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【異物サンプリング・FIBリフトアウト】3D観察下のマイクロマニピュレーション

事例紹介

異物サンプリングやFIBリフトアウトに最適な3Dステレオ観察

◆広い視野と深い被写界深度
 プローブのセットか対象物へのアプローチを同一視野内で行うことができ、作業時間短縮に貢献

◆広い射出瞳径
 視点を少しずらすだけで、通常の顕微鏡では観察できない被写体の側面が見える
 プローブ先端の高さがわかるため側面に付着した異物への正確なアプローチが可能

◆長い作動距離
 様々なマニピュレータに対応可能
 凹みの底などプローブを立てて使用する場合もレンズが邪魔になりにくい

このカタログについて

ドキュメント名 【異物サンプリング・FIBリフトアウト】3D観察下のマイクロマニピュレーション
ドキュメント種別 事例紹介
ファイルサイズ 750.9Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 日本ヴィジョン・エンジニアリング株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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Vision Engineering - Stereo, digital & 3D inspection and measurement solutions 3D観察下のマイクロマニピューレション 【異物サンプリング・FIBリフトアウト】 異物サンプリング:工程内で発生した異物はその組成を明らかにすることで発生源を特定することができます。 異物の大きさが1mm以下の場合は、試料汚染・紛失に最大限留意してサンプリングすることが必要になります。 プローブ先端の距離感を見誤らない 立体観察可能な光学顕微鏡 広い射出瞳径により観察角度を自由に変えられる。 斜めから観察する感覚で、 異物の高さとプローブの高さを合わせやすい。 ✓プローブの高さ方向の距離感がわかる ✓低倍率・高倍率の切り替えが可能 ✓長時間の作業でも疲れにくいエルゴノミック設計 ✓製品側面へのアプローチも容易 〇システム構成例 システム 名称 型式 Mantis Elite ヘッド MEH-001 異物 〇顕微鏡 製品 Mantis Elite ロープロファイルベンチスタンド MBS-202 Elite 対物レンズ x4 MEO-004 製品側面に付着した異物のサンプリング Elite 対物レンズ x8 MEO-008 〇マイクロ マイクロマニピュレータ UMM-3FC マニピュレータ ボールジョイント B-8B (成茂科学器械研究所) インジェクションホルダー HI-9 マグネットスタンド GJ-8 一般的な光学顕微鏡観察イメージ Mantis観察イメージ 鉄板 IP プローブの高さがわかりにくい プローブの高さがわかる ※他社製マイクロマニピュレータも使用可能です FIBリフトアウト対応可能高倍率モデル Lynx EVO + MMO-203/MMO-4 ✓幅広いズームレンジ(10:1) ✓各種オプション追加可能 デジタルカメラ / 透過証明 / 360°回転ビューア 〇システム構成例 システム 名称 型式 〇顕微鏡 Lynx EVOヘッド EVH001 Lynx EVO 10:1ズームユニット EVZ040 エルゴスタンド EVB010 Lynx EVO LEDリング照明 EVR050 コントロールPSU EVP070 Lynx EVO対物レンズ x1.0 EVL100 〇マイクロ マイクロマニピュレータ MN-4 マニピュレータ MMO-4 ( ジョイスティック タイプ ) (成茂科学器械研究所) 三次元油圧マイクロマニピュレータ または MMO-203 ( 3軸ハンドル タイプ ) インジェクションホルダー HI-9 特注マグネットスタンド 特注 鉄板 IP ※他社製マイクロマニピュレータも使用可能です 詳細 機器の詳細につきましてはお近くの日本ヴィジョン・エンジニアリング営業所 弊社のホームページをご覧ください または販売店にお尋ね下さい。また、ホームページでもご覧頂けます。 カタログやデータシートに記載されている製品の仕様につきましては、改良の為 www.visioneng.jp 予告なく変更される場合があります。予めご了承下さい。