1/52ページ
カタログの表紙 カタログの表紙 カタログの表紙
カタログの表紙

このカタログをダウンロードして
すべてを見る

ダウンロード(3.6Mb)

ファインセレクトカタログ

製品カタログ

ご注文日の当日または翌日に出荷し、お待たせ致しません!

半導体製造工程向け商品のファインシステム機器の中から、即日出荷が可能な汎用商品を集めたカタログです。破損などのトラブル時にも、簡単に短納期商品の選定が可能です。
メンテナンス、試作ラインや実験用に急ぎで商品が必要な時に最適です。

このカタログについて

ドキュメント名 ファインセレクトカタログ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 3.6Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 CKD株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

この企業の関連カタログ

この企業の関連カタログの表紙
【NEW】パワフルアームPAWシリーズ
製品カタログ

CKD株式会社

この企業の関連カタログの表紙
IoT対応機器シリーズ
ハンドブック

CKD株式会社

このカタログの内容

Page1

お問合せは お近くの営業所へどうぞ 北 陸 ・ 信 越 ●奈良営業所〒630-8115 奈良県奈良市大宮町7丁目1番33号(奈良センタービルディング3階) ●長岡営業所 TEL(0742)32-2511 FAX(0742)32-2512 〒940-0088 新潟県長岡市柏町1-4-33(高野不動産ビル2階) ●神戸営業所 東    北 TEL(0258)33-5446 FAX(0258)33-5381 〒673-0016 兵庫県明石市松の内2-6-8(西明石スポットビル3階) ●北上営業所 ●松本営業所 TEL(078)923-2121 FAX(078)923-0212 〒024-0034 岩手県北上市諏訪町2-4-26 〒390-0852 長野県松本市大字島立399-1(滴水ビル4階) ●西日本支店 TEL(0197)63-4147 FAX(0197)63-4186 TEL(0263)40-0733 FAX(0263)40-0744 〒550-0001 大阪府大阪市西区土佐堀1-3-20 ●仙台営業所 ●富山営業所 TEL(06)6459-5770 FAX(06)6446-1945 〒981-3133 宮城県仙台市泉区泉中央4丁目1-5(SAKAE泉中央ビル401) 〒939-8071 富山県富山市上袋100-35 TEL(022)772-3041 FAX(022)772-3047 TEL(076)421-7828 FAX(076)421-8402 中   国 ●山形営業所 ●金沢営業所 ●広島営業所 〒990-0834 山形県山形市清住町3-5-19 〒920-0025 石川県金沢市駅西本町3-16-8 〒730-0029 広島県広島市中区三川町2番6号(くれしん広島ビル3階) TEL(023)644-6391 FAX(023)644-7273 TEL(076)262-8491 FAX(076)262-8493 TEL(082)545-5125 FAX(082)244-2010 ●郡山出張所 東   海 ●岡山営業所 〒963-8046 福島県郡山市町東一丁目35(メイプルコート1-A) 〒700-0904 岡山県岡山市北区柳町2丁目6番25号(朝日生命岡山柳町ビル10階) TEL(022)772-3041 FAX(022)772-3047 ●名古屋営業所 TEL(086)224-7220 FAX(086)224-7221 〒460-0008 愛知県名古屋市中区栄一丁目12番17号 ●山口営業所 北 関 東 TEL(052)223-1121 FAX( 052)223-1127 〒747-0801 山口県防府市駅南町6-25 ●さいたま営業所 ●小牧営業所 TEL(0835)38-3556 FAX(0835)22-6371 〒331-0812 埼玉県さいたま市北区宮原町3-297-2(杉ビル6 5階) 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 四   国 TEL(048)652-3811 FAX(048)652-3816 TEL(0568)73-9023 FAX(0568)75-1692 ●茨城営業所 ●豊田営業所 ●高松営業所 〒300-0847 茨城県土浦市卸町1-1-1(関鉄つくばビル4階C) 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 〒761-8071 香川県高松市伏石町2158-10 TEL(029)841-7490 FAX(029)841-7495 TEL(0565)54-4771 FAX(0565)54-4755 TEL(087)869-2311 FAX(087)869-2318 ●宇都宮営業所 ●三河営業所 ●松山営業所 〒321-0953 栃木県宇都宮市東宿郷3-1-7(メットライフ宇都宮ビル1階) 〒473-0912 愛知県豊田市広田町広田103 〒790-0053 愛媛県松山市竹原2-1-33(サンライト竹原1階) TEL(028)638-5770 FAX(028)638-5790 TEL(0565)54-4771 FAX(0565)54-4755 TEL(089)931-6135 FAX(089)931-6139 ●太田営業所 ●静岡営業所 〒373-0813 群馬県太田市内ケ島町946-2(大槻商事ビル1階) 〒422-8035 静岡県静岡市駿河区宮竹1-3-5 九   州 TEL(0276)45-8935 FAX(0276)46-5628 TEL(054)237-4424 FAX(054)237-1945 ●福岡営業所●浜松営業所 〒812-0013 福岡県福岡市博多区博多駅東1-10-27(アスティア博多ビル5階) 南 関 東 〒435-0016 静岡県浜松市東区和田町438 TEL(092)473-7136 FAX(092)473-5540 ●東京営業所 TEL(053)463-3021 FAX(053)463-4910 ●北九州営業所 〒105-0012 東京都港区芝大門2丁目1番16号(芝大門MFビル8階) ●四日市営業所 〒802-0081 福岡県北九州市小倉北区紺屋町12-4(大樹生命北九州小倉ビル8階) TEL(03)5402-3628 FAX(03)5402-0122 〒512-1303 三重県四日市市小牧町字高山2800 TEL(093)513-2331 FAX(093)513-2332 ●立川営業所 TEL(059)339-2140 FAX(059)339-2144 ●熊本営業所 〒190-0022 東京都立川市錦町3-2-30(朝日生命立川錦町ビル3階) ●中日本支店 〒869-1103 熊本県菊池郡菊陽町久保田2799-13 TEL(042)527-3773 FAX(042)527-3782 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(096)340-2580 FAX(096)340-2584 ●千葉営業所 TEL(0568)74-1356 FAX(0568)75-1692 本   社 〒274-0825 千葉県船橋市前原西2-12-5(朝日生命津田沼ビル5階) 関   西 TEL(047)470-5070 FAX(047)493-5190 ●本社・工場 ●横浜営業所 ●大阪営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜2-17-19(AR新横浜ビルディング4階) 〒550-0001 大阪府大阪市西区土佐堀1-3-20 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123 TEL(045)475-3471 FAX(045)475-3470 TEL(06)6459-5775 FAX(06)6446-1955 ●営業本部 ●厚木営業所 ●大阪東営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 〒243-0027 神奈川県厚木市愛甲東一丁目22番6号 〒570-0083 大阪府守口市京阪本通1-2-3(損保ジャパン日本興亜守口ビル6階) TEL(0568)74-1303 FAX(0568)77-3410 TEL(046)226-5201 FAX(046)226-5208 TEL(06)4250-6333 FAX(06)6991-7477 ●海外営業統括部 ●甲府営業所 ●滋賀営業所 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 〒409-3867 山梨県中巨摩郡昭和町清水新居1509 〒524-0033 滋賀県守山市浮気町字中ノ町300-21(第2小島ビル4階) TEL(0568)74-1338 FAX(0568)77-3461 TEL(055)224-5256 FAX(055)224-3540 TEL(077)514-2650 FAX(077)583-4198 ●東日本支店 ●京都営業所 0120-771060 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1(文化放送メディアプラス4階) 〒612-8414 京都府京都市伏見区竹田段川原町241 フリーアクセス   TEL(03)5402-3620 FAX(03)5402-0120 TEL(075)645-1130 FAX(075)645-4747 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00~12:00/13:00~17:00 (土日、休日除く) □ 2-250 Ouji, Komaki City, Aichi 485-8551, Japan Website https://www.ckd.co.jp/ □ PHONE +81-568-74-1338 FAX +81-568-77-3461 U.S.A. Singapore China CKD USA CORPORATION CKD SINGAPORE PTE. LTD. 喜開理(上海)機器有限公司 ●CHICAGO HEADQUARTERS No.33 Tannery Lane #04-01 Hoesteel Industrial Building, CKD(SHANGHAI)CORPORATION 1605 Penny Lane, Schaumburg, IL 60173, USA Singapore 347789, Singapore PHONE +1-847-648-4400 FAX +1-847-565-4923 PHONE +65-67442623 FAX +65-67442486 ●営業部/上海浦西事務所(SALES HEADQUARTERS / SHANGHAI PUXI OFFICE) ・LEXINGTON OFFICE Room 601, 6th Floor, Yuanzhongkeyan Building, No. 1905 ・SAN ANTONIO OFFICE CKD CORPORATION BRANCH OFFICE Hongmei Road, Xinhui District, Shanghai 200233, China ・SAN JOSE OFFICE/ TECHNICAL CENTER No.33 Tannery Lane #04-01 Hoesteel Industrial Building, PHONE +86(- 0)21-61911888 FAX +86(- 0)21-60905356 ・DETROIT OFFICE Singapore 347789, Singapore ・上海浦東事務所(SHANGHAI PUDONG OFFICE) ・BOSTON OFFICE PHONE +65-67447260 FAX +65-68421022 ・寧波事務所(NINGBO OFFICE) Mexico India ・杭州事務所(HANGZHOU OFFICE)・無錫事務所(WUXI OFFICE) CKD MEXICO, S. DE R.L. DE C.V. CKD INDIA PRIVATE LTD. ・昆山事務所(KUNSHAN OFFICE) Cerrada la Noria No. 200 Int. A-01, Querétaro Park II, Parque Unit No. 607, 6th Floor, Welldone Tech Park, Sector 48, ・蘇州事務所(SUZHOU OFFICE) Sohna Road, Gurgaon-122018, Haryana, India ・南京事務所(NANJING OFFICE)Industrial Querétaro, Santa Rosa Jáuregui, Querétaro, C.P. ・合肥事務所(HEFEI OFFICE) 76220, México PHONE +91(- 0)124-418-8212 ・成都事務所(CHENGDU OFFICE) PHONE +52-442-161-0624 CKD INDIA PRIVATE LTD. BANGALORE OFFICE ・武漢事務所(WUHAN OFFICE) Europe Novel Business Park, No. 57, 13th Cross Hosur Road, Anepalya, ・鄭州事務所(ZHENGZHOU OFFICE)Bangalore-560047, India ・長沙事務所(CHANGSHA OFFICE)CKD EUROPE B.V. ( ) ・重慶事務所(CHONGQING OFFICE)PHONE +91- 0 80-4291-1144 Beechavenue 125A, 1119 RB Schiphol-Rijk, the Netherlands ・西安事務所(XIAN OFFICE)・広州事務所(GUANGZHOU OFFICE) PHONE +31-23-554-1490 Indonesia ・中山事務所(ZHONGSHAN OFFICE) ・GERMANY OFFICE PT CKD TRADING INDONESIA ・深圳西事務所(WEST SHENZHEN OFFICE) CKD CORPORATION EUROPE BRANCH ●SALES HEADQUARTERS ・深圳東事務所(EAST SHENZHEN OFFICE) ●SALES HEADQUARTERS Menara Bidakara 2, 18th Floor, Jl. Jend. Gatot Subroto Kav. ・東莞事務所(DONGGUAN OFFICE) Beechavenue 125A, 1119 RB Schiphol-Rijk, the Netherlands ・厦門事務所(XIAMEN OFFICE)71-73, Pancoran, Jakarta 12870, Indonesia ・福州事務所(FUZHOU OFFICE) PHONE +31-23-554-1490 PHONE +62(- 0)21-2938-6601 FAX +62(- 0)21-2906-9470 ・瀋陽事務所(SHENYANG OFFICE) ・CZECH.O.Z. ・BEKASI OFFICE ・長春事務所(CHANGCHUN OFFICE) ・UK OFFICE ・KARAWANG OFFICE ・大連事務所(DALIAN OFFICE) Malaysia ・SURABAYA OFFICE ・北京事務所(BEIJING OFFICE)・天津事務所(TIANJIN OFFICE) M-CKD PRECISION SDN.BHD. Vietnam ・青島事務所(QINGDAO OFFICE) ●HEAD OFFICE CKD VIETNAM ENGINEERING CO.,LTD. ・ 坊事務所(WEIFANG OFFICE) Lot No.6,Jalan Modal 23/2, Seksyen 23, Kawasan MIEL, 18th Floor, CMC Tower, Duy Tan Street, Cau Giay District, ・済南事務所(JINAN OFFICE)・烟台事務所(YANTAI OFFICE) Fasa 8, 40300 Shah Alam,Selangor Darul Ehsan, Malaysia Hanoi, Vietnam PHONE +60(- 0)3-5541-1468 FAX +60(- 0)3-5541-1533 PHONE +84(- 0)24-3795-7631 FAX +84(- 0)24-3795-7637 Korea ・JOHOR BAHRU BRANCH OFFICE ・PENANG BRANCH OFFICE Taiwan CKD KOREA CORPORATION Thailand 台湾喜開理股 有限公司 ●HEADQUARTERS CKD THAI CORPORATION LTD. TAIWAN CKD CORPORATION (3rd Floor), 44, Sinsu-ro, Mapo-gu, Seoul 04088, Korea 16F-3, No. 7, Sec. 3, New Taipei Blvd., Xinzhuang Dist., New PHONE +82(- 0)2-783-5201~5203 FAX +82(- 0)2-783-5204 ●SALES HEADQUARTERS Taipei City 242, Taiwan ・水原営業所(SUWON OFFICE) 19th Floor, Smooth Life Tower, 44 North Sathorn Road, ・天安営業所(CHEONAN OFFICE)PHONE +886(- 0)2-8522-8198 FAX +886(- 0)2-8522-8128 ・蔚山営業所(ULSAN OFFICE) Silom, Bangrak, Bangkok 10500, Thailand ・新竹営業所(HSINCHU OFFICE) PHONE +66(- 0)2-267-6300 FAX +66(- 0)2-267-6304-5 ・台中営業所(TAICHUNG OFFICE) ・RAYONG OFFICE ・台南営業所(TAINAN OFFICE) ・NAVANAKORN OFFICE ・高雄営業所(KAOHSIUNG OFFICE) ・EASTERN SEABOARD OFFICE ・LAMPHUN OFFICE ・KORAT OFFICE ・AMATANAKORN OFFICE ・PRACHINBURI OFFICE ・SARABURI OFFICE 本カタログに記載の製品及び関連技術は、外国為替及び外国貿易法のキャッチオール規制の対象となります。 本カタログに記載の製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 The goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are subject to complementary export regulations by Foreign Exchange and Foreign Trade Law of Japan. If the goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are to be exported from Japan, Japanese laws require the exporter makes sure that they will never be used for the development and/or manufacture of weapons for mass destruction. ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 2019 CB-045 3 ●Specifications are subject to change without notice. CKD Corporation 2019 All copy rights reserved. 2019.10.C
Page2

ご注文日の当日または翌日に出荷し、お待たせ致しません!
Page3

薬 液 I N D E X 用バル ブ インデックス 薬液用バルブ プ ロ P.1 P.3 P.7 P.9 P.11 P.15 セス ガ ス 用 バ ル ブ エアオペレイトバルブ エアオペレイトバルブ エアオペレイトバルブ マニュアルバルブ マニュアルバルブ マニュアルバルブ AMDZ13R AMD※13R AMD61H MMD00 MMD※03RN MMD60H 高 P.17 P.19 P.21 真 空 ご注文日の当日または翌日に出荷し、お待たせ致しません! 用 バ ル ブ エアオペレイトバルブ マニュアルバルブ マニュアルバルブ AMD※12 MMD00 MMD※02 プロセスガス用バルブ P.23 P.27 P.31 P.33 P.35 エアオペレイトバルブ マニュアルバルブ エアオペレイトバルブ レギュレータ バキュームジェネレータ LGD※※ LGD※0 AGD※1R PGM VG 高真空用バルブ P.37 P.39 エアオペレイトバルブ マニュアルバルブ AVB※17 MVB※17 ※掲載機種以外にもご用意しております。弊社営業までお気軽にお問い合わせください。 注意事項・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・巻末1
Page4

薬液用エアオペレイトバルブ AMDZ13R Series ●チューブ内径:●●●●●●●●●●●●●●●● 特 長 •幅広い使用圧力(A⇔ B:0〜0.5MPa) •様々な薬液に対応可能 ●10個以下 カタログNo.CB-031 形番表示方法 AMDZ 1 3R 8BUP Z0 N 4 H A B C D E F 形番 標準価格 A作動方式 B接続方式(チューブ接続) Cアクチュエータ Dボディ E操作ポートオプション オプション 方向 F取付方法 AMDZ13R-6BUP-Z0N4H 34,900 1/8"×0.086" AMDZ13R-6UP-Z0N4H 34,900 スーパー300タイプ φ6×φ4 4点フランジ AMDZ13R-8BUP-Z0N4H 34,900 NC ピラーフィッティング 1/4"×5/32" ON・OFFのみ ノーマルボディ 取付 (ノーマルクローズ) Aポート側 AMDZ13R-6BUP-Z0N4X 34,900 Pシリーズ一体形 (PFA) 1/8"×0.086" 底面取付 AMDZ13R-8BUP-Z0N4X 34,900 1/4"×5/32" 仕様 項 目 AMDZ13R 使用流体 純水、薬液、空気、N2ガス( 注1) 流体温度 ℃ 5〜120( 注2) 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.5 弁座漏れ cm3/min 0 (ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60 頻度 30回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 OD1/8”チューブ接続(フィッティング一体形) ODφ6・1/4”チューブ接続(フィッティング一体形) オリフィス径 (注3) φ2 φ4 Cv値 (注4) 0.07 0.25 操作圧力 MPa 0.4〜0.5 操作部 操作ポート Rc1/8 質量 kg 0.07 注1:製品構成材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト巻末3ページをご参照ください。) 注2:フッ酸、もしくはフッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3:各機種毎のオリフィス径は形番表示方法にて確認してください。 注4:Cv値は温度23℃の時の値です。 注5:流量特性については、6ページをご参照ください。 注6:フィッティングの施工には専用の施工治具が必要ですので、別途フィッティングメーカーにお問い合わせください。 1
Page5

薬 液 外形寸法図 用 ● Z0 ON・OFFのみ+ Nノーマルボディ+ H4点フランジ取付 バル ・AMDZ13R- ※ 1-Z0N4 ※2 X 底面取付 ブ (A) 22 8 操作ポートRc1/8 Bポート Aポート B A ● H4点フランジ取付 ※1( 接続方式) A 27 6BUP 50 22 6UP 60 4-4.5 12 8BUP 60 8-フルR ● X底面取付 2-M6深6 2 4-3.5 30 14±0.3 22 36 6 17 39 54 61
Page6

薬液用エアオペレイトバルブ AMD※13R Series ●チューブ内径:●●●●●●●●●●●●●●●● 特 長 •幅広い使用圧力(A⇔ B:0〜0.5MPa) 輸出貿易管理令該当品 •様々な薬液に対応可能 ●10個以下 ※対象:AMD413R、AMD513R カタログNo.CB-031 形番表示方法 AMD3 1 3R 10BUP 00 N 4 F A B C D E F G 形番 標準価格 A機種形番 B作動方式 C接続方式(チューブ接続) Dアクチュエータ Eボディ F操作ポートオプション オプション 方向 G取付方法 AMD313R-10BUP-00N4F 34,200 3/8"×1/4" AMD3 AMD313R-15BUP-00N4F 35,600 1/2"×3/8" フランジ取付 AMD413R-20BUP-00N4F 52,000 AMD4 3/4"×5/8" AMD513R-25BUP-00N4F 76,500 AMD5 1"×7/8" AMD313R-10UP-00N4H 34,200 スーパー300タイプ φ10×φ8 ノーマル AMD313R-10BUP-00N4H 34,200 NC ピラーフィッティング 3/8"×1/4" ON・OFFのみ ボディ Aポート側 AMD3 (ノーマルクローズ) Pシリーズ (インジケータ付) AMD313R-12UP-00N4H 35,600 一体形 φ12×φ10 (PFA) AMD313R-15BUP-00N4H 35,600 1/2"×3/8" 4点フランジ取付 AMD413R-20BUP-00N4H 52,000 AMD4 3/4"×5/8" AMD513R-25UP-00N4H 76,500 φ25×φ22 AMD5 AMD513R-25BUP-00N4H 76,500 1"×7/8" 仕様 項 目 AMD313R AMD413R AMD513R ボディオプション N(ノーマルボディ) 使用流体 薬液、純水、空気、N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120(注2) 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.5 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60 頻度 30回/分以下 20回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 ODφ10・3/8"チューブ接続 ODφ12・1/2"チューブ接続 OD3/4"チューブ接続 ODφ25・1"チューブ接続(フィッティング一体形) (フィッティング一体形) (フィッティング一体形) (フィッティング一体形) オリフィス径 (注3) φ8 φ10 φ16 φ20 Cv値 (注4) 1.25 1.8 5 8 操作圧力 MPa 0.35〜0.5 操作部 操作ポート Rc1/8 質量 kg 0.21 0.48 0.91 注1:製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト巻末3ページをご参照ください。) 注2:フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3:各機種毎のオリフィス径は形番表示方法にて確認してください。 注4:Cv値は温度23℃の時の値です。 注5:流量特性については、6ページをご参照ください。 注6:フィッティングの施工には専用の施工治具が必要ですので、別途フィッティングメーカーにお問い合わせください。 3
Page7

薬 液 外形寸法図 用 ● 00 ON・OFFのみ(インジケータ付)+ Nノーマルボディ+ F フランジ取付 バル ・AMD313R- ※ 1-00N4 ※2 H 4点フランジ取付 ブ 36 10 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート (A) ※1( 接続方式) A 10UP 86 ● Fフランジ取付 10BUP 86 12UP 94 50 36 15BUP 94 4−フルR 2-8 22 ● H4点フランジ取付 50 8−フルR 36 4-8 22 4 8.5 4-7 2-7 50 36 62 50 36 62 21 49 78 85 (87)
Page8

外形寸法図 ● 00 ON・OFFのみ(インジケータ付)+ Nノーマルボディ+ F フランジ取付 ・AMD4※3R- 2 0B U P-00N4 ※2 H 4点フランジ取付 46 8 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート (118) ● Fフランジ取付 ● H4点フランジ取付 66 66 46 46 4−フルR 2-11 28 8−フルR 4-11 28 5 9 2-9 46 64 46 82 4-9 27 62 64 101 82 108 (112)
Page9

薬 液 外形寸法図 用 ● 00 ON・OFFのみ(インジケータ付)+ Nノーマルボディ+ F フランジ取付 バル ・AMD5※3R- ※ 1-00N4 ※2 H 4点フランジ取付 ブ 60 8 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート (146) ● Fフランジ取付 ● H4点フランジ取付 78 61 61 4−フルR 2-3 40 4-11 40 8−フルR 流量特性 ●流量特性(水)  差圧ー流量( )内:Cv値 1000 [ℓ/min] 流   量 AMD513R(8) AMD413R(5) 100 AMD313R(1.8) AMD313R(1.25) 10 AMDZ13R(0.25) AMDZ13R(0.07) 0.05 0.1 0.5 差圧[MPa] 6 10 2-9 61 60 78 97 4-9 35 84 78 127 134 97 (139)
Page10

薬液用エアオペレイトバルブ AMD61H Series ●チューブ内径:●●●●●●●●●●●●●●●● 特 長 •高圧・高背圧に対応 •【 口径】11/4 •酸・アルカリ共用タイプ ●10個以下 輸出貿易管理令該当品 形番表示方法 AMD 6 1H 10BJ U A B C 形番 標準価格 A作動方式 B接続方式 C流体 スーパー300タイプ AMD61H-10BJ-U 128,770 NC ピラーフィッティング(ノーマルクローズ) Pシリーズ一体形 一般流体 0D1.25"チューブ接続 仕様 項 目 AMD61H 使用流体 薬液・純水(注1) 流体温度 ℃ 5〜40 耐圧力 MPa 1.4 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.7 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.7 周囲温度 ℃ 0〜40 頻度 15回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 0D1.25"チューブ接続 オリフィス径 φ25 Cv値 (注2) 14 操作圧力 MPa 0.5〜0.7 操作部 操作ポート Rc1/8 質量 kg 1.3 注1:製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト巻末3ページをご参照ください。) 注2:Cv値は温度23℃の時の値です。 7
Page11

薬 液 外形寸法図 用 ●AMD61H-10BJ-U バル ブ 75 38 4-φ9 X 操作ポートRc1/8 Y Bポート B A Aポート φ25 (オリフィス径) (198) 8 75 93 111 12 42 111 MAX 202
Page12

薬液用マニュアルバルブ MMD00 Series ●チューブ内径:●●●●●●●●●●●●●●●● 特 長 •【 口径】1/4 •酸・アルカリ共用タイプ ●10個以下 形番表示方法 MMD00 2BJ U A B C 形番 標準価格 A機種形番 B接続方式 C流体 スーパー300タイプ MMD00-2BJ-U 68,990 MMD00 ピラーフィッティングPシリーズ一体形 一般流体 1/4"×5/32"チューブ接続 仕様 項 目 MMD00 使用流体 薬液・純水(注1) 流体温度 ℃ 5〜100(注2) 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.3 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.3MPa 周囲温度 ℃ 0〜40 取付姿勢 自在 接続方式 OD1/4"チューブ接続(フィッティング一体形) オリフィス径 φ4 Cv値 (注3) 0.32 質量 kg 0.07 注1:製品構成材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト巻末3ページをご参照ください。) 注2:フッ酸でご使用の場合、流体温度が40℃を超える場合はお問合せください。 注3:Cv値は温度23℃の時の値です。 9
Page13

薬 液 外形寸法図 用 ●MMD00-2BJ-U バル ブ 30 20 4-φ3.5 Bポート B A Aポート φ4 (オリフィス径) (68) 10 30 38 44 6 15 MAX 77
Page14

薬液用マニュアルバルブ MMD※03RN Series ●チューブ内径:●●●●●●●●●●●●●●●● 特 長 輸出貿易管理令該当品 •酸・アルカリ共用タイプ ●10個以下 ※対象:MMD403RN、MMD503RN カタログNo.CC-1397 形番表示方法 MMD303RN 10BUP F A B C 形番 標準価格 A機種形番 B接続方式 C取付方法 MMD303RN-10BUP-F フランジ取付 45,000 3/8"×1/4"チューブ接続 MMD303RN-10BUP-H 4点フランジ取付 MMD303RN MMD303RN-15BUP-F フランジ取付 46,600 スーパー300タイプ 1/2"×3/8"チューブ接続 MMD303RN-15BUP-H ピラーフィッティング 4点フランジ取付 MMD403RN-20BUP-F Pシリーズ フランジ取付 62,900 MMD403RN 一体形 3/4"×5/8"チューブ接続 MMD403RN-20BUP-H 4点フランジ取付 MMD503RN-25BUP-F フランジ取付 92,900 MMD503RN 1"×7/8"チューブ接続 MMD503RN-25BUP-H 4点フランジ取付 ●誤操作防止カバー  MMD303RN-C  MMD403RN-C  MMD503RN-C 仕様 項 目 MMD303RN MMD403RN MMD503RN 使用流体 薬液・純水・空気・N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.5 弁座漏れ cm3/min 0(ただし水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60 取付姿勢 自在 接続方式 OD3/8"チューブ接続 OD1/2"チューブ接続 OD3/4"チューブ接続 OD1"チューブ接続(フィッティング一体形) (フィッティング一体形) (フィッティング一体形) (フィッティング一体形) オリフィス径 φ8 φ10 φ16 φ20 Cv値 (注2) 1.25 1.8 5 8 質量 kg 0.21 0.43 0.85 注1:製品構成材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト巻末3ページをご参照ください。) 注2:Cv値は温度23℃の時の値です。 注3:フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注4:流量特性については13ページをご参照ください。 11
Page15

薬 液 外形寸法図 用 ●MMD※03RN バB ル A ブ Bポート B A Aポート (D) ● F フランジ取付 ● H 4点フランジ取付 ・MMD303RN-※-F ・MMD403RN-※-F I O H N S G U M 4-フルR 8-フルR ・MMD503RN-※-F H S G 4-フルR 形番 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U MMD303RN-10BUP-8 36 39 36 86 21 116 22 36 50 36 50 62 22 36 50 50 62 2-7 2-8 4-7 4-8 MMD303RN-15BUP-10 36 39 36 94 21 116 22 36 50 36 50 62 22 36 50 50 62 2-7 2-8 4-7 4-8 MMD403RN-20BUP-16 46 51 46 118 27 144 28 46 66 46 64 82 28 46 66 64 82 2-9 2-11 4-9 4-11 MMD503RN-25BUP-20 60 65 60 146 35 184 40 61 61 61 78 97 40 61 78 78 97 2-9 2-3 4-9 4-11 12 R R J J K L K L T C P Q E F
Page16

外形寸法図 ● 誤操作防止カバー ・MMD303RN-C ・MMD403RN-C ・MMD503RN-C H I J K L φ5.5 ※誤操作防止カバーの取付について  どの方向(4方向)でも取付け可能です。 形番 A B C D E F G H I J K L M MMD303RN-C 166 112 54 51 25 13 5 78 55 23 40 10 40 MMD403RN-C 203 139 64 60 31 15 5 99 68 31 51 11 51 MMD503RN-C 254 179 75 71 38 17 5.5 125 83 71 65 12 65 流量特性 ●流量特性(水)  差圧ー流量( )内:Cv値 1000 [ℓ/min] 流   量 MMD503RN(8) MMD403RN(5) 100 MMD303RN(1.8) MMD303RN(1.25) 10 0.05 0.1 0.5 差圧[MPa] 13 M A B C D G F E
Page17

薬 液 用 バ ル ブ 14
Page18

薬液用マニュアルバルブ MMD60H Series ●チューブ内径:●●●●●●●●●●●●●●●● 特 長 •高圧・高背圧に対応 •【 口径】11/4 •酸・アルカリ共用タイプ ●10個以下 輸出貿易管理令該当品 形番表示方法 MMD60H 10BJ U A B C 形番 標準価格 A機種形番 B接続方式 C流体 スーパー300タイプ MMD60H-10BJ-U 148,150 MMD60H ピラーフィッティングPシリーズ一体形 一般流体 1 1/4"×1 1/10"チューブ接続 仕様 項 目 MMD60H 使用流体 薬液・純水(注1) 流体温度 ℃ 5〜40 耐圧力 MPa 1.4 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.7 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.7 周囲温度 ℃ 0〜40 取付姿勢 自在 接続方式 OD1.25"チューブ接続 オリフィス径 φ25 Cv値 (注2) 14 質量 kg 2.0 注1:製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト巻末3ページをご参照ください。) 注2:Cv値は温度23℃の時の値です。 注3:MMD60Hシリーズは、流量調整用として使用できません。全閉または全開の状態でご使用ください。 15
Page19

薬 液 外形寸法図 用 ●MMD60H-10BJ-U バル ブ 75 38 4-φ9 Y Bポート B A Aポート φ25 (オリフィス径) (198) 16 75 93 111 12 42 MAX 241
Page20

ステンレスボディ薬液用エアオペレイトバルブ AMD※12 Series ●チューブ内径:● ●●●●●●●●●●●●●●● 特 長 •【 口径】3/8 1/2 3/4 1 •ステンレスボディ、アルミアクチュエータタイプ ●10個以下 形番表示方法 AMD3 1 2 3BT 6 A 4 Q A B C D E F G 形番 標準価格 A機種形番 B作動方式 C接続方式 Dオプション Eアクチュエータ F操作ポート材質 方向 G高圧仕様 AMD312-3BT-6-A-4Q 87,870 3/8"×t1.0 AMD3 AMD312-4BT-6-A-4Q 88,180 NC 1/2"×t1.24 両ポート AMD412-6BT-6-A-4Q 112,470 AMD4 (ノーマルクローズ) SUSチューブ出し インジケータ付 A5056 Aポート側 3/4"×t1.24 0.4MPa仕様 AMD512-8BT-6-A-4Q 166,490 AMD5 1"×t1.65 仕様 項 目 AMD312-3BT AMD312-4BT AMD412-6BT AMD512-8BT 使用流体 薬液・純水(注1) 流体温度 ℃ 5〜90 耐圧力 MPa 0.9 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.4 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.4 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.4 周囲温度 ℃ 0〜60 頻度 30回/分以下 20回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 3/8"SUSチューブ出し 1/2"SUSチューブ出し 3/4"SUSチューブ出し 1"SUSチューブ出し オリフィス径 φ8 φ10 φ16 φ20 操作圧力 MPa 0.5〜0.6 操作部 操作ポート Rc1/8 質量 kg 0.49 1.0 1.7 注1:製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト巻末3ページをご参照ください。) 17