table Size 手動精密ステージ Manual 案内方式 アンギュラベアリング Stage Guide Mechanism Angular Bearing X・XY X・XY 回転範囲 ±140° ±170° Angular Range Z 送り方式 ウォーム&ウォームホイール Z Lead Mechanism Worm & Worm Wheel フル/ハーフ ステップ 回転0.004°/0.002° Full/Half Step Rotation 分解能 ※ Resolution マイクロステップ(1/20分割) 0.0002° Micro Step (1/20 div) スイベル(ゴニオ) Swivel 最高速度 (Tilt)10°/sec Maximum Speed 自動精密 ステージ 累積誤差 Motorized≦0.01°/360° Accumulated Lead Error Stage X・XY ロストモーション X・XY≦0.005° ≦0.008° Lost Motion 角度再現性 Z≦0.01° ≦0.004° Angular Repeatability Z ピッチ誤差 ≦0.01°/2° ≦0.004°/2° Pitch Error 回転 Rotation バックラッシュ ≦0.006° ≦0.004° Backlash スイベル (ゴニオ) 面振れ Swivel≦20μm/360° Surface Runout (Tilt) アライ 偏心 メント≦10μm/360° Eccentricity ステージ XYθ モーメント荷重 真空0.10 arcsec/N・cm 0.03 arcsec/N・cm Moment Load Stiffness ステージ Vacuum Stage 水平耐荷重 98N( 10kgf) 588N (60kgf) Load Capacity (Horizontal) 制御装置 Control Electron- 材質 アルミ合金 ics Material Aluminum alloy モーター コントローラ 自重 Motor2.9kg 5.4kg Weight Controller ドライバ モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° ボックス Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Driver Box コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) アプリ Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ケーション Applica- tion 結線はM-005ページ参照 モーター Refer to page M-005 about wiring diagram ドライバ Motor 注意 DriverAttention モーター 精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 ケーブル ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 Motor Stages are inspected in air and are not suitable for baking. Cable Please contact Sales for information on bakable stages. 付録 仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Appendix Specifications may be changed without prior notice. ※ ステージの検査はハーフステップで行っております。 アクセ Stage is inspected by half step setting. サリー Accesso- ries 検査 システム Inspection System お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-017 M_cc2015.indd 17 2019/03/01 12:41
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システム 製品 真空自動スイベル(ゴニオ)ステージ / テーブルサイズ 50×50 System Products 産業用 Vacuum Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table size 50×50 Industrial 実験用 Experi- mental 手動精密 ステージ Manual Stage X・XY X・XY Z Z MVSA05B-RT 回転 Rotation スイベル (ゴニオ) CW・Limit Switch CCW・Limit Switch Swivel (Tilt) 自動精密 ステージ Motorized Stage X・XY X・XY Φ4 Depth 5mm 4-M3 Depth 4mm 4-M3 Depth 3.5mm Z Z 回転 Rotation スイベル (ゴニオ) 30 Swivel (Tilt) 40 (10.5) (90.5) アライ 50 42 メント (151) ステージ XYθ 真空 ステージ Rotation Center Rotation Center Vacuum Stage CW CCW CW CCW 制御装置 Control Electron- ics モーター コントローラ 4-for M3 screws □40 Motor Controller MVSA05B-RT 4-for M3 screws □40 ドライバ ボックス MVSA05B-RM Driver Box アプリ ケーション Applica- Rotation Center tion モーター ドライバ Motor CW CCW Driver モーター ケーブル Motor Cable 付録 Appendix 4-for M3 screws □40 MVSA05B-RB アクセ サリー Accesso- ries 検査 システム Inspection System M-018 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 18 2019/03/01 12:41 (69.5) 18 86 18 50 (0.5) 50 (19) 8 7 40 3 3 30 14 10 13 11 18 68 8 3 13 11
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システム 製品 System Products 産業用 Industrial 仕様 Specifications 型式 実験用MVSA05B-RT MVSA05B-RM MVSA05B-RB Experi- Model Number mental テーブル面 50mm×50mm 手動精密 Table Size ステージ Manual 案内方式 精密クロスローラガイド Stage Guide Mechanism Cross-Roller Guide X・XY X・XY 回転範囲 ±10° ±8° Angular Range Z 送り方式 ウォーム&ウォームホイール Z Lead Mechanism Worm & Worm Wheel フル/ハーフ ステップ 回転0.00312°/0.00156° 0.0024°/0.0012° 0.00192°/0.00096° Full/Half Step Rotation 分解能 ※1 Resolution マイクロステップ(1/20分割) 0.000156° 0.00012° 0.000096° スイベル Micro Step (1/20 div) (ゴニオ) Swivel 最高速度 (Tilt)7.75°/sec 6°/sec 4.8°/sec Maximum Speed 自動精密 ステージ ワークディスタンス Motorized50mm±0.2mm 68mm±0.2mm 86mm±0.2mm Work Distance Stage X・XY 回転中心変位量 X・XY≦Φ0.05mm/±10° ≦Φ0.05mm/±8° Rotation Center Error ロストモーション Z≦0.006° Lost Motion Z バックラッシュ ≦0.003° 回転 Backlash Rotation モーメント荷重 ※2 0.31 arcsec/N・cm Moment Load Stiffness スイベル (ゴニオ) 水平耐荷重 Swivel29.4N( 3kgf) Load Capacity (Horizontal) (Tilt) アライ 材質 リン青銅 メント Material Phosphor bronze ステージ XYθ 自重 真空0.75kg Weight ステージ Vacuum Stage モーター 真空用5相ステッピングモーター 定格電流 1.4A/相,基本ステップ角 0.72° 制御装置 Motor Five(5)-phase stepper vacuum motor, Phase Current 1.4A, Basic Step Angle 0.72° Control Electron- コネクタ 真空用 D-sub 9ピン( Accu-Glass Products: 9D-HVCP) ics Connector Vacuum D-Sub 9Pin (Accu-Glass Products: 9D-HVCP) モーター コントローラ 結線はM-005ページ参照 Motor Controller Refer to page M-005 about wiring diagram ドライバ ボックス 注意 Attention Driver Box 精度検査は大気中で行なっています。又、ベーキングには対応しておりません。 ベーキング対応製品は弊社営業部までお問合せ下さい。 アプリ Stages are inspected in air and are not suitable for baking. ケーション Please contact Sales for information on bakable stages. Applica- tion 仕様及び外観は予告なく変更する場合があります。 Specifications may be changed without prior notice. モーター ドライバ Motor ※1 ステージの検査はハーフステップで行っております。 Driver Stage is inspected by half step setting. モーター ※2 ステージ単体のモーメント荷重はロール剛性となります。 ケーブル Moment Stiffness of single stage is measured in Roll Direction. Motor Cable 付録 Appendix アクセ サリー Accesso- ries 検査 システム Inspection System お問い合わせは*TEL:044-981-2131/ FAX:044-981-2181 【 E-mail】sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzu.co.jp M-019 M_cc2015.indd 19 2019/03/01 12:41
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システム 製品 真空自動スイベル(ゴニオ)ステージ / テーブルサイズ 70×70 System Products 産業用 Vacuum Motorized Swivel (Tilt) Stages / Table size 70×70 Industrial 実験用 Experi- mental 手動精密 ステージ Manual Stage X・XY X・XY Z Z MVSA07A-RT 回転 Rotation スイベル CCW・Limit Switch CW・Limit Switch (ゴニオ) Swivel (Tilt) 自動精密 ステージ Motorized Φ5 Depth 5mm Stage 8-M3 Depth 6mm 4-M4 Depth 5mm X・XY X・XY Z Z 回転 Rotation 30 40 60 スイベル (16) 70 (101) 42 (ゴニオ) (187) Swivel (Tilt) アライ Rotation Center Rotation Center メント ステージ XYθ CW CCW CW CCW 真空 ステージ Vacuum Stage 制御装置 Control Electron- 4-for M4 screws □60 ics モーター MVSA07A-RT 4-for M4 screws □60 コントローラ Motor Controller MVSA07A-RM ドライバ ボックス Driver Box Rotation Center アプリ ケーション Applica- tion モーター CW CCW ドライバ Motor Driver モーター ケーブル Motor Cable 付録 Appendix □60 4-for M4 screws アクセ サリー MVSA07A-RB Accesso- ries 検査 システム Inspection System M-020 CONTACT TEL +81-44-981-2131/FAX +81-44-981-2181 【 E-mail】e-sale@kohzu.co.jp 【 URL】www.kohzuprecision.com M_cc2015.indd 20 2019/03/01 12:41 26 122 26 70 (85.5) 11.85 9 (0.5) 70 (15) 4 4 60 40 30 9.15 6.85 12 4 26 96 12.5 4 8.5 7.5