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ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に最適
高精度形状測定システムDyvoce ( ダイボス) シリーズは、被測定ワークに合わせたレーザ変位計を用いる非接触形状測定システムです。使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術により、様々な測定を可能にします。
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このカタログについて
ドキュメント名 | 高精度表面形状測定システム Dyvoceシリーズ |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 2Mb |
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取り扱い企業 | 神津精機株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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