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不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率マグネトロンスパッタカソード。メンテナンス性にも優れます。
【特徴】
・高真空対応
・Φ2inch、Φ3inch、Φ4inchサイズ
・クランプリング式を採用、ボンディングが不要
・メンテナンス性に優れ、容易にターゲットの交換が可能
・シャッター、チムニーポート、ガスインジェクション、磁性材用高強度マグネット、などのオプションが豊富
・各種フランジサイズ接続に対応
【主仕様】
■RF, DC, パルスDC対応
■ターゲット厚さ:1/16"〜1/4"
■N型同軸コネクター接続
■水冷式:4ℓ/min, 0.35Mpa Φ6mmチューブ接続
■ケース材質:SUS304
■ターゲットクランプ材質:Al, or SUS304
■ベローズ(*Flexi-headタイプ)材質:SUS316
■絶縁材:PEEK/PTFE
■シール材:Viton
■高強度マグネットパック:NiFe
【モデル】
・MAG-BP(ベースポートマウント
・MAG-250T-FXH(Φ3/4" x 250mmパイプ、フレキシブル傾斜ヘッド±45°)
・MAG-250T(Φ3/4" x 250mmパイプマウント)
・MAG-ISO(ISO-Kタイプフランジ接続)
・MAG-CF(CFフランジ接続)
このカタログについて
ドキュメント名 | 【MAG series】マグネトロンスパッタリングカソード |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 1.8Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | テルモセラ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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MAG series
マグネトロンスパッタリングカソード
◉ 高真空対応・メンテナンス性に優れたマグネトロンカソード
◉ クランプリング採用 ターゲットの交換が容易
◉ Φ2inch~Φ4inchサイズ
◉ 磁性材用・チムニーポート・ガスインジェクション・シャッター等オプション豊富
RF, DC, パルスDC 兼用 既設装置への追加増設、改造などにも最適な高性能マグネトロンカソード
開発製造元 Mooreld Nanotechnology Ltd社(英)
テルモセラ・ジャパン株式会社
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形状・バリエーション オプション 参考図(Φ3” Flexihead)
■ ISO(ISO-Kタイプフランジ)
■ CF(CFタイプフランジ)
■ 250T(250mmストレートパイプ)
・シャッター
・ガスインジェクション
・チムニーポート
・磁性材料用高強度マグネット
■ 250T-FXH(250mmパイプ , 傾斜ヘッド) ・クロスコンタミシールド
主仕様
●RF, DC, パルスDC兼用
●水冷式:4ℓ/min, 0.35Mpa
●ターゲット厚さ 1/16”~1/4”
■ BP(ベースポートマウント) ●ケース材質 SUS304
●ターゲットクランプ材質 Al, or SUS304
●ベローズ(Flexi-headタイプ) SUS316
●絶縁材 PEEK/PTFE
●シール材 Viton
●高強度マグネットパック NiFe; エポキシ封入
※ N型同軸コネクター式
※ パイプ式は全てΦ3/4” パイプ Model. No
※ パイプ式はΦ1” ベースプレートカプラー付属 MAG
※ 傾斜ヘッド:±45°傾斜
※ 水冷式:Φ6mmチューブ式 サイズ:2” , 3” , 4”
形状:
・BP(ベースポートマウント)
・250T-FXH(250mmパイプ、傾斜ヘッド式)
・250T(250mmストレートパイプマウント)
・ISO(ISO-Kタイプフランジ接続)
・CF(CFフランジ接続)