電極膜や酸化膜の成膜に。リフトオフ工程にも対応可。
蒸着材料の入射角が大きいと、
どのような問題が起きるのでしょうか？
密度が小さくて剝がれやすい膜ができる。
所々隙間のある膜ができる。
といったことが考えられます。
SEC-22Cには、蒸着材料の入射角を
抑える工夫を施しました。
T/Sを長めにし、高精度ドームや補正板4式を採用。
入射角を±5°に抑えています。
(Φ6インチ基板の場合)
そのため、各種電子部品の電極膜や保護用途の酸化膜の
成膜はもちろん、リフトオフ工程に最適です。
他にも膜質を高めるオプション等を
カタログでご紹介しております。
気になった方はぜひカタログダウンロードをお願いします。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【垂直入射はお手の物】真空蒸着装置 SEC-22C |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.3Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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