EDX分析の受託サービス

精表密面寸分法析測サ定ーサビースビス E D X 分 析 の受託サービス 試料表面に含有される元素(B～U)の定性・定量分析を実施します。 エネルギー分散型 X線分析（EDX）による元素分析サービスでは、電子線やX線を照射して試料に当てることで、励起される特性 概要 X線や蛍光 X線のエネルギーを測定し、得られるスペクトルから試料表面の元素分析を実施致します。 試料表面のどこに、どのような元素が（定性）、どれぐらいの量（定量）含まれているかを分析することが可能です。 ●短時間で多元素を同時分析 SEM-EDXでは B～U、ED-XRF ではNa～Uの元素が短時間で同時に分析できます。 特徴 ●SEM-EDX分析 試料を拡大して分析部位を決定することができ、100μm以下の大きさのものでも分析が可能です。 分析深さは元素にもよりますが、拡散領域は数μm程度になります。SEM-EDX 分析では、試料に導電性が必要になる為、絶縁試料の場合は導電性の物質での 蒸着が必要になりますが、低真空モードを使うことで分析が可能になります。 ●ED-XRF 分析 ●検出限界 ●はんだ接合部の成分分析 ●溶接断面の成分分析 （レーザー・TIG・アーク・スポット・抵抗・EBなど） 用途例 ●付着異物分析 ●SEM-EDX ・メッキの断面分析（ニッケル・金・銀・亜鉛・クロムなど）・錆の成分分析 等 ●ED-XRF ・大型試料の分析・樹脂、ゴム中の無機添加物分析・異物分析 等 走査電子顕微鏡（SEM） 電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM） 設備 ・JSM-6480LA ／ JED-2300 ・JSM-7800F ／ JED-2300 紹介 ・メーカー：JEOL 製 ・メーカー：JEOL 製【EDX】 【EDX】 ・分析試料最大高さ：70mm ・分析試料最大高さ：25mm ・分析元素範囲：B～U　 ・分析元素範囲：B～U ・エネルギー分解能：138eV以下 ・エネルギー分解能：138eV以下　 ・分析定量精度：±数 1,000ppm以上 ・分析定量精度： ± 数 1,000ppm以上 Q: 分析可能な試料サイズはどれぐらいですか？ A: 分析可能な範囲は下記の通りです。 Q&A ・汎用 SEM：XY方向⇒最大φ180mm、Z方向⇒最大 70mm。 ・FE-SEM：XY方向⇒最大 70×50mm、Z方向⇒最大 25mm。 ・ED-XRF：XY方向⇒最大 300×275mm、Z方向⇒最大 100mm。※4隅の R部除く。 （※試料室内に入れるだけであれば汎用 SEMはφ300mmまで投入可能です。） Q: カラーマッピングは何ができるのですか？（SEM-EDXのみ） A: ポイント毎の元素分析結果から、「測定面での各元素の分布状態」と「元素毎の含有率の差」 をカラーマッピングにて表現することが可能です。 【測定例】右の図はSnのカラーマッピング結果です。左のバーで明るい色になるほど含有率が高くなります。 下の青色の部分には、Snが少量ながら拡散している状態がわかります。