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半導体製造装置使用例

事例紹介

半導体製造装置の自動制御に貢献するスマートモータの事例集です。

このカタログについて

ドキュメント名 半導体製造装置使用例
ドキュメント種別 事例紹介
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取り扱い企業 日本ムーグ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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【スマートモータ事例集】 半導体ヒートチャンバーオートメーションと スマートモータ 【背景】 製造装置においてモーション制御はあらゆる面で必要であり、半導 体製造装置も例外ではありません。半導体産業は米国だけで過去 10 年間 150 万人の従業員を雇用しており、米国の主要輸出産業と なっています。 自動制御システムの一例として、画像処理装置をデリケートなウェーハ上で移動しスキャンす ることによるシリコンウェーハの不良発見があります。また、金属化/堆積プロセスではアクチ ュエータに取り付けられた SmartMotor™は真空封止されたチャンバーを通して検査済みウェー ハを移動させています。 装置の自動化は、個々のマイクロ回路に分離されるシリコン材料のダ イシングプロセスで不可欠で、最終製品のパッケージング、スタッキ ングの入出力および多軸モータ制御によるピックアンドプレースアプ リケーションにも採用されています。 Moog Animatics は大手半導体製造装置メーカから、自動化に必要な通 信の問題を解決するため相談を受けました。15 年以上も古いモータシ ステムを使用しウェーハを異なるスロットに分けてヒートチャンバー 神奈川県横浜市西区北幸 2-8-4 電話番号: 0120-609-143 日本ムーグ株式会社 横浜西口 KN ビル 10 階 メール: mcg.japan@moog.com
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に入れており、古いコントローラに合うようなモータを探すことは容易ではなく、ウェーハを 継続して生産することが困難な状態でした。 【課題】 一般的な分離型制御システム(モータ+ドライバ+コントローラ)を置き換えるためには、ホ ストシステムから送信されるコマンドプロトコルをモータのコントローラは理解しなければな らないことでした。しかし、モータ言語に対応するだけに使用中のホストシステムを変更する という選択肢はありませんでした。 SmartMotor™を選択すると、ユーザは SmartMotor™プログラムでパーサを作成しホストからの ASCII文字コマンド文字列を解析することが可能でした。SmartMotor™プログラムは、ホストコ ントローラからのコマンド文字列をデコードし、モーションパラメーターを設定しモーション を開始します。これを実現するためには、パーサはユーザプログラム内で高速に実行する必要 があり、SmartMotor™の Class5 シリーズにはプログラムを実行する処理能力があったのです。 「ホストシステムから送信されるコマンド文字列を解析するプログラムを SmartMotor™のコン トローラに作成することが出来ました。Class 5 SmartMotor™の割り込み機能はプログラムの構 造をシンプルにし、特にパーサの制御を容易にしました。」と、Moog Animatics のシニアアプ リケーションエンジニアである Minh Tran 氏は 述べています。この機能により、ユーザは既存 の分離型制御システムから一体型サーボモータ システムである SmartMotor™に置き換え、ホス ト側のコマンドプロトコルを変更せずに制御シ ステムを構築することが出来ました。他社製品 でも同様の方法でプログラムが可能ですが、Class 5 プロセッサの実行速度は他社よりも優れて おり、SmartMotor™が採用されています。加えてチャンバー室内の省スペース化と自動化シス テムのケーブル費用削減にも貢献しています。
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課題のポイント 1. ホストシステムから送信されるコマンドを理解出来なければならない。 【解決】 解決のポイント 1. SmartMotor™プログラムでパーサを作成して、ホストからの ASCII文字コマンド文字列を解析するこ とが出来た。 2. ホスト側のコマンドプロトコルを変更せずに古いコントローラを置き換えることが出来た。 3. Class 5 プロセッサの実行速度が速かった。 4. 省スペース&省ケーブル この課題を解決した製品の紹介 スマートモータ Class 5