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【MAG series】マグネトロンスパッタリングカソード

製品カタログ

不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率マグネトロンスパッタカソード。メンテナンス性にも優れます。

【特徴】
・高真空対応
・Φ2inch、Φ3inch、Φ4inchサイズ
・クランプリング式を採用、ボンディングが不要
・メンテナンス性に優れ、容易にターゲットの交換が可能
・シャッター、チムニーポート、ガスインジェクション、磁性材用高強度マグネット、などのオプションが豊富
・各種フランジサイズ接続に対応
【主仕様】
■RF, DC, パルスDC対応
■ターゲット厚さ:1/16"〜1/4"
■N型同軸コネクター接続
■水冷式:4ℓ/min, 0.35Mpa Φ6mmチューブ接続
■ケース材質:SUS304
■ターゲットクランプ材質:Al, or SUS304
■ベローズ(*Flexi-headタイプ)材質:SUS316
■絶縁材:PEEK/PTFE
■シール材:Viton
■高強度マグネットパック:NiFe
【モデル】
・MAG-BP(ベースポートマウント
・MAG-250T-FXH(Φ3/4" x 250mmパイプ、フレキシブル傾斜ヘッド±45°)
・MAG-250T(Φ3/4" x 250mmパイプマウント)
・MAG-ISO(ISO-Kタイプフランジ接続)
・MAG-CF(CFフランジ接続)

このカタログについて

ドキュメント名 【MAG series】マグネトロンスパッタリングカソード
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.8Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 テルモセラ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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MAG series マグネトロンスパッタリングカソード ◉ 高真空対応・メンテナンス性に優れたマグネトロンカソード ◉ クランプリング採用 ターゲットの交換が容易 ◉ Φ2inch~Φ4inchサイズ ◉ 磁性材用・チムニーポート・ガスインジェクション・シャッター等オプション豊富 RF, DC, パルスDC 兼用 既設装置への追加増設、改造などにも最適な高性能マグネトロンカソード 開発製造元 Mooreld Nanotechnology Ltd社(英) テルモセラ・ジャパン株式会社
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形状・バリエーション オプション 参考図(Φ3” Flexihead) ■ ISO(ISO-Kタイプフランジ) ■ CF(CFタイプフランジ) ■ 250T(250mmストレートパイプ) ・シャッター ・ガスインジェクション ・チムニーポート ・磁性材料用高強度マグネット ■ 250T-FXH(250mmパイプ , 傾斜ヘッド) ・クロスコンタミシールド 主仕様 ●RF, DC, パルスDC兼用 ●水冷式:4ℓ/min, 0.35Mpa ●ターゲット厚さ 1/16”~1/4” ■ BP(ベースポートマウント) ●ケース材質 SUS304 ●ターゲットクランプ材質 Al, or SUS304 ●ベローズ(Flexi-headタイプ) SUS316 ●絶縁材 PEEK/PTFE ●シール材 Viton ●高強度マグネットパック NiFe; エポキシ封入 ※ N型同軸コネクター式 ※ パイプ式は全てΦ3/4” パイプ Model. No ※ パイプ式はΦ1” ベースプレートカプラー付属 MAG ※ 傾斜ヘッド:±45°傾斜 ※ 水冷式:Φ6mmチューブ式 サイズ:2” , 3” , 4” 形状: ・BP(ベースポートマウント) ・250T-FXH(250mmパイプ、傾斜ヘッド式) ・250T(250mmストレートパイプマウント) ・ISO(ISO-Kタイプフランジ接続) ・CF(CFフランジ接続)