XYθ薄型アライメントステージシリーズ / 高耐久性ボールネジ回転ステージ

Smart Alignment YRA-070 YRA-071 YRA-130 YRA-200

XYθ薄型アライメントステージシリーズ YRA-070 YRA-071 NEW Φ10 Thru Φ20　Thru 4-M3 Depth 5mm 4-M3 Depth 6mm 4-M4 Depth 7mm 4-M4 Depth 6mm 40 40 60 60 (130) (150) シリーズ最小のアライメントステージ 多様なモータ変更要求に対応可能 中小型液晶やウエハの貼り合わせに最適 シリーズ最大の高耐荷重仕様 特 徴 小型デバイスの組立に最適 多 軸組合せ時のベースに最適 多様なモータ変更要求に対応可能 ワーク貼り合わせ時に荷重が掛かる箇所に最適 αStep交換にて脱調レス仕様に 多様なモータ変更要求に対応可能 変更可能 型式 YRA－070 YRA－071 YRA－130 YRA－200 テーブルサイズ 70mm×70mm 70mm×70mm 130mm×130mm 210mm×150mm 移動範囲XY・θ ±3mm・±3° ±5mm・±5° ±5mm・±5° ±5mm・±5° 送り方式（3軸共通） ボールネジ　リード1mm ボールネジ　リード1mm ボールネジ　リード1mm ボールネジ　リード1.0mm 最小分解能XY（Half時） 1μm/step 0.5μm/step 1μm/step 0.5μm/step 最小分解能θ（Half時） 0.00127°/step 0.0006366°/step 0.000674°/step 0.000249°/step 最高速度XY 10mm/sec　（10kpps/half時） 10mm/sec　（20kpps/half時） 10mm/sec　（10kpps/half時） 10mm/sec　（20kpps/half時） 最高速度θ 12.7°/sec　（10kpps/half時） 12.7°/sec　（20kpps/half時） 6.74°/sec　（10kpps/half時） 4.98°/sec　（20kpps/half時） ロストモーションXY ≦ 2μm ≦ 2μm ≦ 2μm ≦ 2μm ロストモーションθ ≦ 0.005° ≦ 0.005° ≦ 0.005° ≦ 0.005° 真直度XY ≦ 1μm/6mm ≦ 1μm/10mm ≦ 1μm/10mm ≦ 3μm/10mm 繰返し位置決め精度 ≦ ±0.5μm ≦ ±0.5μm ≦ ±0.5μm ≦ ±0.5μm 角度再現性 ≦ 0.001° ≦ 0.001° ≦ 0.001° ≦ 0.001° バックラッシュXY ≦ 1μm ≦ 1μm ≦ 1μm ≦ 1μm バックラッシュθ ≦ 0.005° ≦ 0.005° ≦ 0.005° ≦ 0.005° 面振れθ ≦5μm/±3° ≦5μm/±5° ≦5μm/±5° ≦5μm/±5° 偏心θ ≦3μm/±3° ≦3μm/±5° ≦3μm/±5° ≦5μm/±5° モーメント荷重 0.6arcsec／N・cm 0.3arcsec/N・cm 0.1arcsec／N・cm X方向：0.03arcsec/N・cm　　Y方向：0.05arcsec/N・cm 水平耐荷重 49N (5kgf) 68.6N(7kgf) 196N (20kgf) 343N (35kgf) 静止耐荷重 － － － 1961N (200kgf) 自重 1.45kg 2.25kg 4kg 6kg 使用モータ（3軸共通） PK513PB（0.35A／相） PK523HPMB－C4（0.75A／相） PK513PB（0.35A／相） PK523HPMB-C4（0.75A/相） オリエンタルモーター オリエンタルモーター オリエンタルモーター オリエンタルモーター コネクタ型式（3軸共通） RP13A－12JG－20PC　ヒロセ RP13A－12JG－20PC　ヒロセ RP13A－12JG－20PC　ヒロセ RP13A-12JG-20PC　ヒロセ 価格 450,000円 460,000円 700,000円 780,000円 40 45 60 (120) 40 60 60 (140)

YRA-130 YRA-200 NEW X 4-M10×1.0 Depth 10mm 4-M6 Depth 8mm Φ35 Thru Y 4-M3 Depth 4mm 4-M4 Depth 5mm Φ48 Thru 4-M4 Depth 6mm 4-M3 Depth 4mm 4-M5 Depth 6mm 4-M4 Depth 5mm 4-M4 Depth 6mm 4-M5 Depth 6mm 50 60 90 60 110 90 110 (220) 140 160 180 210 (306.4) シリーズ最小のアライメントステージ 多様なモータ変更要求に対応可能 中 小型液晶やウエハの貼り合わせに最適 シリーズ最大の高耐荷重仕様 特 徴 小 型デバイスの組立に最適 多軸組合せ時のベースに最適 多 様なモータ変更要求に対応可能 ワーク貼り合わせ時に荷重が掛かる箇所に最適 αStep交換にて脱調レス仕様に 多 様なモータ変更要求に対応可能 変更可能 ※受注生産品 型式 YRA－070 YRA－071 YRA－130 YRA－200 テーブルサイズ 70mm×70mm 70mm×70mm 130mm×130mm 210mm×150mm 移動範囲XY・θ ±3mm・±3° ±5mm・±5° ±5mm・±5° ±5mm・±5° 送り方式（3軸共通） ボールネジ　リード1mm ボールネジ　リード1mm ボールネジ　リード1mm ボールネジ　リード1.0mm 最小分解能XY（Half時） 1μm/step 0.5μm/step 1μm/step 0.5μm/step 最小分解能θ（Half時） 0.00127°/step 0.0006366°/step 0.000674°/step 0.000249°/step 最高速度XY 10mm/sec　（10kpps/half時） 10mm/sec　（20kpps/half時） 10mm/sec　（10kpps/half時） 10mm/sec　（20kpps/half時） 最高速度θ 12.7°/sec　（10kpps/half時） 12.7°/sec　（20kpps/half時） 6.74°/sec　（10kpps/half時） 4.98°/sec　（20kpps/half時） ロストモーションXY ≦ 2μm ≦ 2μm ≦ 2μm ≦ 2μm ロストモーションθ ≦ 0.005° ≦ 0.005° ≦ 0.005° ≦ 0.005° 真直度XY ≦ 1μm/6mm ≦ 1μm/10mm ≦ 1μm/10mm ≦ 3μm/10mm 繰返し位置決め精度 ≦ ±0.5μm ≦ ±0.5μm ≦ ±0.5μm ≦ ±0.5μm 角度再現性 ≦ 0.001° ≦ 0.001° ≦ 0.001° ≦ 0.001° バックラッシュXY ≦ 1μm ≦ 1μm ≦ 1μm ≦ 1μm バックラッシュθ ≦ 0.005° ≦ 0.005° ≦ 0.005° ≦ 0.005° 面振れθ ≦5μm/±3° ≦5μm/±5° ≦5μm/±5° ≦5μm/±5° 偏心θ ≦3μm/±3° ≦3μm/±5° ≦3μm/±5° ≦5μm/±5° モーメント荷重 0.6arcsec／N・cm 0.3arcsec/N・cm 0.1arcsec／N・cm X方向：0.03arcsec/N・cm　　Y方向：0.05arcsec/N・cm 水平耐荷重 49N (5kgf) 68.6N(7kgf) 196N (20kgf) 343N (35kgf) 静止耐荷重 － － － 1961N (200kgf) 自重 1.45kg 2.25kg 4kg 6kg 使用モータ（3軸共通） PK513PB（0.35A／相） PK523HPMB－C4（0.75A／相） PK513PB（0.35A／相） PK523HPMB-C4（0.75A/相） オリエンタルモーター オリエンタルモーター オリエンタルモーター オリエンタルモーター コネクタ型式（3軸共通） RP13A－12JG－20PC　ヒロセ RP13A－12JG－20PC　ヒロセ RP13A－12JG－20PC　ヒロセ RP13A-12JG-20PC　ヒロセ 価格 450,000円 460,000円 700,000円 780,000円 50 60 60 90 110 (170) 60 90 110 120 130 55 140 150 (200)

高耐久性ボールネジ回転ステージ 特 徴 長寿命 ボールネジ駆動にしたことにより、これまでのウォームギア駆動の摩耗が原因の精度悪化が発生しません 小型化・軽量化 ボールネジ駆動にしたことにより、動力伝達効率が向上しモータを小型化することに成功 同サイズウォームギア駆動ステージと比較し、約45％の軽量化に成功 RA07A-T01 NEW 70 (23.2) 30 60 4-M4 depth 5mm 10 40 4-M3 depth 5mm CCW CW・LS 0 th ru φ3 NORG CCW・LS CW 4-for M4 screws Shaft length 5.5mm Tapping hole for M5 screw mount from back side. (200) 0.5 29 0.5 140 RA10A-T01 NEW 100 (23.2) 90 30 60 4-M4 Depth 6mm 10 40 4-M4 Depth 6mm 4-M3 Depth 4mm CCW CW・LS th ru φ4 5 NORG CCW・LS CW 4-for M4 screws Shaft length 5.5mm Tapping hole for M5 screw mount from back side. (200) 0.5 29 0.5 (157) 型式 RA07A-T01 RA10A-T01 テーブルサイズ 70mm×70mm 100mm×100mm 案内方式 クロスローラベアリング 回転範囲 ±5° 送り方式 ボールネジ　リード1.0mm 最小分解能（Half時） 0.000682°/step 0.0005°/step 最高速度（20kpps/Half時） 13.64°/sec 10°/sec ロストモーション ≦0.005° 角度再現性 ≦0.002° バックラッシュ ≦0.005° 面振れ ≦5μm/±5° 偏心 ≦5μm/±5° モーメント荷重 0.15 arcsec/N・cm 0.05 arcsec/N・cm 水平耐荷重 78N（ 8kgf） 147N（ 15kgf） 材質 アルミ合金 自重 0.9kg 1.53kg 使用モータ PK523HPMB-C4 PK543HPMB-C4 コネクタ型式 RP13A-12JG-20PC RP13A-12JG-20PC 価格 198,000円 255,000円 神津精機株式会社 http://www.kohzu.co.jp お問い合わせ先 E-mail:sale@kohzu.co.jp 本社／工場 〒215-8521 神奈川県川崎市麻生区栗木2-6-15 TEL.044-981-2131　FAX.044-981-2181 大 阪 支 店 〒532-0004 大阪府大阪市淀川区西宮原2-7-38 新大阪西浦ビル202 TEL.06-6398-6610　FAX.06-6398-6620 1509 (139) 100 90 60 109 40 70 60 40 □90 □60