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サブミクロン精度の計測を“インライン”で!超高速3次元センサー『helilnspect』(heliotis社)

製品カタログ

色・素材・死角の影響を受けることなく数nm精度の計測を非接触で実現します!

heliotis社の『helilnspect』は、白色干渉法を原理とした3次元センサー。色・素材・死角の影響を受けることなく、通常モードで100nm、位相モードで数nm精度の計測を非接触で実現します。

最大11mm角の視野、およそ9000点を同時に測定。通常数秒〜数十秒かかる白色干渉法での計測をわずか数100msで行います。また通常のカメラと同じように、PCビジョンに組み込んで使うことが可能です。

【特長】
●非接触、かつ高精度
●超高速に“面”測定
●計測ヘッドで提供、PCビジョンに組み込んで使用可能

【適用事例】
●BGAの径・位置・高さ検査
●ワイヤーボンディング検査
●金属表面の数μmの打痕・傷検査
●穴底の検査
●透明な接着剤の塗布計測

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このカタログについて

ドキュメント名 サブミクロン精度の計測を“インライン”で!超高速3次元センサー『helilnspect』(heliotis社)
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.6Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社リンクス (この企業の取り扱いカタログ一覧)