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クリーンルーム対応 X線ウエーハバンプ自動検査装置 Six-3000

製品カタログ

ウェーハ上のはんだバンプの検査を全自動で行うX線自動検査装置

◆ウェーハ上のバンプを自動で検査、判定を行うX線自動検査装置です。
◆ウェーハ内部のボイド(気泡)をX線を用いて透過し、その透過画像からボイドの直径(面積)を求め基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査します。
◆X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には最新鋭のX線デジタルカメラを採用することで、高解像度の画像を抽出でき、高精度ボイド検査が可能です。

◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

このカタログについて

ドキュメント名 クリーンルーム対応 X線ウエーハバンプ自動検査装置 Six-3000
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 818.4Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社アイビット (この企業の取り扱いカタログ一覧)