1/26ページ
カタログの表紙
カタログの表紙

このカタログをダウンロードして
すべてを見る

ダウンロード(20.3Mb)

超音波 洗浄機・応用機器・計測機器 総合カタログ

製品カタログ

【掲載内容】
・超音波洗浄機
・超音波応用機器
・超音波計測機器
・超音波振動子
・オプション品
・会社概要

このカタログについて

ドキュメント名 超音波 洗浄機・応用機器・計測機器 総合カタログ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 20.3Mb
取り扱い企業 本多電子株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

この企業の関連カタログ

この企業の関連カタログの表紙
超音波映像装置 HA-60A
製品カタログ

本多電子株式会社

このカタログの内容

Page1

0311総合カタログ(第3版)

お客様相談窓口 産業機器事業部 メンテナンスのご依頼 カスタマーサービスセンター TEL(0532)41-2582 〒441-3193 愛知県豊橋市大岩町小山塚20 本多電子株式会社 カスタマーサービスセンター FAX(0532)41-2996 製品情報、展示会情報や貸出機依頼など WEBサイトで最新情報をご覧いただけます。 www.honda-el.co.jp 本多電子 検索 超音波 洗浄機・応用機器・計測機器 総合カタログ ISO 9001認証取得 ISO 14001認証取得 本       社 〒441-3193 愛知県豊橋市大岩町小山塚20 TE(L 0532)41-2511(代) FAX(0532)41-2093 ● 産 業 機 器 事 業 部 中 部 営 業 所 〒441-3193 愛知県豊橋市大岩町小山塚20 注)東京・大阪営業所および駐在員事務所は ご使用に際して   ISO9001およびISO14001の適用範囲外です。 TE(L 0532)41-2515(直) FAX(0532)41-2923(直) 東 京 営 業 所 〒107-0052 東京都港区赤坂9丁目6-28(アルベルゴ乃木坂404号) カタログに記載されている仕様内容(特性、定格、仕様範囲等)を逸脱されて TE(L 03)3479-4148(代) FAX(03)3423-1795 ご使用になると、人身事故・火災事故・社会的損失等を生じる恐れがあります。 ご使用方法につきましてご不明な点がありましたら、当社担当までお問い合わ 大 阪 営 業 所 〒532-0003 大阪市淀川区宮原4丁目1-45(新大阪八千代ビル3F) せくださるようお願い致します。また、製品をご使用されたことにより、第三 TE(L 06)6399-6073(代) FAX(06)6399-6083 者の知的財産権に関わる問題が発生した場合は、当社製品の構造・製法に直接 関係するもの以外につきましては、その責任を負いませんのでご了承下さるよ バ ン コ ク Room 11, 2 Jasmine Bldg., 12 Fl., Soi Sukhumvit 23(Prasanmitr), うお願い致します。 駐在員事務所 Sukhumvit Rd., North Klongtoey, Wattana,Bangkok, Thailand 10110 カタログ上の注意 TEL: +66-2-612-7311 FAX: +66-2-612-7399 ●このカタログの記載内容は2022年4月1日現在のものです。 ●仕様及び外観は、改良のため予告なく変更されることがありますので、  あらかじめご了承ください。 ●カタログと実際の商品の色とは、印刷の関係で多少異なる場合があります。 ●このカタログの外形寸法は、突起部を除いた寸法です。 至岡崎 瀬上 至豊川 1 N 至 ●市役所 蒲 23 瓦町 〈お問い合せ〉 郡 豊橋駅 ●NTT 1 JR 岩屋下 東海道 ●岩屋観音 本線 ●本陣跡資料館 高師口 諏訪神社南 ● 二川駅 愛大 小 松 ● 原 豊橋 伊藤ハム 大岩町小山塚 259 街 道 サイエンス 梅田橋西 コア 植田橋北 ●GS GS● ●出光 GS 豊橋総合 動植物公園 浜道南 ● 至 シンフォニア 浜 ● 豊橋技科大 テクノロジー 松 至田原 ●鉄道をご利用の場合…JR東海道本線二川駅下車 ●自動車をご利用の場合…東名高速道路  ・徒歩約15分  ・豊川ICより約45分  ・タクシー約5分  ・三ヶ日ICより約30分 このカタログは植物油インキで印刷されています。 2022年4月1日(第3版) Printed in Japan
Page2

C O N T E N T S 目次 U L T R A S O N I C i n I N D U S T R I A L F I E L D - 目 次 - 洗 浄 機 器 / 超音波洗浄機器 ………………………………………………………… 4 ・低 超音波洗浄機器 中 Ultrasonic cleaners 低周波・中周波セパレート型 周 WDX シリーズ…………………………………… 10 波 低周波セパレート型 WA シリーズ …………………………………… 12 WSC シリーズ …………………………………… 14 洗 WSC(M)シリーズ ……………………………… 16 浄 機 ソニックモニター 器 / HUS-3 …………………………………………… 17 卓 上 低周波・中周波卓上型 型 減圧超音波洗浄機 WV-231-S1 ……………………………………… 18 WDXシリーズ WAシリーズ WV-231-S1 WTC-404 WTC-404 / WTC-408………………………… 19 ▶ P10 ▶ P12 ▶ P18 ▶ P19 WT-C401 / WTC-600-40 / WTC-1200-40… 20 W-113A ………………………………………… 21 洗 W-113MK-Ⅱ …………………………………… 21 浄 機 高周波 器 流水式洗浄機パルスジェットポイント式 …… 23 / 高 石英振動体型洗浄機 …………………………… 25 周 W-357BM-600 / W-357BM-1200 ………… 25 波 流水式洗浄機パルスジェットライン式 ……… 26 超音波応用機器 ……………………………………………………… 31 Processing tools カッター 応 用 ZO-80Ⅱ ………………………………………… 32 機 流水式洗浄機 石英振動体型洗浄機 高周波超音波洗浄機 ソニックモニター ZO-41Ⅱ ………………………………………… 33 器 W-357-1MPG W-357-1MQG-SKC W-357BM-1200 HUS-3 ZO-40レジン …………………………………… 33 ▶ P23 ▶ P25 ▶ P25 ▶ P17 ウェルダー SONAC-200 …………………………………… 34 SONAC-37 ……………………………………… 35 霧化器 超音波応用機器 HMC-2400 / HMC-2401 …………………… 35 計 測 NEW 機 器 超音波計測機器 ……………………………………………………… 36 Measuring instruments レベル計 HD320 / HD323 ……………………………… 38 HD350-A / HD353-A ………………………… 38 HD1200 シリーズ ……………………………… 39 界面レベル計 超音波カッター 超音波ウェルダー 超音波ミニ溶着器 超音波霧化ユニット 寸 HL2000…………………………………………… 40 法 ZO-80Ⅱ SONAC-200 SONAC-37 HMC-2400 図 測深器 ▶ P32 ▶ P34 ▶ P35 ▶ P35 PS-7 / PS-7FL …………………………………… 41 流量計 HLF800 シリーズ ……………………………… 42 超音波計測機器 超音波振動子 映像装置 HA-60A…………………………………………… 44 オ プ シ ョ ン 超音波振動子 ……………………………………………………………… 45 オプション品 ……………………………………………………………… 48 超音波レベル計 超音波界面レベル計 超音波流量計 HD353-A HL2000 HLF800シリーズ 振動子 ▶ P38 ▶ P40 ▶ P42 ▶ P45 会社概要 ………………………………………………………………………… 50 2 3
Page3

超音波洗浄機一覧 洗 超音波洗浄機一覧 浄 機 超 器 音波 洗浄機器 半導体洗浄 高 / 低・ ★ 石英振動体型 中 周 波 産業用機械部品洗浄 ★ W-357BMシリーズ 超音波洗浄 洗 ● 超音波の“物理的作用”と洗浄液の “化学的作用” を組み合わせることによって、 浄 ★ W-357ライン式 機 器 超音波洗浄は、水や溶剤 洗浄効果を得ています。 / 卓 を超音波により振動させ、 上 ● 物理的作用 ★ WDXシリーズ ★ W-357ポイント式 型 被洗浄物(ワーク)に付 キャビテーション、振動加速度、直進流などが、汚れを剥離、分散、乳化します。 着した微細な塵・汚れな WV-231-S1 ● 化学的作用 どを洗浄する技術です。 洗浄液による化学的作用と、超音波による化学反応促進作用が汚れを溶解、分解します。 洗 浄 WTC-1200-40 機 器 / 高 ★ WAシリーズ 形状 周 低周波洗浄 高周波洗浄 ソニックモニター 波 セパレート型 導 卓上型 ■セパレート型  p10~ ■流水式     p17 入 コ ★ WSCシリーズ 流水タイプ ■卓上型     p18~  ポイントタイプ  p23 ス  ラインタイプ  p26 ト WTC-600-40 文字色 応 ■石英振動体型  p24 単周波数 用 ■バッチ式    p25 ★ WSC(M)シリーズ 機 複数周波数 器 WTC-408 WTC-404 一般洗浄 計 W-113MKⅡ 測 機 器 W-113A WT-C401 低周波 中周波 高周波 寸 法 図 低 28kHz 40kHz 75kHz 160kHz 400kHz 1MHz 超音波周波数 ★振動子ユニット、出力等の選択によって導入コストは変動します 発振モードの種類 マルチ発振モード ●しつこい汚れに適した28kHz、細かい部分 に回り込む45kHz、ダメージの少ないきめ MULTI 細かな洗浄が可能な100kHz。この3周波 オ を順次繰り返し発振することで、定在波に プ 近接2周波切替発振モード 単周波発振モード よる洗浄ムラを防ぎます。 シ 低周波洗浄 高周波洗浄 ●ポンピング作用により、細管内部やスル ●強力なキャビテーションが発生し、頑固 ョ キャビテーションによる衝撃圧が頑固な汚れの洗浄に有効です。 振動加速度、直進流効果でダメージがなくサブミクロンサ ホール基板の洗浄に適します。 な汚れの洗浄に適してます。 ン ダイナショックモジュレーション 頑固な汚れのある金属・機械加工部品の切粉除去洗浄、脱脂洗浄や イズのパーティクル除去が可能なため、(半導体用)シリ DUAL ●キャビテーションの停留を抑制し、遠方 SINGLE ●一定の超音波パワー比率で2周波同時 まで超音波を伝播させます。 プリント基板のフラックス除去などの“一般洗浄”に適しています。 コンウェーハ、ガラスマスク、液晶ガラス基板、ハード 発振し、最適な洗浄力を得る発振方式 ■セパレート型 ディスクなどの“精密/超精密洗浄”に適しています。 DM です。 主に一般産業用として使用します。 FM発振モード パルス発振モード 振動子ユニットの特注対応も可能です。 ●周波数変調による定在波位置の移動で洗 ●単周波の出力変調断続発振により、ソフ FM+AM変調 ■卓上型 ソニックモニター 浄ムラを解消します。 トな洗浄や超音波の減衰を低減する脱気 ●省電力で槽内の超音波を均一化。 F.M. ●キャビテーション発生位置が変化するた PULSE 促進に有効です。  洗浄ムラを軽減し、ワークや液種、液 少量・小物部品の洗浄に適しています。 超音波洗浄機の日常点検に相対値で洗浄機の発振状況を確 め、ワークへのダメージが軽減されます。 FM+AM 深の負荷変動に有効です。 研究室等でのテスト洗浄機としても使用できます。 認します。 4 5 ▼ ▼ ▼ ▼ ▼ ▼ ▼
Page4

産業洗浄には超音波洗浄のほかに噴流洗浄、バブリング洗浄、シャワー洗浄、揺動洗浄、蒸気(ベーパー)洗浄 低・中周波洗浄 洗 浄 などがあります。それぞれの洗浄においてワークの汚れや要求される洗浄の品質により洗浄方法が異なります。 機 器 / 超音波洗浄は次のような特長があります。 低・ ・洗浄品質の均一化 解説 中 周 ・洗浄時間の短縮化 波 ・被洗浄物の全体の洗浄ができる(精密部品や複雑形状部品に優位) キャビテーション ■超音波洗浄機の機種選定方法 液中には無数の気体分子が存在し、20kHzから100kHzほどの強力な 1 2 洗 超音波が液中に照射された時に、正・負の圧力がその気体分子に交互    汚れ 浄 超音波洗浄は汚れの種類に応じて、適切な洗浄液を選定し、 機 にかかります。正の圧力で圧縮された気体分子は、次の瞬間には負の 器 超音波の物理的作用と洗浄液の化学的作用を組み合わせて最大限の洗浄効果を上げるようにすることが重要です。 圧力により激しく膨張します。この繰り返しによって圧縮時に気体分 / 卓 超音波洗浄機の機種選定の際は、以下の項目をご参考にしてください。 ※超音波洗浄機の導入時、どの工程までをシステムとして 子は非常に高い圧力を持ち、その限界で弾けて消滅します。この非常 上 ①洗浄目的/汚れの種類………脱脂、研磨粉、パーティクルの除去など 組み込むのかの決定も重要です。 に大きな衝撃的圧力の発生をキャビテーション現象と言い、泡がはじ 型 『洗浄→すすぎ→乾燥』最低でもこの3工程は必要です。 ②ワークの種類…………………材質、寸法(カゴを使用する場合は、カゴの寸法)など 卓上型であれば「、洗浄」機能しか持たないため、次工程 ける時の衝撃波がワークに作用して、異物を剥離させる作用をキャビ ③超音波洗浄機の形状…………セパレート型、卓上型、石英振動体型、流水式 以降をどのように行うか、検討が必要です。 テーション効果と言います。 負圧部分の移動 キャビテーション 周波数選択 実際に超音波洗浄機を使用する上では、キャビテーションは液深、液 種によっても発生の仕方が変化します。このため、良好な超音波洗浄 洗 浄 周波数 対象の汚れ 用途例 ダメージ 特長 を行うには、これらの管理が不可欠です。例えば、振動面に這うよう 3 4 機 低 28kHz 油系・目に見える 金属部品の脱脂洗浄 大 洗浄エネルギーが大きい為、脱脂などの頑固な汚れの洗浄 にキャビテーションが出ている場合は、超音波が有効に液中に出てい 器 / 大きな汚れ 樹脂の脱脂洗浄 に使用される。洗浄液の効力を助ける役目を果たす。 ないばかりでなく、振動面を痛め(エロージョン※)振動板の劣化を早 高 40kHz ゴミの大きさ 液晶ガラスの受け入れ洗浄 28kHzよりワークへのダメージが少ない為、精密部品の めてしまいます。このような時は、液深を少し変えることで、キャビ 周 波 10μm以上・埃 精密金属部品洗浄 洗浄に使用されることが多い。 テーションが液中に効率良く発生し、効率良い超音波洗浄を行うこと 75kHz ハードディスク洗浄・ 40kHzでワークへダメージが出る場合に使用される事が ができます。 5μm~10μm以上 CSP基板・精密金属部品・ 多い。洗浄エネルギーも比較的大きく、ワークへのダメ 100kHz 光ディスク・HDのヘッド ージも少ない為、最近注目されている周波数。 ※エロージョン [erosion] 120kHz 化合物ウェーハ・ ウェーハなどの受け入れに使用される。ワークへのダメ 超音波のキャビテーション現象(温度5,000K以上、気圧千数百気圧以上局所高 1μm~10μm 応 160kHz ハードディスク ージが少なく、微細な汚れ除去が可能。 温・高圧の発生)で発生した物理力により、アルミニウム等の柔らかい素材の表 用 面が浸食されてしまう現象です。エロージョンの発生量は、超音波の強さに比 機 400kHz 0.2μm~5μm シリコンウェーハ・ パーティクルの除去サイズが幅広く、様々な精密洗浄が 例し、周波数に反比例します。 B 空 空 ガラスウェーハ・ガラス基板 期待されている。 圧力 洞 洞 器  + が が ガラス基板の最終洗浄、 眼にみえないようなパーティクルの除去に使用される。 で つ A き ぶ 1MHz 0.2μm~1μm シリコンウェーハ(回路付き)、 ワークへのダメージも少ない。ウェーハ洗浄では、注目 る れ ガラスマスク を集めている。 P る 0 静圧 高 3MHz 0.2μm以下 シリコンウェーハ(回路付き)・ ガラスマスク 小 1MHzより微細なパーティクル除去の目的で使用される。 0 時間 計 測 機 器 ■超音波洗浄機の形状選定 定在波(洗浄ムラ)について ●セパレート型 ●卓上型 セパレート型の超音波洗浄機は発振器と振動子ユニットで構成されており、 ワンボディーにまとめたコンパクトタイプで設置が簡単です。 超音波を照射すると、液中に周波数に応じた定在波が生じます。λ/2 λ:波長(m) 用途や設備、目的に応じてそれぞれの組み合わせを選ぶことができます。 の整数倍ごとに汚れの良く落ちるところが発生します。(λは1波長) 1波長=音速÷周波数 λ=c─f c:洗浄液の音速(m/s) 汚れが落ちる一方で、ワークにダメージを与えてしまう可能性もあり ( f :周波 数(Hz)  発振器 発振器 ※C…水の場合:1,500m/s ます。定在波の影響をより少なくするため、ワークの揺動や多周波発 振なども考慮します。 40kHzの場合は、 寸 法 発振器 発振器 汚れの落ちやすさとワークへ与えるダメージをバランスよく見極める 1,500,000(㎜/s)÷40,000(Hz)=37.5(㎜)…1波長 図 標準タイプ ヒーター付タイプ 必要があります。 定在波は37.5㎜÷2=約19㎜ つまり、19㎜間隔ごとに汚れの落ちる場所があることにな ●流水式 Nタイプ Fタイプ 高周波超音波を水流にのせて洗浄するタイプです。 音圧分布 0 (λ:1波長) ります。 液面 発振器と投げ込みタイプ振動子ユニ 発振器と振動板タイプ振動子ユニッ λ─ ットの組み合わせです。お手持ちの トの組み合わせです。設備等への組 発振器 音圧の腹 4 洗浄槽で使用できます。 み込み用として使用できます。 ■アルミ箔での比較 音圧の節 ─λ2 従来機 WDX-600-Ⅰ オ 最も音圧が 600W 28kHz 単周波 600W 28kHz/75kHz 同時発振DM 60% プ シ 高い所 ョ ン 発振器 発振器 洗浄液 ●石英振動体型 洗浄槽 石英振動体に超音波を重畳 Sタイプ SHタイプ させて、半導体ウェーハを洗 発振器と専用の洗浄槽の組み合わせ Sタイプにヒーターを装備。温水効 浄します。 振動子 です。設置が簡単ですぐに使用でき 果で、より高い洗浄力が得られます。 ます。 汚れが落ちる最適位置は 液面から ─λ4 + ─λ2 n(n=0,1,2…)ごとに存在する。 6 7 ~ ~
Page5

洗浄システム紹介 洗浄実例/洗浄評価サービスについて 洗 浄 機 洗浄効果をより高めるために、 洗浄実例 器 / 低 特注仕様も承ります!! 当社で行った洗浄テストの実例をご紹介します。 ・中 周 本多電子は、圧電セラミックス材料からボルト締めランジュバン型振動子の生産を自社で行っております。 波 p10 自社設計ならではの特長ある振動子を使用し、お客様のご要望に沿って、振動子ユニットのサイズ・減圧仕様等や特注仕様の WDX-600-Ⅰ 装置などの製作に柔軟に対応することができます。 SS材脱脂の洗浄テスト バルブ組立品脱脂の洗浄テスト 洗 ワーク SS材 ワーク SS材 バルブ組立品  浄 機 目的 脱脂、ゴミ落とし 目的 脱脂、ゴミ落とし 器 洗浄システムご提案フロー 洗浄液 アルカリ性(50℃) 洗浄液 アルカリ性(50℃) / 卓 洗浄機周波数 28kHz、75kHz同時発振(28kHz:50%、75kHz:50%) 洗浄機周波数 28kHz、75kHz同時発振(28kHz:50%、75kHz:50%) 上 型 洗浄時間 20分 洗浄時間 5分、10分 洗浄システム Before After Before After のご提案 納 入 未洗浄 5分洗浄 10分洗浄 洗 浄 機 ワークは何? 洗浄液を選択 装置の仕様は? 器 汚れは? / 再提案 高 周 波 洗浄液の種類と選び方 油汚れがきれいに取り除かれたことを確認できます。 油汚れがきれいに取り除かれたことを確認できます。 種 類 洗浄液 目 的 特 徴 アルカリ性 中 性 脱脂、切粉、ほこり ・不燃性のため火災の心配なし 水 系 スケール除去 ・界面活性剤が主成分 WDX-1200-I p10 酸 性 メッキ前洗浄 ・排水処理が必要 応 ふるいに詰まった研磨剤の洗浄テスト Before After 用 イソパラフィン系 脱 脂 ・引火性があるが発火点が高い 機 炭化水素系 ・安価で再生使用も可能 ワーク ふるい(0.035×325 MESH:網目隙間 0.043mm) 器 ノルマルパラフィン系 フラックス ・毒性が低く人体への影響も少ない 目的 ふるいに詰まった研磨剤除去 フッ素系 ・溶解力が高く、乾燥性も良い ・高価だが再生使用が可能 洗浄液 脱気水(溶存酸素濃度:3.25mg/ℓ) 溶剤系 臭素系 脱脂、切粉、ほこり ・溶解力が高く、乾燥性も良い 洗浄機周波数 28kHz、75kHz同時発振(28kHz:50%、75kHz:50%) ・高価だが再生使用が可能 洗浄時間 10分 アルコール系 ・引火性があるが乾燥性が良い 研磨剤がきれいに取り除かれたことを確認できます。 ・安価 計 測 機 洗浄評価サービスについて 器 ●洗浄テスト 当社ラボルームにて、洗浄テストを行っています。 ●貸出機サービス 装置例 実験設備 弊社製品をご検討いただく際の評価用と して、無料 *1 でお試しいただける貸出機 【超音波洗浄機】 【評価設備】 低周波:28kHz、40kHz 油分濃度計 サービスを行っております。 揺動 オーバーフロー 中周波:75kHz、120kHz  OCMA-555-H(株式会社堀場製作所) 対象機種は、本カタログに下記のマーク 寸 法 高周波:400kHz、1MHz、 マイクロスコープ を記載しています。 図 1.5MHz、3MHz  VHX5000(株式会社キーエンス) 圧力計 貸出機 *1 貸出機返送時の ●オーバーフロー 【チラー】 【評価実績】 送料はお客様の     液循環および洗浄槽の上澄み汚 オリオン機械 RKE750A1-V ・アルミ部品のブラスト加工により付着 あり ご負担とさせて いただきます。 フィルター れを排出するために有効です。 アピステ PCU-SL10000 した研磨材の除去 ・塗装治具の洗浄   ● ヒーター 【脱気装置】 ・アルミ鋳造部品の鋳物砂の除去 オ 発振器 最適液温に設定し洗浄効果を高 ニクニ DTC10S ・レーザー加工部品の炭化物除去 プ める機能です。 ・カバーガラスの研磨後の洗浄 シ ョ フィルター 【溶存酸素計】 ・メッキ工程における脱脂及び洗浄 ン   ●  メトラー Seven 2Go pro S9 液中のゴミを回収し被洗浄物へ 飯島電子工業 ID-150 の再付着を軽減します。 超音波振動子   ● 揺動 ポンプ 洗浄カゴを上下に動かすことに より、洗浄ムラの軽減や汚れの 詳しくは各営業所にお問い合わせください。 本多電子ラボルーム サブタンク ヒーター 振り落としを促します。 8 9 ▲ ▲
Page6

低・中周波洗浄機 低周波・中周波セパレート型 【セパレート型】 洗 浄 機 ® 特許 貸出機 ■振動子ユニット 器 / 均一洗浄とダメージ低減を両立 取得済 あり WDX 自社製ボルト締めランジュバン型振動子を採用 ・低中 シリーズ ソフトな洗浄からハードな洗浄まで、 高効率かつ強力な超音波洗浄を実現 発振器 振動子 周 ユニット 波 用途に合わせた最適な洗浄力が得られます 洗浄用振動子ユニットは電気音響変換効率が高く耐久性に優れた ボルト締めランジュバン型振動子を採用しています。 ご要望に応じて、 減圧などの特注仕様の振動子ユニットを 洗 浄 周波数と出力電力に応じた標準仕様を取り揃えています。 製作致します。 機 ダイナショック○R モジュレーション(DM)方式 器 / DM(DYNASHOCKR○ MODULATIONの略)方式とは、トータル出力パワーが一定の 卓 上 まま、同一振動子から2周波を同時に発振する発振方式です。DM変調度(0~100%) 型 の設定により、2周波の周波数成分比率をコントロールし、ソフトな洗浄からハード N 投込タイプ な洗浄まで、用途に合わせた最適な洗浄力が得られます。 NTYPE 型式 N06-DX1 N12-DX1 N06-DX2 発振器 型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ WDX-600Ⅰ- DM変調度とアルミ箔の簡易評価例 最大許容入力 600W 1200W 600W 洗 公称駆動周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz 浄 WDX-1200Ⅰ- (WDX-600-Ⅰ:超音波出力600W一定にて照射) 有効輻射面(W×D㎜) 350×200 420×300 350×200 機 液面側 外形寸法(W×D×H㎜) 350×200×100 420×300×100 350×200×75 器 材質 ケース:SUS304(特注にてSUS316L対応可) / ■投込タイプ 質量 14㎏ 18㎏ 11㎏ 高 ●使用液温度範囲:5~80℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子  周 振動子側 ●振動子コード長:2.5m(ブレード部2m)+出力コード3.5m ●寸法図 ●P28  波 DM 0% DM 20% DM 40% DM 60% DM 80% DM 100% ソフトな洗浄 ハードな洗浄 F FTYPE 振動板タイプ 型式 F06-DX1 F12-DX1 F06-DX2 応 発振器 型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ 用 ●DM変調度の選択により、槽全体に高い音圧で均一な超音波を発生します。これにより、 最大許容入力 600W 1200W 600W 機 ムラのない洗浄が可能です。 公称駆動周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz 器 有効輻射面(W×D㎜) 350×200 420×300 350×200 WDX-600-Ⅱ 外形寸法(W×D×H㎜) 390×240×83 460×340×83 390×240×57 液面 ■振動板タイプ (配線を含まず) t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ 音圧分布 材質 板:SUS304(特注にてSUS316L対応可) パッキン:EPDM t=3㎜(特注にてバイトン等対応可) 測定 質量 10㎏ 16㎏ 8㎏ ■付属品:押さえ金具2種、パッキン(EPDM)2種、ナット 振動子 ●使用液温度範囲:5~100℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子  ユニット ●振動子コード長:3.5m+出力コード3.5m ●寸法図 ●P28 ●オプション品:振動子カバー 計 測 従来機の音圧分布 DM方式の音圧分布 機 (WDX-600-Ⅰ) 器 ●デジタル制御方式により様々な機能を実現しました。 S STYPE 槽タイプ 最適洗浄の実現    幅広い電源入力    型式 S06-DX1 S12-DX1 S06-DX2 最適な周波数制御と超音波出力の制御により、 電源入力AC200V~AC240Vに対応します。 発振器 型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ 最大許容入力 600W 1200W 600W 安定した超音波洗浄が可能です。 公称駆動周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz 異常診断機能     有効輻射面(W×D㎜) 370×250 500×300 370×250 寸法(W×D×H㎜) 外形: 422×302×405(ゴム足含む) 550×350×402(ゴム足含む) 422×302×405(ゴム足含む) メンテナンス性向上  異常発生時は異常原因がわかるエラーメッ 槽内: 370×250×250(23L) 500×300×250(35L) 370×250×250(23L) オートチューニング機能により、振動子ユニ セージを表示するため、迅速な対応が可能で 寸 ■槽タイプ 材質 槽:SUS304(特注にてSUS316L対応可) 法 ット交換時に、発振器の調整が不要です。 す。 質量 22㎏ 39㎏ 19㎏ 図 ■付属品:フタ ●使用液温度範囲:5~100℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子  モニタリング機能   スイープ機能 ●振動子コード長:3.5m ●寸法図 ●P28 ●オプション品:洗浄カゴ(KG10F、KG11T) ●P48 前面パネル表示器により出力電力が表示され、 DM方式にスイープ発振を付加することによ 超音波洗浄ユニットを管理する指標の1つと り、さらに均一な超音波洗浄が可能です。 なります。 SH SHTYPE ヒーター付槽タイプ 発振器 型式 SH06-DX1 SH12-DX1 SH06-DX2 オ 型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ 発振器 型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ プ シ 発振モード ダイナショックモジュレーション(DM)方式(変調度:0~100%)+スイープ発振 最大許容入力 600W 1200W 600W ョ 定格出力 600W 1200W 600W 公称駆動周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz ン 公称発振周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz ヒーター AC200V 単相 50/60Hz 2kW AC200V 単相 50/60Hz 3kW AC200V 単相 50/60Hz 2kW AC200V~240V AC200V~240V AC200V~240V 有効輻射面(W×D㎜) 370×250 500×300 370×250 電源入力 単相 50/60Hz 1200VA 単相 50/60Hz 2400VA 単相 50/60Hz 1450VA 寸法(W×D×H㎜) 外形: 580×310×406(ゴム足含む) 710×360×405(ゴム足含む) 580×310×406(ゴム足含む) 外形寸法(W×D×H㎜) 330×462×148(ゴム足含む) 槽内: 370×250×250(23L) 500×300×250(35L) 370×250×250(23L) 質量 11㎏ 12㎏ 11kg 材質 槽:SUS304(特注にてSUS316L対応可) ●I/Oインターフェイス リモート機能:超音波発振ON/OFF(接点入力)、出力機能:異常時の警報出力(リレー接点出力:異常時開放) ■ ヒーター付槽タイプ 質量 28㎏ 46㎏ 25㎏ ●出力可変範囲:0~100% ●表示機能:出力電力(W)、DM変調度(%)、エラーメッセージ  ■付属品:フタ ●使用周囲環境:温度:5~40℃、湿度:5~80%(ただし結露無きこと)  ●使用液温度範囲:5~100℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子  ●電源コード長:3.5m ●寸法図 ●P27 ●振動子コード長:3.5m ●寸法図 ●P29 ●オプション品:洗浄カゴ(KG10F、KG11T) ●P48 ※ヒーターは水加熱専用です。水以外でのご使用はお控えください。 ヒーターの電源は別途必要です。 高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】 10 11 ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲
Page7

低周波洗浄機 低周波セパレート型 【セパレート型】 洗 浄 機 ® 超音波洗浄機の新しいスタンダードモデル 型式指定 貸出機 ■振動子ユニット 器 / WA 通信機能の搭載で、日々の管理をサポート 取得済 あり 自社製ボルト締めランジュバン型振動子を採用 ・低 シリーズ 中 高効率かつ強力な超音波洗浄を実現 発振器 振動子 周 ユニット 波 RS485通信機能を搭載 洗浄用振動子ユニットは電気音響変換効率が高く耐久性に優れた RS485通信(MODBUS®プロトコル、RTUモード)により各種設定と動作状況の確認が ボルト締めランジュバン型振動子を採用しています。 ご要望に応じて、 可能です。 減圧などの特注仕様の振動子ユニットを 洗 浄 周波数、出力電力の設定や発振状態の読み出しが可能となり、予防保全に活用可能です。 周波数と出力電力に応じた標準仕様を取り揃えています。 製作致します。 機 器 ※MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。 / 卓 上 超音波発振 警報出力 N NTYPE 投込タイプ 型 ON/OFF 型式 N06-28A N06-40A N12-28A N12-40A 発振器 型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T 最大許容入力 600W 1200W 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz 洗 WA-600-28 出力調整 累積 超音波発振時間 有効輻射面(W×D㎜) 350×200 420×300 浄 WA-600-40 寸法(W×D×H㎜) 350×200×100 350×200×75 420×300×100 420×300×75 機 WA-1200-28 材質 ケース:SUS304(特注にてSUS316L 対応可) 器 WA-1200-40 ■投込タイプ 質量 14㎏ 11㎏ 18㎏ 14㎏ / 発振モード 周波数 ●使用液温度範囲:5 ~ 80℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 高 ●振動子コード長:2.5m(ブレード部2m)+出力コード3.5m ●寸法図 ●P28 周 波 F FTYPE 振動板タイプ 型式 F06-28A F06-40A F12-28A F12-40A 発振モード選択 発振器 型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T 最大許容入力 600W 1200W 応 ステータス 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz 用  通信有効/無効、 有効輻射面(W×D㎜) 350×200 420×300 機  発振ON/OFF、 寸法(W×D×H㎜) 390×240×83 390×240×57 460×340×83 460×340×57 器  エラーメッセージ (配線を含まず) ■振動板タイプ t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ リモートON/OFF 材質 板:SUS304(特注にてSUS316L対応可)  パッキン:EPDM t=3㎜(特注にてバイトン等対応可) 出力電力値 質量 10㎏ 8㎏ 16㎏ 13㎏ グラフ ■付属品:押さえ金具2種、パッキン(EPDM)2種、ナット ●使用液温度範囲:5 ~ 100℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 累積超音波発振時間 ●振動子コード長:3.5m + 出力コード3.5m ●寸法図 ●P28 ●オプション品:振動子カバー 計 測 最適かつ安定した洗浄 メンテナンス性の向上 S STYPE 槽タイプ 機 デジタル制御方式による周波数自動追尾及び 同一仕様振動子ユニットに交換する場合、発 器 型式 S06-28A S06-40A S12-28A S12-40A 定電力出力により、液深・液温・液種・減 振器の調整が不要です。発振器の異常発生時、 発振器 型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T 圧・ワークなどの多様な負荷変動に対して、 原因を診断し、6種類の異常を正面パネルラ 最大許容入力 600W 1200W 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz 最適な周波数と安定した一定出力で超音波発 ンプの点灯パターンにより表示します。 有効輻射面(W×D㎜) 370×250 500×300 振し、最適洗浄が可能です。 寸法(W×D×H㎜) 外形: 422×302×405(ゴム足含む) 550×350×402(ゴム足含む) 槽内: 366×246×248(23L) 500×300×250(最深部)~ 224(最浅部()35L)*1 ■槽タイプ 材質 槽:SUS304(特注にてSUS316L対応可) ドレインバルブ Rc 1/2 Rc 3/4 発振器 質量 22㎏ 19㎏ 39㎏ 34㎏ 寸 法 型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T ■付属品:フタ 近接2周波切替発振(DUAL) FM発振(FM) ●使用液温度範囲:5 ~ 100℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子  図 発振モード 単周波発振(SINGLE) パルス発振(PULSE) ●振動子コード長:3.5m ●寸法図 ●P28 ●オプション品:洗浄カゴ(KG10F、KG11T) ●P48 DUAL,FM 400W 800W 定格出力 SINGLE 600W 1200W PULSE 600W 1200W 公称発振周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz SH SHTYPE ヒーター付槽タイプ AC200V、220V、230V、240Vより選択(注文時) AC200V、220V、230V、240Vより選択(注文時) 電源入力 単相50/60Hz 1200VA 単相50/60Hz 2400VA 型式 SH06-28A SH06-40A SH12-28A SH12-40A アナログ出力 4-20mA電流出力 発振器 型式 WA-600-28T WA-600-40T WA-1200-28T WA-1200-40T インター 接点出力 2点    アラーム出力、発振検出出力 最大許容入力 600W 1200W オ フェース 外部駆動入力 超音波発振ON/OFF(接点入力) 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz プ RS485 通信 MODBUS®プロトコル、RTUモード *1 ヒーター AC200V 単相 50/60Hz 2kW AC200V 単相 50/60Hz 3kW シ ョ 外形寸法(W×D×H㎜) 336×400×125(ゴム足含む) 有効輻射面(W×D㎜) 370×250 500×300 ン 質量 6kg 寸法(W×D×H㎜) 外形: 580×310×406(ゴム足含む) 710×360×405(ゴム足含む) 槽内: 370×250×250(23L) 500×300×250(最深部)~ 224(最浅部()35L)*1 ●DUAL/FM周波数変調幅:中心周波数±1kHz ●出力可変範囲:20 ~ 100% ●出力表示:LEDレベルインジケーター(出力に対応) 材質 槽:SUS304(特注にてSUS316L対応可) ●使用周囲環境:温度:5 ~ 40℃、湿度:5 ~ 80%(ただし結露無きこと) ■ ヒーター付槽タイプ ドレインバルブ Rc 1/2 Rc 3/4 ●電源コード長:3.5m ●寸法図 ●P27 質量 28㎏ 25㎏ 46㎏ 40㎏ ■付属品:フタ ●使用液温度範囲:5 ~ 100℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子  ●振動子コード長:3.5m ●寸法図 ●P29 ●オプション品:洗浄カゴ(KG10F、KG11T) ●P48 ※ヒーターは水加熱専用です。水以外でのご使用はお控えください。 ※ヒーターの電源は別途必要です。 *1 RS485通信により各種設定と動作状況の確認が可能です。 *1 水はけを良くするために傾斜が付いています。 12 13 ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲
Page8

低周波洗浄機 低周波セパレート型 【セパレート型】 洗 浄 機 ■振動子ユニット 器 / WSC FM+AM発振で 型式指定 貸出機 自社製ボルト締めランジュバン型振動子を採用 ・低 シリーズ 中 洗浄ムラ低減と省エネを実現 取得済 あり 高効率かつ強力な超音波洗浄を実現 発振器 振動子 周 ユニット 波 洗浄用振動子ユニットは電気音響変換効率が高く耐久性に優れた FM + AM ボルト締めランジュバン型振動子を採用しています。 ご要望に応じて、 洗 FM変調とは、周波数を変化 FM変調 減圧などの特注仕様の振動子ユニットを 浄 させることで、AM変調は、 周波数と出力電力に応じた標準仕様を取り揃えています。 製作致します。 機 器 出力を変化させることです。 / このFM+AMは、槽内の超 卓 上 音波を均一化し、洗浄ムラ 従来機 FM+AM変調 型 を軽減し、洗浄物、液種や 液深の負荷変動に強いとい AM変調 ※参考図 N NTYPE 投込タイプ う効果があります。 型式 NST-28SC NHP-28SC NST-40SC NHP-40SC WSC28 Standard 省エネ・コンパクト タイプ Standard High-Power Standard High-Power 洗 WSC28 High-Power 浄 発振器 型式 WSC28 Standard WSC28 High-Power WSC40 Standard WSC40 High-Power WSC40 Standard 従来機(当社比)の約1/3の消費電力で、発振器の容積・質量も約1/3です。 機 最大許容入力 600W 1200W 600W 1200W 器 WSC40 High-Power 発振器無調整 公称駆動周波数 28kHz 28kHz 40kHz 40kHz / 有効輻射面(W×D㎜) 350×200 420×300 350×200 420×300 高 同一仕様振動子ユニットに交換する場合、発振器の調整が不要でメンテナンスが容 外形寸法(W×D×H㎜) 350×200×100 420×300×100 350×200×75 420×300×75 周 易です。 材質 ケース:SUS304(特注にてSUS316L対応可) 波 ■投込タイプ 質量 8 ㎏ 14 ㎏ 7 ㎏ 12 ㎏ 幅広い出力可変 ■付属品:押さえ金具2種、パッキン(EPDM)2種、ナット ●最高使用液温:80℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 洗浄・処理目的に応じて幅広いパワーコントロールが可能です。 ●振動子コード長:2.5m(ブレード部2m) + 出力コード3.5m ●寸法図 ●P28 発振器 応 型式 WSC28 WSC40 用 タイプ Standard High-Power Standard High-Power F FTYPE 振動板タイプ 機 発振モード FM+AM変調 器 最大出力(平均出力) 600W(200W) 1200W(400W) 600W(200W) 1200W(400W) 型式 FST-28SC FHP-28SC FST-40SC FHP-40SC 公称発振周波数 28kHz 40kHz タイプ Standard High-Power Standard High-Power AC200~230V 発振器 型式 WSC28 Standard WSC28 High-Power WSC40 Standard WSC40 High-Power 電源入力 単相50/60kHz 最大許容入力 600W 1200W 600W 1200W 300VA 600VA 300VA 600VA 公称駆動周波数 28kHz 28kHz 40kHz 40kHz 外形寸法(W×D×H㎜) 210×250×107(ゴム足含む) 有効輻射面(W×D㎜) 350×200 420×300 350×200 420×300 質量 3.6㎏ 外形寸法(W×D×H㎜) 390×240×71 460×340×71 390×240×57 460×340×57 ●I/Oインターフェース リモート機能:超音波発振ON/OFF(接点入力) (配線を含まず) t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ 出力機能:異常時の警報出力(リレー接点出力:異常時開放/短絡選択可) ■振動板タイプ 材質 板:SUS304(特注にてSUS316L対応可) パッキン:EPDM t=3㎜(特注にてバイトン等対応可) ●出力可変範囲:0 ~ 100% 連続可変 質量 5㎏ 9㎏ 4㎏ 8㎏ 計 ●使用周囲環境:温度:5 ~ 40℃、湿度:5 ~ 80%(ただし結露無きこと)  ●最高使用液温:100℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 測 ●電源コード長:3.5m ●寸法図 ●P27 ●オプション品:I/Oリモートケーブル5m(RK01) ●P48 ●振動子コード長:3.5m + 出力コード3.5m ●寸法図 ●P28 ●オプション品:振動子カバー 機 器 超音波洗浄機 使用上の注意 超音波洗浄機をご利用の際に、正しい使い方をしないと、超音波洗浄装置 洗浄液および廃液の取り扱いについては各種規制や関連法令があります。 寸 そのものが破損あるいは所定の機能が発揮できなくなる恐れがあります。 必ず、それらに従いお取り扱いください。 法 図 ①液深 ②直置き厳禁 ③オプション品の推奨 ④壊れ易い物 ⑤振動面の汚れ ●必ず洗浄槽等へ適切な量の洗浄液を入れてから ●2重槽ビーカーや洗浄物を直接置かないてください。 ●オプション品の洗浄カゴ、 ●きずや割れのある宝石類は、超音波振 ●超音波振動面に汚れが付着す 運転してください。 空焚きや異常な超音波振動となり、故障の原因にな ビーカーラック等を使用 動によってきずや割れが広がる恐れが ると、故障の原因になります。 ●洗浄液は、槽に対し、半分以上入れてください。 ります。 してください。 オプション品を ありますので、使用しないでください。  定期的に清掃をしてください。 ヒーター付の場合は、8割以上入れてください。 使ってください。  また、真珠、ベッコウなども洗浄しな オ プ ●洗浄液が無い状 いでください。 × シ 態(空焚き)や ●腕時計の本体は防水 ョ ン 洗浄液が少ない × × であっても超音波振 状態での使用は 動によって水が入り、 故障の原因にな 故障する恐れがあり ります。 ますので洗浄しない でください。 × 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット ※上記記載以外にも注意等がございますので、必ず取扱説明書を熟読後、ご使用ください。 14 15 ▲ ▲ ▲ ▲
Page9

低周波洗浄機 ソニックモニター 低周波セパレート型 【セパレート型】 ソニックモニター ─洗浄機調整検査・品質管理─ 洗 浄 機 製造ライン、装置組込、 型式指定 貸出機 器 / WSC(M) 省スペース対応の産業用小型洗浄機 取得済 あり SONIC MONITOR 洗浄品質管理の必需品 貸出機 低 3 ・ HUS- 充電式バッテリー搭載で持ち運び可能 あり 中 周 シリーズ 波 特長 センサ ●振動子のサイズをご要望のサイズで製作 洗 できます。 浄 ●入力電圧(100Vまたは200~230V)・ 機 器 超音波周波数(28/40kHz)の組み合わせ / を選択できます。 卓 上 ●外部入力による遠隔操作が可能です。 型 ●24時間の連続運転に対応しています。 WSC28 (M) センサを超音波洗浄機の槽内(または流水)に入れることで、 洗 水槽内部に発生する超音波の強弱をmVで表示します。 浄 WSC40 (M) 機 器 / 高 周 波 発振器 型式 WSC28 (M) WSC40 (M) 対応振動子本数 1本 2本 1本 2本 HUS-3本体 発振モード FM+AM変調 最大出力(平均出力) 60W(20W) 100W(33W) 60W(20W) 100W(33W) 応 公称発振周波数 28kHz 40kHz 用 AC100VまたはAC200~230Vより選択(注文時) 機 電源入力 単相 50/60Hz 器 55VA 100VA 55VA 100VA 外形寸法(W×D×H㎜) 210×250×107(ゴム足含む) 質量 3.6㎏ ●I/Oインターフェース リモート機能:超音波発振ON/OFF(接点入力) 出力機能:異常時の警報出力(リレー接点出力:異常時開放/短絡選択可) ●出力可変範囲:0 ~ 100% 連続可変 専用ケース ●使用周囲環境:温度:5 ~ 40℃、湿度:5 ~ 80%(ただし結露無きこと) ●電源コード長:3.5m ●寸法図 ●P29 ●10kHz(低周波)~5MHz(高周波)の幅広い周波数に対応しています。 ●オプション品:I/Oリモートケーブル5m(RK01) ●P48 ●充電式バッテリー搭載により、さまざまな場所で使用できます。 計  (約10時間使用可能) 測 機 振動子ユニット 石英ガラスセンサ ●センサの先端を液中に入れるだけで確認できます。 器 型式 振動板タイプ・槽タイプ( 開放型) 投込タイプ( 非開放型) 最高使用液温 100℃ 80℃ 振動子コード長 6.5m以下 振動面材質 冷間圧延ステンレス鋼、ハステロイ等*1 ポイントセンシング 振動面板厚 2.0、2.5、3.0、4.0mm*2 本体 カバー 表面処理 発注時オプションで硬質クロムメッキ処理可能 公称駆動周波数 28kHz または 40kHz 型式 HUS-3 振動子本数 1本 または 2本 周波数特性 10kHz~5MHz 最大許容入力 60W/1本 または 100W/2本 電源入力 専用リチウムイオン電池 寸法 個別対応 DC14.8V 1.5W 寸 測定レンジ 10mV / 50mV / 100mV / 500mV *1 特殊材料の場合は、お問合わせください。 法 *2 2mm未満の薄板は形状により対応可能です。 メータ指示値 センサ検出電圧(mV)  rms 図 外形寸法(W×D×H㎜) 179×132×55 質量 640g(電池挿入時) ※確認する場所を絞るための ■付属品:充電用ACアダプタ  カバーです。 振動板タイプ 投込タイプ      専用リチウムイオン電池(HBP-001)  (ストレートタイプ専用) ●使用温度範囲:5~40℃ ※ポイントセンシングカバー SUSセンサ ●充電用ACアダプタ:電源入力AC100~240V 50/60Hz  の脱着は弊社まで御依頼く ●オプション品:ポイントセンシングカバー(PS01)、充電スタンド(JS01) ●P48  ださい。 センサ 型式 HUS-5 SPS HUS-5 SPL HUS-5 SUS HUS-5 SUL オ 形状 ストレートタイプ L型タイプ ストレートタイプ L型タイプ プ 材質 石英ガラス SUS316L シ ョ 全長(㎜) 340 260(L型部 80) 340 260(L型部 80) ン ※センサの形状は、ストレート 質量 80g 140g タイプとL型タイプのいずれ 使用できない洗浄液 加熱された強アルカリ、熱リン酸、 かの選択が可能です。 フッ化水素酸 全ての酸 ●使用液温範囲:0~70℃ ●コード長:1.5m ※本機は校正できません。 ※本機の値は絶対値ではありません。相対的な値で管理いただく機械です。 ※常時取り付けのご使用は故障の原因となります。 16 17 ▲ ▲ ▲
Page10

卓上型洗浄機 卓上型 洗 浄 減圧超音波洗浄機 機 WV-231-S1 減圧機能を搭載(水系専用) 型式指定 貸出機 取得済 あり WTC-404 4つの発振モードを搭載 器 型式指定 貸出機 / ムラを抑えた強力な洗浄を実現 取得済 あり 低 中・ ●従来の超音波洗浄機では、洗浄しきれなかった微細孔・袋穴の洗浄ができます。 WTC-408 周 波 ●超音波洗浄機の洗浄要素であるキャビテーションがパワーアップされます。 用途によって選べる洗浄モード ●減圧と常圧を自動で繰り返すため、汚れの剥離がスピーディーです。 用途に合った洗浄モードをお選びいただくことで、安定した洗浄パフォーマンスを発揮します。 ●減圧サイクルを2種類から選択できるようになりました。 洗 型式 WV-231-S1 浄 発振モード 単周波発振 STANDARD POWERFUL 機 器 定格出力     200W / 公称発振周波数 40kHz 洗浄ムラの少ない洗浄が行えます。 超音波を集中させることで、ガンコ 卓 電源入力 AC100V 50/60Hz 500VA POWERFULとMULTIモードの両方 な汚れを落とすのに適しています。 上 寸法(W×D×H㎜) 外形: 382×367×440(ゴム足含む)  槽内: 280×220×254(12L) の特長をバランスよく備えています。 型 ドレインバルブ Rc 1/2 質量 35㎏ ●最高使用液温:70℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子  ●タイマー:0~60分(1分単位) ●減圧性能:パターン①最大-80kPa パターン②最大-75kPa(アナログメータ付)※液深によって変わります   ●減圧/常圧切替:パターン①1サイクル減圧90秒/常圧15秒(表示LEDが点灯) WTC-404 MULTI BURST 洗          パターン②1サイクル減圧45秒/常圧15秒(表示LEDが0.5秒間隔で点滅)  浄 ●電源コード長:2m ●材質:槽:SUS304 フタ:SUS304 隠れた場所の汚れを効果的に落とす 超音波を間欠発振する事で、省エネ 機 ●オプション品:洗浄カゴ(KG15F)、ビーカーラック(BR06)、ビーカー(BR02) ●P48 精密洗浄に適しています。 を重視した洗浄が行えます。 器 / 高 ■減圧超音波洗浄のメリット 周 袋穴部品 波 大気圧 減圧(排気) 復圧 機能性を兼ね備えたシンプルデザイン 排水バルブ・電源コードの突起がないスッキリとしたフォルムのため設置場所の 無駄がありません。スイッチ・電源コードは背面にあるため水がかかりにくいデ ザインです。 応 用 機 大気圧で浸潰させると 槽内を減圧すると、 次に槽内を復圧すると減圧の エアポケットの内部が エアが膨張してポ エアポケット内には洗浄液が充 器 洗浄液に触れていませ ケット内から抜け 填され、エアポケットの内部ま ん。 ます。 でムラなく洗浄できます。 WTC-408 密着部品 大気圧 減圧(排気) 復圧 計 測 機 ボタン操作で簡単モード切替え 器 密着した板状ワークの隙間に 槽内を減圧して超音波発 十分に密着から開放され は洗浄液が入り込みづらく、 振すると、液全体に高密 たワーク同士の隙間は、 タイマー・出力・温度の調整もシンプルな 超音波でも密着面を引きは 度な気泡が無数に発生し、 超音波本来のキャビテー がすのに時間がかかり、洗浄 密着面の隙間を広げるこ ション効果によって強力 ボタン操作で簡単に設定ができます 効果が期待できません。 とができます。 に洗浄できます。 ■洗浄データ <ガラス板(100×100×19t) 止まり穴洗浄実験> 洗浄前 洗浄後 寸 法 図 φ2.5×12mm φ2.0×12mm 減圧あり φ1.5×10mm φ1.0× 8mm φ0.5× 4mm 型式 WTC-404 WTC-408 (10mmピッチ) 発振モード AM+FM 4モードから選択可能(STANDARD / POWERFUL / MULUTI / BURST) 出力 最大値: 420W 840W 平均値: 140W 280W オ 公称発振周波数 40kHz 洗浄前 洗浄後 プ 電源入力 AC100V 50/60Hz 450VA AC100V 50/60Hz 900VA シ ヒーター 250W 500W ョ 寸法(W×D×H㎜) 外形: 339×365×327(取手、ゴム足含む) 544×425×402(取手、ゴム足含む) ン 槽内: 300×240×150(10.5L)*1 505×300×200(29.5L)*1 ドレインバルブ Rc3/8、ホースニップル付(外径Φ14) 減圧なし 質量 9kg 15kg ■付属品:スノコ ●使用液温範囲:5℃~ 65℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 ●出力可変範囲:25%~100% ●タイマー:0~99分(1分単位) ●ヒーター制御温度範囲:30℃~60℃(10℃単位) ●電源コード長:2m ●槽材質:SUS304 ●オプション品:洗浄カゴ(KG06F、KG07F)、フタ(FT03、FT04)、 *2          ビーカーラック(BR03、BR04)、ビーカー(BK02) ●P48 ※擬似汚れは水溶性インクを使用しています。 *1 上部寸法です。槽はテーパーが付いています。 ※洗浄結果は条件により異なる場合があります。 *2 洗浄カゴとフタは同時に使用することができません。 18 19 ▲ ▲
Page11

卓上型洗浄機 洗 浄 機 WT-C401 ワンタッチでシンプルな小型洗浄機 型式指定 貸出機 3周波マルチ発振方式の 貸出機 器 / 取得済 あり W-113A コンパクトタイプ あり 低 中・ 周 ●洗浄の条件変化による出力の変動を抑える回路の搭載により、 ●マルチ発振方式により、定在波による洗浄ムラを防ぎます。 波  安定した洗浄が行えます。 ●3つの周波数の発振時間を任意に設定できます。 ●周波数と出力の両方に変調をかけた発振方式により、 ●ワークの材質・汚れに応じた周波数を選択できます。  より均一な洗浄が行えます。 洗 浄 型式 W-113A 機 型式 WT-C401 発振モード 単周波発振/3周波順次切替発振 器 発振モード FM+AM変調 定格出力 100W / 最大出力(平均出力) 75W(25W) 公称発振周波数 28kHz、45kHz、100kHz 卓 公称発振周波数 40kHz 電源入力 AC100V 50/60Hz 200VA 上 電源入力 AC100V 50/60Hz 40VA 寸法(W×D×H㎜) 外形: 290×208×249(ゴム足含む) 型 寸法(W×D×H㎜) 外形: 243×196×184(ゴム足含む) 槽内: 240×140×100(3L)*1 槽内: 170×100×80(1.3L)*1 ドレインバルブ 内径φ6、外径φ12 ピーコック型 質量 2.3㎏ 質量 4.4㎏ ●最高使用液温:60℃ ■付属品:フタ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 ●最高使用液温:80℃  洗 ●タイマー:5分/10分 ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 ●電源コード長:1.5m ■付属品: ●タイマー:トータル洗浄時間:1 ~ 30分(1分単位)、各周波数設定時間:1 ~ 99秒  浄 ●材質:本体・フタ:PP(ポリプロピレン) 槽:SUS304 機  ビーカーラック ●電源コード長:2m  ●オプション品:洗浄カゴ(KG02)、ビーカー(BK01) ●P48  フタ・スノコ ●材質:本体・フタ:PP(ポリプロピレン) 槽:SUS304  器 ●材質: ●オプション品:洗浄カゴ(KG03F)、ビーカーラック(BR01)、ビーカー(BK02) ●P48 / *1 上部寸法です。槽はテーパー、コーナーにRが付いています。 高  PP(ポリプロピレン) 高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】 周 波 *1 上部寸法です。槽はテーパーが付いています。 応 用 機 器 WTC-600-40 大型部品の洗浄ができます 型式指定 貸出機 W-113 MK-Ⅱ 近接2周波爆洗モードが 計 型式指定 貸出機 測 機 WTC-1200-40 手を触れずに簡単操作 取得済 あり しつこい汚れに効果を発揮 取得済 あり 器 ●FM(周波数変調)+AM(出力変調)を採用。 洗浄ムラを軽減し、高効率の省エネタイプ。 ●爆洗モードで使用すると、瞬間的に大きなエネルギーと高次振動が発生し、 ●操作部に光電式センサ&音声ガイドを採用。濡れた手や汚れた手でも本体に触ることなく、音声 効率の良い洗浄効果が得られます。 ガイドにそって簡単に操作できます。 ●細管内部の洗浄やスルホール基板の洗浄が可能です。 ●ドレインバルブ以外にもオーバーフロー用ドレイン取付穴により、循環システムへの拡張が容易 にできます。 型式 W-113MK-Ⅱ 寸 発振モード 単周波発振/高速切替発振(爆洗) 法 定格出力     110W 図 型式 WTC-600-40 WTC-1200-40 公称発振周波数 24kHz、31kHz 発振モード FM+AM変調 電源入力 AC100V 50/60Hz 200VA 最大出力(平均出力) 600W(200W) 1200W(400W) 寸法(W×D×H㎜) 外形: 290×208×249(ゴム足含む) 公称発振周波数 40kHz 槽内: 240×140×100(3L)*1 電源入力 AC100V 50/60Hz 300VA AC200V~230V 単相 50/60Hz 600VA 質量 4.4㎏ 寸法(W×D×H㎜) 外形: 600×410×472(ゴム足含む) 800×460×472(ゴム足含む) ■付属品:フタ 槽内: 400×350×272( 40L)*1 610×400×268(69L)*1 ●最高使用液温:80℃  ドレインバルブ Rc 3/4 Rc 1 ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 ●タイマー:1~99分(1分単位) 質量 28㎏ 40㎏ ●電源コード長:2m  オ ●使用液温度範囲:5 ~ 80℃ ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 ●材質:本体・フタ:PP(ポリプロピレン) 槽:SUS304  プ ●出力可変範囲:約0 ~ 100% 連続可変 ●タイマー:10分/20分/30分/連続 ●オプション品:洗浄カゴ(KG03F)、ビーカーラック(BR01)、ビーカー(BK02) ●P48 シ ●操作スイッチ:光電式センサによりON/OFF(音声ガイド付) ●電源コード長:3.5m ●槽材質:SUS304  ョ ●オプション品:洗浄カゴ(KG08T、KG09T)、フタ(FT05、FT06)、*2 架台(DA01、DA02) ●P48 *1 上部寸法です。槽はテーパーが付いています。 ン *1 水はけを良くするために傾斜が付いています。 *2 洗浄カゴとフタは同時に使用することができません。 20 21 ▲ ▲ ▲ ▲
Page12

高周波洗浄機 高周波洗浄 流水式洗浄機パルスジェットポイントタイプ 洗 主にウェーハやハードディスクを洗浄するために、ノズル先端から放射された流水に超音波を重 浄 機 畳させて被洗浄物の洗浄をするポイントタイプの流水式超音波洗浄機です。放射された流水は超 器 音波の伝播と同時に超音波作用で剥離した汚れの輸送媒体として機能します。流水式のためパー / ティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特長があります。用 低・ 解 説 途・使用液に合わせて豊富なバリエーションから選択できます。 中 周 波 流水式洗浄機 W-357-1MPG パーティクルの再付着を抑えて 貸出機 あり ■粒子加速度による洗浄 パルスジェット洗浄前後でのパーティクル量の変化 加速度による超音波洗浄は、水分子が 微細な汚れを洗浄します。 洗 浄 機 加速されワークにぶつかり、その衝撃 ワークサイズ (x1,000個) Before 器 によりワークからパーティクルを剥離 ●デジタル制御方式により、様々な機能を実現しました。 / 300×300×1.1㎜ 2.5 卓 させます。周波数が高ければ高いほど 上 効果があり、付着力の弱い非常に微細 発振器無調整 異常検出機能 2 型 なパーティクルの剥離に有効です。加 測定エリア 同一仕様振動子標準ノズルに交換する場合、発 発振器とノズルの異常状態をアラーム出力 粒 速度は周波数の倍数の2乗に比例して大 280×280㎜  子1.5 振器との調整が不要でメンテナンスが容易です。 により監視が可能です。 数 ケーブルの断線/短絡、電力異常、過電流、振 きくなり、波長も小さくなって、より 素ガラス両面 幅広い電源入力 動子インピーダンス異常、流水の不足が検 微細なパーティクルに対して有効です。 1 洗 電源入力AC100V~240Vに対応しています。 出可能です。 浄 機 0.5 器 振動子 定電力発振 出力監視 / 0 振動子の駆動周波数は、振動子の電圧・電流の位 RS422Aに対応し、外部出力可変が可能で 高 1 2 3 4 5 6 7 8 9 周 相を一定にするよう追従します。振動子への供 す。電力出力値を4-20mAでも出力します。 波 給エネルギーを一定にするため定電力で制御し 2 After ます。水温、周囲温度の変化に対応し、安定した 粒 超音波を発振します。 子1.5 数 パーティクルサイズ 標準ノズル 1 応 水の粒子 発振器 S:3.0~ 5.0μm 型式 W-357-1MPG 用 M:5.0~10.0μm 0.5 発振モード 単周波発振 機 L:10.0μm~ 定格出力  40W 器 公称発振周波数 1MHz 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 電源入力 AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA 基板番号 外形寸法(W×D×H㎜) 180×250×100(ゴム足含む) 質量 2.2㎏ ●出力可変範囲:0W~40W ●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:10~85% 石英振動体型洗浄機 ●外部駆動用接点の定格:超音波発振制御(制御側) 接点入力:DC12V 18mA以上 警報用出力(本器)接点容量:DC24V 0.5A ■付属ケーブル:電源コード(AC100V/2m、AC200V/3mから選択) 制御コード(5m)×4 計 ■低ダメージ、高クリーン度を実現する次世代洗浄 W-357-IMQB-SKタイプの音圧分布 測 2006年に本多電子は世界初となる石英振動体型超音波洗 振動子標準ノズル 機 浄ユニットを開発しました。本方式では、石英振動体に超 型式 W-357-1MPGノズル 器 流量 0.9L/min 音波を重畳させて半導体ウェーハを洗浄します。バッチ式 外形寸法 φ25×78㎜ や流水式に比べて薬液使用量を削減できること、接液部が 吐出口寸法 φ4㎜ 質量 300g 石英ガラスのみで、クリーンであることなどの特徴があり ●使用液温度範囲:20~50℃ ●振動子:PZT ます。また、石英振動体の形状を変えることにより低ダ ●材質:ノズル:PCTFE、PTFE パッキン:パーフロ 振動板:特殊セラミックス ●給液口:適合チューブ(外径 φ6) ●コード長:出力コード5m メージ洗浄や大面積洗浄、洗浄しにくいベベル(端面)や ノッチ(ウェーハ端面の切欠き)部分の洗浄など、ニーズ 寸 に応じた効果的な洗浄を行うことが可能になります。 Magnitude 法 0dB = 10m/s CE対応ができます。 別途、お問い合わせください。 図 -55 -50 -45 バッチ式洗浄機 ■半導体ウェーハのバッチ処理洗浄 半導体ウェーハをMHz帯の超音波洗浄槽に入れて複数枚同時に洗浄する オ 方式です。この方式は、 プ (1)一度に多くのウェーハを洗浄できるので時間短縮に繋がる、 シ ョ (2)枚葉式と比べて洗浄液が比較的少なくてすむ、 ン (3)二重槽など薬液の使用が容易などの理由から主流になっています。 通常、バッチ式にて薬液を使用する時には、洗浄槽と石英槽の二重構造と して間接的に照射するディップ式洗浄が多く用いられています。また、石 英槽を使用することで、金属イオンや不純物の溶出を避け、クリーン度を 保つ効果も得られます。 しかし、バッチ式洗浄は、基板の大型化による装置の大型化や、基板パター ンの微細化に伴いパーティクルの再付着が問題として提示されています。 22 23
Page13

高周波洗浄機 石英振動体型洗浄機 洗 W-357-1.5MPG ●1.5MHzの高周波で微細なパーティクルを除去します。RS422Aにより通信が可能です。 貸出機 浄 あり 発振器 W-357 微細化パターンのウェーハを 機 特許 貸出機 器 型式 W-357-1.5MPG 取得済 あり / 低 発振モード 単周波発振 低ダメージで洗浄 ・ 定格出力  40W 中 公称発振周波数 1.5MHz -1MQG-SKC ●振動子冷却機構付きのため標準品に比べ最大出力が2.4倍へアップ 周 電源入力 AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA 波 外形寸法(W×D×H㎜) 180×250×100(ゴム足含む) ●振動子を冷却する事により周波数変動が無く安定した連続運転が可能 質量 2.2㎏ ●【振動子】冷却により振動子の急激な温度変化が無いため、長寿命 ●出力可変範囲:0W~40W ●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:10~85% 発振器 振動体ノズル ●外部駆動用接点の定格:超音波発振制御(制御側)             接点入力:DC12V 18mA以上 警報用出力(本器)接点容量:DC24V 0.5A 型式 W-357-1MQG-SKC 型式 W-357-1MQG-SKC-TD 洗 ■付属ケーブル:電源コード(AC100V/2m又はAC200V/3mから選択) 制御コード(5m)×4 発振モード 単周波発振 流量 指定なし 浄 定格出力 12W 全長 159㎜ 機 振動子ノズル 公称発振周波数 1MHz チャック部寸法 φ24㎜ 器 型式 W-357-1.5MPG-TD 電源入力 AC100~240V 照射面積 24㎠ / 流量 0.9L/min(ストレート継手) 単相 50/60Hz 300VA 質量 600g 卓 外形寸法 29×34×92㎜ 外形寸法(W×D×H㎜) 180×250×100(ゴム足含む) 上 ●使用液温度範囲:20~50℃ ●振動子:PZT 型 吐出口寸法 φ4㎜ 質量 2.2㎏ ●材質:振動体:石英ガラス パッキン:シリコーンゴム 質量 300g ●出力可変範囲:0W~12W     ケース:PCTFE  (振動体の許容入力:振動子冷却のエアパージ使用時は連続10W) ●コード長: 出力コード1.5m+中継コード3.5m ●使用液温度範囲:20~50℃ ●振動子:PZT  ●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:10~85% ●エアパージ用継手:適合チューブ(外径 φ6) ●材質:ノズル:PCTFE、PTFE パッキン:パーフロ 振動板:タンタル ●外部駆動用接点の定格:超音波発振制御(制御側)接点入力:DC12V 18mA以上 ●給液口:適合チューブ(外径 φ6) ●コード長:出力コード5m             警報用出力(本器)接点容量:DC24V 0.5A 洗 ■付属ケーブル:電源コード(AC100V/2m又はAC200V/3mから選択)、制御コード(5m)×4 浄 ※2MHz、3MHzも特注仕様にて対応致します。 機 器 / 高 周 W-357-3MPG ●3MHzの採用でさらに細かいパーティクルを除去し、ダメージを抑えます。 貸出機 波 あり 発振器 セパレート型バッチ式 型式 W-357-3MPG 発振モード 単周波発振 定格出力  40W W-357BM 超音波でサブミクロンの 貸出機 公称発振周波数 3MHz 電源入力 AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA あり 応 外形寸法(W×D×H㎜) 180×250×100(ゴム足含む) シリーズ パーティクルを除去します 用 質量 2.2㎏ 機 ●出力可変範囲:0W~40W ●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:10~85% ●デジタル制御により、安定した発振が可能です。 器 ●外部駆動用接点の定格:超音波発振制御(制御側) ●多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能です。             接点入力:DC12V 18mA以上 警報用出力(本器)接点容量:DC24V 0.5A ■付属ケーブル:電源コード(AC100V/2m又はAC200V/3mから選択) 制御コード(5m)×4 発振器 型式 W-357BM-600 W-357BM-1200 振動子ノズル 発振モード 単周波発振 型式 W-357-3MPG-TD 定格出力 600W 1200W 流量 0.9L/min(ストレート継手) 出力可変範囲 100W~600W 200W~1200W 外形寸法 29×34×92㎜ 公称発振周波数 1MHz W-357BM-600 吐出口寸法 φ4㎜ 電源入力 AC200~240V AC200~240V 計 単相 50/60Hz 1200VA 単相 50/60Hz 2400VA 質量 300g 測 表示 VFD(蛍光表示管) 16文字 x 2行 ●使用液温度範囲:20~50℃ ●振動子:PZT アナログ出力 4-20mA電流出力 機 ●材質:ノズル:特殊セラミックス、PCTFE パッキン:バイトンゴム、シリコーンゴム 振動板:特殊セラミックス インター 接点出力 3点  アラーム出力、発振検出出力、電源ON出力 器 ●給液口:適合チューブ(外径 φ6) ●コード長:出力コード5m フェース 外部駆動入力 2点  センサ入力、リモート入力      RS485通信 MODBUS®プロトコル、RTUモード 外形寸法(W×D×H㎜) 220×360×143(ゴム足含む) 360×360×143(ゴム足含む) 質量 5㎏ 7㎏ ●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:5~80%(ただし結露無きこと) ●電源コード長:3m ●寸法図 ●P27 高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】 ※MODBUSは、シュナイダーエレクトリック W-357BM-1200  ユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。 W-357-04PG ●ウェーハのCMP後の洗浄、産業用レンズの研磨剤除去など、 貸出機 FTYPE 振動板タイプ  中周波数(400kHz)で様々な精密洗浄に使用されています。 あり ■振動子ユニット 型式 W-357BM-600F W-357BM-1200F 寸 発振器 型式 W-357BM-600 W-357BM-1200 法 発振器 最大許容入力 600W 1200W 図 公称駆動周波数 1MHz 型式 W-357-04PG 有効輻射面(W×D㎜) 135×160 272×154 発振モード 単周波発振 F 外形寸法(W×D×H㎜)(配線、配管を含まず) 250×220×68 355×245×68 定格出力  80W 材質 板:SUS316L 表面電解研磨 公称発振周波数 400kHz 質量 3.3㎏ 7㎏ 電源入力 AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA 対応ウェーハサイズ 6 inch 8 inch 外形寸法(W×D×H㎜) 180×250×100(ゴム足含む) 振動子コード長 5m 5m×2 質量 2.2㎏ ●接液部材質:振動板:SUS316L ●使用液温度範囲:5~80℃ ●振動子:PZT ●寸法図 ●P29  ●出力可変範囲:0W~80W ●使用周囲環境:温度:5~40℃ 湿度:10~85% ■振動板タイプ オ ●外部駆動用接点の定格:超音波発振制御(制御側) 槽タイプ             接点入力:DC12V 18mA以上 警報用出力(本器)接点容量:DC24V 0.5A STYPE プ ■付属ケーブル:電源コード(AC100V/2m又はAC200V/3mから選択)、制御コード(5m)×4 S 型式 W-357BM-600S W-357BM-1200S シ 発振器 型式 W-357BM-600 W-357BM-1200 ョ 振動子ノズル 最大許容入力 600W 1200W ン 公称駆動周波数 1MHz 型式 W-357-04PG-TD 有効輻射面(W×D㎜) 135×160 135×160 2 ヶ所 流量 4L/min 外形寸法(W×D×H㎜)外形: 302×296×372 496×336×372 外形寸法 60×69×134㎜ 槽内: 248×236×252 442×276×252 吐出口寸法 φ8㎜ 材質 槽:SUS316L パッキン:バイトン、PTFE 質量 700g ドレインバルブ Rc 1/2 ●使用液温度範囲:20~50℃ ●振動子:PZT  ■ 槽タイプ 質量 11.6㎏ 18㎏ ●材質:ノズル:PP(ポリプロピレン)、特殊セラミックス パッキン:シリコーンゴム 振動板:タンタル 対応ウェーハサイズ 6 inch 6 inch×2 ●給液口:適合チューブ(外径 φ13) ●コード長:出力コード5m ※ご要望に応じて、特注振動子ユニットの製作も承ります。 振動子コード長 5m 5m×2 ・最大許容入力:600W/1200W/1800W/2400W ●接液部材質:振動板、槽:SUS316L パッキン:PTFE 給水/排水用ニップル:SUS304  高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】         3000W/3600W ●使用液温度範囲:5~80℃ ●振動子:PZT ●寸法図 ●P29       ・対応ウェーハ:6インチ/8インチ/12インチ 24 25 ▲ ▲ ▲
Page14

寸法図 一覧 流水式洗浄機パルスジェットラインタイプ Outline Drawing 【洗浄】 寸法図 一覧 洗 主に液晶ガラスを洗浄するために、カーテン状の洗浄液流水に超音波を重畳させてパーティクルを洗 浄 機 浄するラインタイプの流水式超音波洗浄機です。この方式もポイントタイプと同様に、パーティクル 器 W-357LM の再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特徴があります。 / 低 ■発振器 ・中 シリーズ W-357LM-80 周 80mmまでの液晶ガラスに対応 ■WDXシリーズ 波 冷却のために コード接続に 330 必要な空間 462 必要な空間 従来製品よりも 150 150 小型・軽量化しました 洗 出力電力を 浄 10~110Wまで 貸出機 あり 機 調整できます。 器 / 卓 W-357LM-180 上 180mmまでの液晶ガラスに対応 286 338 型 ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、 ■WAシリーズ 金属イオンの発生がほとんどありません。 冷却のために コード接続に 336 必要な空間 400 必要な空間 出力電力を 150 150 洗 20~220Wまで 貸出機 浄 調整できます。 あり 機 器 W-357LM-80 / W-357LM-180 高 W-357LM-380 W-357LM-380 380mmまでの液晶ガラスに対応 周 142 142 170 170 波 W-357LM-580 ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、 金属イオンの発生がほとんどありません。 ■WSCシリーズ 冷却のために コード接続に 出力電力を 30~330Wまで 貸出機 210 必要な空間 250 必要な空間 あり 80 150 調整できます。 応 用 機 W-357LM-580 器 580mmまでの液晶ガラスに対応 ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、 金属イオンの発生がほとんどありません。 172 214 出力電力を ■W-357BM-600 40~440Wまで 調整できます。 冷却のために 冷却のために 冷却のために 必要な空間 220 必要な空間 360 必要な空間 80 80 150 計 測 W-357 BM-600 機 器 発振器 型式 W-357LM-80 W-357LM-180 W-357LM-380 W-357LM-580 発振モード 単周波発振 定格出力  110W 220W 330W 440W 出力可変範囲 10~110W 20~220W 30~330W 40~440W 160 300 公称発振周波数 1MHz AC200~240V AC200~240V AC200~240V AC200~240V 電源入力 単相 50/60Hz 単相 50/60Hz 単相 50/60Hz 単相 50/60Hz ■W-357BM-1200 300VA 600VA 750VA 900VA 冷却のために 冷却のために アナログ出力 4-20mA電流出力 必要な空間 360 必要な空間 冷却のために 360 必要な空間 寸 インター 接点出力 3点 アラーム出力 発振検出出力 電源ON出力 80 80 150 法 フェース 外部駆動入力 2点 センサ入力 リモート入力 図 RS485通信 MODBUS®プロトコル、RTUモード W-357 BM-1200 外形寸法(W×D×H㎜) 220×360×143(ゴム足含む) 質量 5kg ●使用周辺環境:温度:5~40℃ 湿度:5~80%(ただし結露無きこと) ●電源コード長:3m ●寸法図 ●P27 ※MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。 300 300 高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】 ■W-357LMシリーズ オ プ 振動子ノズル 冷却のために 冷却のために 冷却のために シ 発振器 型式 W-357LM-80 W-357LM-180 W-357LM-380 W-357LM-580 必要な空間 220 必要な空間 360 必要な空間 ョ 流量 8L/min 18L/min 30L/min 45~60L/min 80 80 150 ン 外形寸法(W×D×H㎜) 113×85×40 282×182×105 482×182×105 682×182×105 W-357 LM 吐出口寸法 95×2 194×2 400×2 600×2 有効洗浄範囲 80×2 180×2 380×2 580×2 質量 2㎏ 2.7㎏ 4.5㎏ 6㎏ ノズル:SUS304 ノズル:PP(ポリプロピレン) 材質 パッキン:シリコーンゴム パッキン:シリコーンゴム 振動板:タンタル 振動板:タンタル 給液口 15A(1/2B)エルボ 適合チューブ(内径Φ11、外径Φ13) 160 300 ●使用液温範囲:20~40℃ ●振動子:PZT (単位:㎜) ●コード長:出力コード5m ●寸法図 ●P30 ※記載された寸法には多少の誤差があります。 26 27 143 143 107 125 148 143 ▲ ▲
Page15

寸法図 一覧 Outline Drawing 【洗浄】 寸法図 一覧 洗 浄 機 器 / 低 ■振動子ユニット 中・ 周 ■N TYPE 投込タイプ ■SH TYPE ヒーター付槽タイプ 波 A 振動子ユニット型式 A B C D E 振動子ユニット型式 A B C D E F G N06-DX1 350 200 100 280 230 A B SH06-DX1 580 310 406 370 250 250 250 N12-DX1 420 300 100 320 330 SH12-DX1 710 360 405 500 300 250 250 洗 N06-DX2 350 200 75 280 230 D E SH06-DX2 580 310 406 370 250 250 250 浄 N06-28A 350 200 100 280 230 SH06-28A 580 310 406 370 250 250 250 機 器 N06-40A 350 200 75 280 230 SH06-40A 580 310 406 370 250 250 250 / E B N12-28A 420 300 100 320 330 SH12-28A 710 360 405 500 300 224 250 卓 N12-40A 420 300 75 320 330 G F SH12-40A 710 360 405 500 300 224 250 上 NST-28SC 350 200 100 280 230 型 ※ドレイン、ケーブル、取手の位置等が機種により異なる NHP-28SC 420 300 100 320 330 C  ものがあります。詳しくはお問い合わせください。 NST-40SC 350 200 75 280 230 NHP-40SC 420 300 75 320 330 4-φ10 洗 SUS304 90゚エルボ 30 浄 機 器 / 高 C 周 波 D ■W-357BMシリーズ F TYPE 振動板タイプ W-357BM-600 W-357BM-1200 65 24 250 65 24 355 3 ■F TYPE 振動板タイプ 3 応 用 A 振動子ユニット型式 A B C(t) D 機 F06-DX1 390 240 3.0 80 器 F12-DX1 460 340 3.0 80 F06-DX2 390 240 3.0 57 F06-28A 390 240 3.0 80 B F06-40A 390 240 3.0 54 F12-28A 460 340 3.0 80 F12-40A 460 340 3.0 54 FST-28SC 390 240 3.0 68 有効輻射135 スタットボルト スタットボルト 計 FHP-28SC 460 340 3.0 68 槽開口部210 有効輻射272 測 FST-40SC 390 240 3.0 54 槽開口部315 機 FHP-40SC 460 340 3.0 54 器 C ※振動子カバー取付の場合は別途ご相談ください。 D ■W-357BMシリーズ S TYPE 槽タイプ W-357BM-600 W-357BM-1200 302 496 寸 法 図 ■S TYPE 槽タイプ A B 振動子ユニット型式 A B C D E F G S06-DX1 422 302 405 370 250 250 250 D E S12DX-1 550 350 402 500 300 250 250 S06DX-2 422 302 405 370 250 250 250 有効輻射 135 S06-28A 248 有効輻射135 55 有効輻射135 422 302 405 366 246 248 248 S06-40A 422 302 405 366 246 248 248 442 オ S12-28A 550 350 402 500 300 224 250 プ G F S12-40A 550 350 402 500 300 224 250 シ ョ C ※ドレイン、ケーブル、取手の位置等が機種により異なる ン  ものがあります。詳しくはお問い合わせください。 (単位:㎜) ※記載された寸法には多少の誤差があります。 28 29 25 槽開口部180 40 有効輻射160 252 有効輻射 160 372 236 296 220 槽開口部205 40 有効輻射154 有効輻射160 252 276 372 336 245
Page16

寸法図 一覧 Outline Drawing 【洗浄】 寸法図 一覧 ■振動子ノズル ■W-357LM-80 ■W-357LM-180 超音波 応用機器 282 220 160 113 超音波の動力的応用 2 吐出口 2 吐出口 超音波の振動エネルギーそのものを、媒体(液体 超音波振動の特徴 中・固体中・気体中)に伝播させることで、動力 ● 密度の高いものほど伝播し易い、気体<液体<固体 60 2-φ7 32 的な応用に利用します。強力超音波とも呼ばれて ● 気体・液体では縦波が発生し、固体では縦波と横波さらに 4-φ7 100 います。 はねじり波や表面波なども発生する 代表的な応用例として、洗浄・切断・溶着・霧化 ● 小さい振動変位で高い音圧と強いパワー密度を持つ などがあります。 ● 周波数が同じ場合、振幅が大きいほど遠方に伝わる 95 吐出口 194 吐出口 ■W-357LM-380 482 切断 溶着 霧化 420 200 p32~ p34~ p35 2 吐出口 4-φ7 100 100 100 400 吐出口 ■W-357LM-580 682 切断 溶着 霧化 620 150 150 刃物に超音波振動を与えると刃物と切断面との 超音波振動を繰り返し素材に伝えることにより、 液体に高周波の超音波を照射すると液体の一部 摩擦が少なくなり、大幅に切れ味が向上します。 瞬時に接触している材料間に摩擦熱が起こり、 が表面張力を振り切って微粒子となり飛び出し 軟化・溶解して溶着します。 ます。 2 吐出口 抽出・熱成・改質・浸透 霧化分離 超音波モータ 超音波振動はさまざまな ソノリアクター 動かす 浮遊装置 超音波浮遊 6-φ7 用途で使われています。 長年蓄積した 化学反応 要素技術 浮かす 本多電子はコアとなる振 超音波技術 要素技術 要素技術 ホモジナイザ 超音波ふるい 100 100 100 100 100 動子を自社にて設計・生 砕く 動力的応用の 震わす 産し、さまざまな用途に 実現 要素技術 広がり 最適な材質・形状・構造 超音波の動的利用の効果 超音波ウェルダー 超音波カッター 一秒間に数万~数百万回という微細振動(数μm~数十μm)を発 の振動子を設計すること 溶着する 切る 生させることでさまざまな効果を生み出します。その効果を利用し、 オリジナル さまざまな超音波応用機器を開発しています。 で独自の製品を生み出し 超音波霧化ユニット 超音波圧入 600 吐出口 ています。 超音波振動子 霧化する 塑性加工  摩擦の低減    化学反応   微細振動の付加 (単位:㎜)  分散・乳化  キャビテーション 抽出・浸透・改質 ※記載された寸法には多少の誤差があります。 30 31 15 60 25 46 4 65 22 132 105 162182 46 4 65 22 132 105 162 182 46 4 132 65 22 162 105 182 ▼ ▼ ▼
Page17

0316総合カタログ(第3版)修正ページ

超音波カッター ■超音波切断 超音波の振動を刃に伝えて切断 刃先に超音波振動を与えることにより、ワークと刃の摩擦係数を低減します。普段、カッタやナ 洗 浄 イフで切断しているものを、より軽い力で切ることが可能になります。 機 ※超音波を付加せずに切断できないものは、超音波を付加しても切断できません。 超音波カッター 使いやすさを追及した 貸出機 器 あり / 超音波カッター セレクションガイド ZO-41Ⅱ 超音波カッターのスタンダードモデル 低 ・ 対応モード スイッチ 中 周 プロフェッショナル ● 手元スイッチの機能を設定できます。(ON/OFF or PUSH時稼動) 波 本体出力スイッチ(ON/OFF切替) ・・・(P32) ● 切りにくい時に、パワーが入る新しい駆動方法 TAF®回路を搭載! ZO-80Ⅱ Normal High S-High フットスイッチ(ON/OFF切替)※オプション 手元スイッチ(ON/OFF切替) ● NormalモードとHighモードの切り替えが可能。 ※ハンドピースZH803(オプション)使用時のみ 型式 ZO-41Ⅱ 洗 公称発振周波数 40kHz スタンダード ZO-41Ⅱ Normal High 手元スイッチ(ON/OFF切替) 浄 ・・・・・・・・・・・・・(P33) 電源 ACアダプタ INPUT:AC100-240V 50/60Hz *1 機 手元スイッチ(Push時発振) OUTPUT:DC12V 器 消費電力 最大80VA / ZO-40 レジン Normal 手元スイッチ(Push時発振)・・・・・・・・・・・・・・・(P33) 使用温度範囲 10~35℃(ただし結露無きこと) 卓 エントリー 外形寸法 本体 173㎜×89㎜×76㎜ 上 ハンドピース φ32×144㎜(刃含む) 型 主要用途及び使用例 切断可能な樹脂及び板厚(目安) ハンドピースケーブル 1.6m(ストレート) 本体 約260g  ● プラスチック、小物、部品などのゲートカット、バリ取り 質量  ●  樹脂:ABS・PP・PET・アクリル ハンドピース 約100g(ハンドピースケーブル含む)  ● 紙・ダンボール等のカット  ●  板厚:3㎜以下(刃・素材による) ■付属品:BDC-200P:1ケース(替刃40枚入り ※穴の開いた刃は利用不可)、刃固定具 ZH04:1個、刃固定ビス HB03:3個、      六角レンチ RR02:1本、ACアダプター:1個  ● フィルム、シート、3Dプリンター サポート材等のカット 洗 浄  ● 基板パターンカット *1 本商品は、日本国内で利用する目的で設計されています。 切断事例は 機 付属の電源コードは、日本(100V)の法令・安全規格に適合しています。 WEBでチェック 器 ▼ / 高 周 波 NEW 超音波カッター スーパーハイモードを搭載! 貸出機 ZO-80Ⅱ 超音波カッターの上位モデル あり 応 用 ● 新規に自社開発した超音波振動子を採用。 機 ● 3段階のパワー切替ができます。(ノーマル/ハイモード/スーパーハイモード) 超音波カッター リーズナブルプライスの 器 貸出機 ● フットスイッチ(オプション)を使用すれば楽に作業が行なえます。 あり ● ハンドピースの取り替えができるので、刃の交換の手間を軽減させることができます。*2 ZO-40レジン エントリーモデル ● ZO-80Ⅱ用ハンドピースZH803を使用可能(ノーマル、ハイモード) ●   ZO-41Ⅱ対応替刃を使用できるようになりました。*2 毎秒約40,000回の高速振動により、軽い力で滑らかにカットできます。 *2 オプションハンドピースのご購入が必要 ● ハンドピースのスイッチを押している時だけ動作するわかりやすい操作です。 型式 ZO-80Ⅱ 公称発振周波数 40kHz 型式 ZO-40レジン 計 電源 ACアダプタ INPUT:AC100-240V 50/60Hz *1 公称発振周波数 40kHz 測 OUTPUT:DC12V 電源 AC100V 50/60Hz *1 機 消費電力 最大110VA 消費電力 最大40VA 器 使用温度範囲 10~35℃(ただし結露無きこと) 使用温度範囲 10~35℃(ただし結露無きこと) 本体 185㎜×169㎜×55㎜ 外形寸法 本体 173㎜×89㎜×76㎜(突起部含まず) 外形寸法 ハンドピース φ28×150㎜(刃含む) ハンドピース φ32×144㎜(刃含む) ハンドピースケーブル 1.6m(ストレート) ハンドピースケーブル 1.6m(ストレート) 本体 約1.2㎏ 質量 本体 約360g 質量 ハンドピース 約350g(ハンドピースケーブル含む) ハンドピース 約100g(ハンドピースケーブル含む) ■付属品:BDC-200P:1ケース(替刃40枚入り ※穴の開いた刃は利用不可)、刃固定具 ZH04:1個、刃固定ビス HB03:3個、 ■付属品:BDC-200P:1ケース(替刃40枚入り ※穴の開いた刃は利用不可)、刃固定具 ZH04:1個、刃固定ビス HB03:3個、      六角レンチ RR02:1本、ACアダプター:1個      六角レンチ RR02:1本 寸 *1 本商品は、日本国内で利用する目的で設計されています。 切断事例は *1 本商品は、日本国内で利用する目的で設計されています。 付属の電源コードは、日本(100V)の法令・安全規格に適合しています。 WEBでチェック 法 図 付属の電源コードは、日本(100V)の法令・安全規格に適合しています。 ▼ オ プ 超音波カッター 刃バリエーション シ ョ 11 t=0.4 25 t=0.4 13 t=0.4 ン 18 t=0.4 18 t=0.4 18 t=0.4 25 t=0.4 45° メンテナンス方法は WEBでチェック 30° 30° 30 30 30 ° ° ° 30° 25 R15 25 ▼ 7 7 7 標準刃(HA04) 超硬刃(HA07) ジルコニアセラミック標準刃(ZH48) 方形刃(ZH41)*3 長刃(ZH10)*3 先丸刃(ZH09) 先丸刃(ZH42)*3 材質:SK-2 材質:タングステンカーバイト 材質:ジルコニアセラミック 材質:SKH 材質:SKH 材質:SKH 材質:SKH 対応機種:ZO-80Ⅱ ※最も耐磨耗性に優れており、刃物鋼に 対応機種:ZO-80Ⅱ*4 対応機種:ZO-80Ⅱ*4 対応機種:ZO-80Ⅱ 対応機種:ZO-80Ⅱ*4 対応機種:ZO-80Ⅱ*4      ZO-41Ⅱ/ZO-40レジン  替わり広範囲に使用されている ※導電性、磁性がない      ZO-41Ⅱ/ZO-40レジン      ZO-41Ⅱ/ZO-40レジン      ZO-41Ⅱ/ZO-40レジン      ZO-41Ⅱ/ZO-40レジン      ZO-41Ⅱ/ZO-40レジン 対応機種:ZO-80Ⅱ*4 ※穴あけ加工ができる人気オプション品です      ZO-41Ⅱ/ZO-40レジン *3 ハンドピースにセットすると刃の有効長が11㎜短くなります。 *4 『Normal』および『High』でのみ使用可能です。『S-High』では使用しないようにしてください。 32 33 4 4 4 4 4 4 4
Page18

超音波溶着器 超音波溶着器 ■超音波ウェルダー 超音波の振動エネルギーを利用し溶着しています。 (溶着) 超音波振動により、被溶着物の接合箇所に摩擦熱が発生し、熱変形が起こり溶着します。 洗 浄 予備加熱の必要がなく、電源を入れた瞬間から使用可能であり、熱を使用しないので安全面でも 機 優れています。また、金属針や接着剤などを使わないため、異物が内容物に混入する心配がなく、 超音波ミニ溶着器 安全・省エネ・エコロジーで楽々パック 貸出機 器 / 食品パックなどに安心して利用できます。 SONAC-37 あり 低 ● 超音波振動(1秒間に約60,000回)で、安全・簡単に溶着が可能です。 ・ 中 ソニックシーラー ● ハンドピースは本体に収納可能、女性でも使いやすい軽量・コンパクトサイズです。 周 プラスチックウェルダー 多彩な分野で大活躍のこの一台 型式指定 貸出機 ● 金属針を使用しないため食品内容物への混入がなく、処理時のゴミ分別が不要です。 波 SONAC-200 取得済 あり ● 空打ち防止機能の採用で耐久性が向上しました。 ● 装置組込みタイプ(Aタイプ)とハンディータイプ(Hタイプ)より選択 ● プラスチック製品の溶着、リベッティング、金属部品のインサートなどが行えます。 型式 SONAC-37 洗 定格出力 20W   浄 ● 発振器に定振幅回路を使用しているため、安定した溶着ができます。 公称発振周波数 57kHz 機 電源入力 AC100V 50/60Hz 30W 器 発振器 外形寸法(W×D×H㎜) 本体: 70×220×165 標準品(YK01) / 型式 SONAC-200 ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 (突起部含まず) ハンドピース: 32×125×49 ●保護装置:サーモスタット 嵌合パック開封確認用(YK02) 卓 定格出力 200W 質量 920g ※開封時にケースに穴が開くため、 上 公称発振周波数 28kHz ●振幅可変:50~100% ■付属品:溶着金具(YK01)  開封前・後が容易に確認できます。 型 電源入力 AC100V 50/60Hz ●タイマー:0.1秒~ ●電源コード長:2m ●振動子:ボルト締めランジュバン型振動子 ●保護装置:サーモスタット、空打ち防止機能 外形寸法(W×D×H㎜) (突起部含まず) 300×308×107 ●オプション品:エクスポネンシャルホーン(HH02)、 ●有効溶着範囲:6×3㎜ ●電源コード長:1.5m         フットスイッチ(FS01)、 ●出力コード長:0.5m(カールコード) ●オプション品:溶着金具(YK02)●P49 質量 4kg         アラームケーブル(AK01)         外部駆動ケーブル(GK01)●P49 主要用途及び使用例 洗 浄 ハンドピース  ● フードパック(OPS、A-PET)  ● 化繊衣料の仮止め  ● ポリ袋のシール 機 Hタイプ 型式 Aタイプ Hタイプ  ● ブリスターパック  ● 工業用フィルム   ● 樹脂テープ(タグ、園芸テープ) 器 / 外形寸法 φ42×238㎜(ホーン除く) 高 質量 0.9㎏(ホーン除く) 0.7㎏(ホーン除く) 周 出力コード長 5m(耐屈曲ケーブル) 1.5m ●溶着例 波 付属品 外部駆動ケーブル(5m) なし Aタイプ ●冷却用エアー供給量:0.15MPa(Aタイプのみ) 主要用途及び使用例  ● 自動車、文具等の溶着、リベッティング、金属部品のインサート ●エクスポネンシャルホーン(オプション) 食品パック 不織布 ポリ袋 ネット包装 応 用 工具ホーン 機 工具ホーン 工具ホーン 工具ホーン 器 スポット溶着 伝達溶着 リベッティング(カシメ組立) 金属インサート 超音波による霧化は、超音波エネルギーを液面に集中させて、そのエネルギーで液滴を飛散させ Outline Drawing ■超音波霧化器 ることにより発生します。超音波振動子を液面に向けて設置し、強力な超音波を発振すると、音 ●応用ホーン(特注例) 寸法図 圧が高い中心位置で波が立ち、さらに超音波エネルギーが集中して水柱を作り出します。この表 計 測 超音波霧化ユニット 面波の定在波がキャピラリー波と呼ばれる細かな波です。この波の先端から液滴が霧として飛散 機 HMC-2400 します。これが霧化発生の原理です。 器 ■発振器 アイディア次第で用途が広がる 定番の超音波霧化ユニット 霧 水滴(薬滴) 水 スポット溶着用 水柱 パッキン 寸 ● 超音波振動で発生する細かな霧は、 水位 法 さまざまな用途に利用できます。 振動子 図 308 ● 次亜塩素酸系液剤50ppm以下に対応。 φ18 2-M4 φ24 有効6 32 HMC-2401 HMC-2401 型式 HMC-2400 HMC-2401 公称発振周波数 2.4MHz シール溶着用 電源入力 DC24V 消費電流 約550mA 約600mA ■Aタイプ 冷却用エアー供給口 適正水位*1 通常時:36±5㎜ ホーン取付時:43±5㎜ 32.5±5㎜ オ プ ご要望に応じ用途・仕様に合わせたホーンの (装置組込みタイプ)  (チューブ外径:φ6適合) 霧化能力*2 通常時:約150ml/h ホーン取付時:約360ml/h 約190ml/h 設計製作をいたします。 ステップホーン 霧化粒子径 約3μm シ ョ 超音波放射角度 0°(垂直)   約10° ン 材質 振動板: 特殊コーティング (50) (200) (38) (100) パッキン: バイトン 出力ケーブル:5m(耐屈曲性) 外形寸法 振動子ASSY: 38×29×14 (W×D×H㎜) 発振回路基板: 38×30×39 ■Hタイプ (突起部含まず) ホーン: Φ22x27 ー (ハンディータイプ) 質量 振動子ASSY:約8g 発振回路基板:約17g ステップホーン ●使用水温範囲:10 ~ 40℃ ●使用温度範囲:5 ~ 35℃ ●出力コード長:145㎜ ●電源コード長:0.3m *1 振動面から水面まで  *2 水温22℃、当社標準水槽での動作時霧化量です。 ※発振回路基板の放熱板を必ず冷却ファンで強制冷却してください。 (50) (200) (38) (100) 出力ケーブル:1.5m ・2022年8月 販売終了予定 34 35 φ42 φ42 101 300 107 φ11 φ11 10 2 ▲ ▲
Page19

超音波による距離計測 洗 浄 超音波を当てて跳ね返ってくるまでの時間を測ることで、距離を計測することができます。 機 超 器 音波 計測機器 レベル計 / 低 超音波レベル計では、超音波が液面で反射することを利用して、超音波センサから液面までの距離を計測しています。この技術を用いると、タ ・ 中 ンク内の液量管理や、原料の残高管理などを行うことができます。 周 液量管理では、超音波センサからタンク底面までの距離(L)を予め与えておいて、液面までの距離(l)の計測結果を元に液量を算出します。 波 計測方法としては①気中から液面での反射を利用する方法と、②底面から超音波を送信して気体との境界面での反射を利用する方法とがありま す。工場・プラントでは、液面の上昇・下降をリアルタイムに計測して、タンクへの流入量・流出量を制御するといった活用がされています。 超音波の情報的応用 ③液面と同様に、粉体の場合でも超音波の反射信号が検出できるため、原料等の残量管理にも使用することができます。レベル計が出力する信 洗 号を用いて、タンクへの液体の流入、タンクからの流出をポンプを使ってコントロールすることができたり、高所での手作業による計測に対し 浄 て落下のリスクをなくすこともできます。 機 器 超音波のセンサから発信した信号を、媒体(気体 超音波の特徴 / ① ② ③ 卓 中・液体中・固体中)に伝播させることで情報的 上 ● 光の透過が悪い液体や固体中での計測、光が反射しない透 型 な応用に利用します。 明の物体までの距離計測に有利。 代表的な応用例として、レベル計・流量計・非破 ● 可聴音に比べ、波長が短く、指向性が鋭い。 壊検査装置などがあります。 ● 可聴音に比べ、伝播減衰が大きく遠くに届きにくい。 洗 浄 機 器 / 高 界面レベル計 周 波 レベル計 測深器 流量計 映像装置 超音波は異なる媒質の境界面で反射する特性があるので、タンク槽内で2層分離しているような場合の界 面レベルの測定も可能です。 水中に設置されたセンサから超音波を発信して、界面で反射し、その反射波を受信するまでの時間から界 ■空中レベル計測  p38~ ■水深計測  p40 p42 p44 面の高さを算出します。 ■界面レベル計測  p41 汚泥(スラッジ)等の沈殿物に非接触で計測するため、形成された汚泥界面を荒らすことなく、計測が可 応 能です。また、光の透過が悪い不透明な処理水の中の界面レベルの計測も可能です。 用 界面レベル計の測定データを使って、排泥ポンプの動作コントロールをすることができます。また、汚泥 機 沈降具合の確認も可能ですので、凝集剤(pac)の投入のタイミングを図るのにも役立ちます。 器 測深器 水中のセンサから超音波を発信し、水底(川底/海底)に反射して受信するまでの時間から底までの距離を算出します。 魚群探知機等と原理は同じですが、機能を限定しているため、小型化が可能です。 工事現場や測量現場の簡易水深計測として使用されています。 計 超音波による液体流速の測定 測 機 超音波を利用して流体の流速を計測し、その流速から流量を計算することができます。 器 流量計 超音波流量計は、以下のような特徴があります ●超音波センサが計測する流体に非接触 ●配管内に構造物が無いため、圧力損失が無い ●低流速(秒速数センチメートル)から  高流速(秒速数十メートル)までの広範囲を計測可 寸 ●計測精度を上げるためには、前後に直管部が必要 法 主流な計測方法として、伝播時間差方式が用いられます。 図 伝播時間差方式の超音波流量計の原理は、流れの上流側(A)と下流側(B)に超音波センサを設置し、上流側から発信した超音波を下流側で 受信したとき(経路A→B)の伝播時間と、下流側から上流側(経路B→A)への伝播時間を計測し、その時間差から流速を計算し、流量に換 算するものです。 伝播時間差法は超音波の伝播を利用するため、気泡や浮遊物が少なく、超音波の減衰が小さい清浄な流体の計測に適しています。 例えば、半導体製造装置の薬液の流量管理や水処理の装置等で使用されています。 オ 超音波による探傷 プ シ す ョ レベル計 測深器 映像装置 直進性が強く物質の境界面で反射する等の超音波特性を利用し、物体内部の傷や鬆(小さな空洞)を調べることができます。 ン ■空中レベル計測 ■水深計測 超音波が物質中を伝播する際、物体の端や違う 探傷機 測定物に接触しないため、粉塵などが発生する 魚群探知機と同様で超音波の伝播時間による距 材質の境界に当たると反射する特性を利用し、 悪環境下のタンク等のレベルも連続的に管理す 離計測です。 物体内部の傷や小さな空洞を非破壊で調べるこ 試験体の内部に構造欠陥が存在している場合、探触子から発射された超音波は、試験 ることができます。 とができます。 体中を直進し、内部欠陥が存在しなければ試験体底面で反射して戻ります。試験体内 す ■界面レベル計測 部に傷や鬆、異材部などの内部欠陥が存在している場合には、超音波はその境界面で 不透明な処理水の界面や、深いタンク内の界面 流量計 一部または全部が反射されます。 も、センサを対象沈殿物まで下げることなく計 超音波を利用して流体の流速を計測し、その流 超音波探傷機では、これらの反射波による受信(エコー)波形を観測することにより 測することができます。 速から流量に換算します。 試験体内部の欠陥情報を得ています。 36 37 ▼ ▼ ▼ ▼ ▼
Page20

超音波レベル計 ■超音波空中レベル計測 洗 浄 機 HD320 グラフィック液晶を採用した 貸出機 HD1200 DSP搭載により、 貸出機 器 / 2線式のローコストモデル あり さらに安定した距離計測を実現 あり 低 ・ 中 周 ●2線式により、設置・配線・稼働コストの軽減が可能 ●DSPによる独自のレベル検出アルゴリズム 主要用途及び使用例 波 ●グラフィック液晶表示により、Aモード波形を表示 を実現、ノイズや不要反射の影響を排除し、 ●装置内タンクの液体・粉体レベル管理 ●センサ指向角内の障害物にマスク処理を行い、計測することが可能 安定した計測が可能 ●湖・沼・河川の水位レベル計測 ●せき式流量計測 ●本体1台に2つのセンサを接続可能。異な 洗 主要用途及び使用例 る種類のセンサを選択できるため、1台で 浄 機 ●タンク等の液面レベル管理 レンジの異なる2 ヶ所の測定が可能 器 ●下水管内の処理水レベル管理 ●micro SDTM にログを記録 / ●湖・沼・河川の水位レベル計測 ■液面レベル計測 ■河川の水位レベル管理 卓 ●せき式流量計機能を標準搭載 上 ■液面レベル計測 ■粉体のレベル計測 ■大容量堰への応用 型 型式 HD320 / HD323   本体(センサ) チャンネル数 1 使用周囲温度 -20~70℃ HD323 周波数 50kHz 材質 PP( ポリプロピレン) 型式 HD1200 型式 HD1200 測定対象 液体 保護規格 IP65 相当( 蓋開け時:IP20 相当) チャンネル数 2 使用周囲温度 -20~70℃ 距離測定範囲 0.25~7.5m 外形寸法 φ93×110㎜ 周波数 10~60kHz(センサ仕様により選択) 材質 ABS 計測 1㎜ 配線ケーブル長 10m 測定対象 液体・粉体 構造 IP66 相当 洗 分解能 表示 1㎜ 質量 350g 分解能 計測 1㎜ 外形寸法(W×D×H㎜) 176×84×237 浄 ±0.25%F.S. 取り付けネジ(旧JIS) G2( PF2) 表示 1㎜ 質量 1.8㎏ 機 精度 (±18.8㎜) 精度 ±0.25%F.S. 注)せき式流量計はCH1のみ対応しています。 器 データ更新周期 10秒 データ更新周期 約2秒(センサ仕様により異なる) / 2線式とは… ※「microSDTM」は、SD Card Associationの商標または登録商標です。 高 センサ指向角 14(° -6dB) 電圧 AC100~240V ±10% 2線式とは、電流出力信号からアンプ駆動用電力を得 電源 周 10(° -3dB) 消費電力 10VA ることにより、電源配線を省略した信号伝送方式です。 電圧 DC24V ±10% 表示 LCD表示(バックライト付) 波 電源 ■TS40T-5 消費電力 0.6W 警報出力 各CH 4点  表示 グラフィック液晶 出力 AC250V 5A(リレー接点) HD320:LCD(28.1×9.1㎜) 4-20mA電流出力 分解能:1/4000 表示サイズ HD323:LCD(50×25㎜) (最大負荷抵抗 600Ω) 分解能:12bit ■TS40-5 インターフェース RS485(伝送距離:1200m以内) 出力 4-20mA電流出力 (最大負荷抵抗 500Ω 24V時) RS232C(伝送距離:10m以内) 外部メモリ microSDTM 応 設置には、樹脂製のナットやフランジ等をご使用ください。 用 金属製のナットやフランジ等を使用しないでください。計測エラーの原因となります。 型式 センサ 機 TS40-5 TS40T-5 器 周波数 40kHz 距離測定範囲(粉体は1/2) 0.3~20m 0.3~15m センサ指向角 12(°-6dB) 22(°-6dB) 8(°-3dB) 16(°-3dB) 使用周囲温度 -20~70℃ 材質 エポキシ・シリコーン・PP PVDF 構造 IP68 相当 IP68 相当 外形寸法 φ84×90㎜ φ98×87㎜ HD350 A DSPレベル計のローコストモデル 貸出機 センサーケーブル長 5m 計 - 質量 500g 860g 測 あり センサ取り付けネジ(旧JIS) R1(PT1) G1(PF1) 機 ●グラフィック液晶表示により、Aモード波形を表示 ・TS40T-5センサは、フッ酸雰囲気下では使用できません。 器 ※センサーケーブルを延長の際は、当社までご相談ください。 ●0.3~10mに渡る幅広い距離計測 ●センサ指向角内の障害物にマスク処理を行い、計測することが可能 ●RS485(MODBUS®プロトコル)、4-20mA電流出力、警報出力接点により遠隔管理が可能 主要用途及び使用例 ●装置内タンクの液体・粉体のレベル管理 寸 ●湖・沼・河川の水位レベル計測 法 図 型式 HD350-A / HD353-A   本体(センサ) チャンネル数 1 使用周囲温度 -20~70℃ 超音波レベル計 セレクションガイド 周波数 50kHz 材質 PP( ポリプロピレン) 測定対象 液体・粉体 保護規格 IP65 相当( 蓋開け時:IP20 相当) 測定距離 353 距離測定範囲 (粉体は1/2) 0.3~10m 外形寸法 φ93×110㎜ 0m 2m 5m 10m 20m 30m HD -A 分解能 計測 1㎜ 配線ケーブル長 10m 表示 1㎜ 質量 350g HD320/HD323 0.25 7.5 一体型 せき式流量計測 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(P38) 精度 ±0.25%F.S. 取り付けネジ(旧JIS) G2( PF2) (±2.5㎝) データ更新周期 0.5秒 ■オプション  ● 30mケーブル(HD-002) ●P49 HD350-A/HD353-A 0.3 10 一体型 RS485 せき式流量計測 オ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(P38) プ センサ指向角 14(° -6dB) 10(° -3dB) シ ョ 電源 電圧 DC12~24V ±10% HD1200(TS40-5) 0.3 20 2CH せき式流量計測 RS232C RS485 microSDTM ・・・・・・・・・・・・・(P39) ン 消費電力 3W 表示 グラフィック液晶 HD1200(TS40T-5) 0.3 15 耐薬品性 2CH せき式流量計測 RS232C RS485 microSDTM ・・・(P39) 表示サイズ HD350:LCD(28.1×9.1㎜) HD353:LCD(50×25㎜) 警報出力 上下各1点 ※MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。 ※測定したい距離は、距離測定範囲の中間程度になるものを選定します。 出力 4-20mA電流出力 分解能:12bit (最大負荷抵抗 500Ω) インターフェース RS485( 伝送距離:1200m以内) 設置には、樹脂製のナットやフランジ等をご使用ください。 金属製のナットやフランジ等を使用しないでください。計測エラーの原因となります。 38 39 ▲