【事例】非破壊/非接触で高精度のウェハー検査を実現！課題解決事例のご紹介

【事例】半導体前工程のウェーハ光学検査を トータルソリューションで実現 【課題】 ・ 非破壊、非接触でウェーハを検査したい ・ロボットによるワークの搬送と同期して検査し たい ・生産性レベルを維持しながら、高精度の検 査分析を行いたい ・産業用PC＋検査カメラのソリューションで 高精度なウェーハを検査 ・ウェーハの研磨後、トリガー信号を検査システ ムに送ることで搬送システムと同期化 ・ソフトウェア「VisionNavi」で欠陥検査を行 い、「NG/OK」の信号を送信。 ロケーション：台湾 背景 半導体の前工程では、化学的な力と機械的な力を組み合わせて表面を平滑化する化学的機械的平坦化/研磨（CMP）プロセスにより、クラッ クやスクラッチ欠陥などの表面損傷が発生することがあります。このリスクに効果的に対処するには、非破壊、非接触、波長に敏感なビジョン検 査で表面の純度と平坦性を検査する必要があります。 　　本件の顧客は半導体業界でも有数のウェーハ製造会社で、CMP工程でのダメージや欠陥を見つけることができる検査システムを必要として いました。ウェハーの材質が特徴的なため、表面の純度と平面性を調べるために、非破壊、非接触、波長に敏感な画像検査が不可欠であり、 高精度なインライン検査を高速で行うことができる完全なシステムでした。　 システム要件 ・ビジョン検査システムにより、非破壊、非接触、で高精度な画像検査を行う ・自動化されたロボットハンドリングシステムによる搬送と同期して検査したい ・ウェハの種類や欠陥の種類が多いため、設置やメンテナンスの手間を減らしたい ・検査用コンピュータやカメラ、ソフトウェアも含めてマシンビジョンのトータルソリューション 使用製品 【IPC-220】 【PCIE-1674E-AE】 【PCIE-1730H】 【QCAM-GM1440-073CE】 第6/7世代Intel® Core™ i 4ポート PCIe GlgE ビジョン 32-Ch TTL, 32-Ch 産業用検査カメラ CPU搭載 フレームグラバーカード 絶縁デジタル入出力 コンパクト産業用PC PCIe カード Project Implementation

Semiconductor システム概要 ・高性能産業用PC、PoEカード（フレームグラバーカード）、検査カメラ、DIOカードに加え、ソフトウェアの 「VisionNavi」でトータルに半導体業界向けの高性能なビジョンシステムをサポート ・ウェーハが研磨された後、位置センサーがビジョンシステム（産業用PC）にトリガー信号を送信。異なるカメラア ングルからの複数の画像が ビジョンシステムに送られ、「VisionNavi」が欠陥検査のために画像を処理して 欠陥 検査を行い、ウェハーを検証。欠陥が検出された場合は「NG」信号を送ってウェハを拒絶し、問題ない場合は 「OK」信号を送ってウェハーをピックアップし、次の工程に移る。 ・「VisionNavi」はフローチャートをベースにしたユーザーフレンドリーなインターフェースで、開発や展開を簡素化 し、高度なビジョン・アプリケーションのための機能を分岐・ループさせ、複数のタスクやグローバル・シャッター付 きカメラをサポート ・画像データは復元され、顧客の現在の企業データベースと効果的に統合可能 システム構成 マシンビジョンアプリケーション用ソフト PCIE-1674E-AE IPC-220 PCIE-1730H 4ポート PCIe GlgE ビジョン 第6/7世代Intel® Core™ i CPU搭載 32-Ch TTL, 32-Ch フレームグラバーカード コンパクト産業用PC 絶縁デジタル入出力 PCIe カード QCAM-GM1440-073CE QCAM-GM1440-073CE QCAM-GM1440-073CE QCAM-GM1440-073CE イーサネット 産業用検査カメラ 産業用検査カメラ 産業用検査カメラ 産業用検査カメラ その他 アドバンテックが選ばれた理由 アドバンテックのマシンビジョン検査システムは、グローバルシャッター、産業用用高速度カメラ、マルチチャンネル・コン ピューティング・プラットフォーム、ビジョン・ソフトウェアを統合しています。そのため、顧客は互換性のある製品をどのように選 択するかを心配する必要がありませんでした。 　またVisionNaviソフトウェアは、グラフィカルでフローチャートベースのインターフェイスで設計されており、ユーザーはビジョン 検査アまたプリケーションの開発と展開を簡単に完了することができました。 お問い合わせはこちら：AJP.IIOT.Marketing@advantech.com インダストリアルIoT事業部公式サイト：https://advantechjapan.com/