立方晶炭化珪素CVD-cubic coat【SiC3コーティング】カーボン
短納期！ 長寿命、密着性・均一性に優れたSiCコート部材
高純度・高耐熱性・熱伝導性等の基本性能に優れたCVD-Cubic SiC（立方晶炭化珪素）コーティングカーボン部品。
MOCVD, Epitaxialプロセス等でのウエハートレー・サセプターなど。
※長寿命、密着性・均一性に優れたウエハートレーを短納期で販売致します。
【特長】
■『短納期！』 最短納期（形状・数量・ご要望仕様協議の上納期回答申し上げます）
■高純度・耐熱性・耐食性・耐摩耗性に優れる
■脱ガス量、発塵量や不純物量を低減
■密着性にすぐれ、クラック・剥離などが起こりにくい
■コーティング厚（*ご要望承ります）：最薄20μm〜最厚120μm
■膜厚均一性（*100μmの場合）：最小誤差：±5μm 〜 最大誤差：±10μm
■微細形状にもコートが可能：*例）Φ1mmホール x 深さ5mmブラインドホールへのコートも可能
■粗い表面処理から鏡面処理まで、ご要望により多彩な仕上り調整が可能です。
※ 母材は高純度グラファイトのみとなります。
※ ご支給材料へのコーティングは行っておりませんのでご了承下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | SiC3コーティング |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 895.5Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | テルモセラ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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SiC3コーティング
【Φ2inchx7枚 ウエハートレー】
開発製造元 Thermic Edge Ltd 社（英）
耐熱性・耐蝕性・耐摩耗性に優れた立方晶炭化ケイ素コーティング黒鉛部品
高均一性（最大±10μm～最小±5μm）
高純度、長寿命な SiCコーティング製品を短納期で製作致します。
◉用途事例
エピタキシャル成長用サセプター
単結晶引き上げ装置用部品
MOCVD用サセプター、ウエハートレー、ホルダー
SiCコートヒーター、など
コート厚 【SiC3コート断面SEM】 【SiC3コート表面SEM】
最薄 20μm～最厚 120μm
膜均一性
最大誤差±10μm～最小±5μm（@100μmコート）
（*従来品：最小±20μm）
アスペクト比
5：1（*従来品 1：1） 【Φ1mm x 深さ4mm】
例）Φ3mmホール x 深さ15mmの穴へのコートも可能
高純度
脱ガス量、発塵量や不純物量を低減
表面仕上 【Φ6inchサセプター】
粗い表面処理から鏡面状態までご要望の条件に合わせて調整が可能
テルモセラ・ジャパン株式会社