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非接触搬送 搬送タイプ LTU-050CE/LTU-075CE/LTU-100CE

製品カタログ

自社独自の設計 妙徳のエアテクノロジーで高精度浮上を実現

・安定した浮上精度 露光や検査プロセスにガラス基板を送り込む為の安定した浮上特性を実現
・使用流体 空気(非腐食・不燃性気体)
・周囲温度 23±10℃

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このカタログについて

ドキュメント名 非接触搬送 搬送タイプ LTU-050CE/LTU-075CE/LTU-100CE
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 585.9Kb
登録カテゴリ
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