製品紹介_ プローブカードクリーニング

Mipox Probe Card Cleaning Sheet Mipox（マイポックス）株式会社 CSE1 Document. ER19-017 Rev.3 Mipox Confidential 1

Lineup 研磨材粒径 シート名称 シートタイプ ベース材 研磨材 シートカラー 粘着剤 （μm） WA4000-75 TEZ-G 酸化アルミニウム 3 YELLOW WA6000-75 TEZ-A 酸化アルミニウム 2 WHITE Aタイプ： ～80℃ PET Type PET WA8000-75 TEZ-B 酸化アルミニウム 1 L.PINK Dタイプ：～120℃ GC6000-75 FEY-B 炭化ケイ素 2 GRAY GC4000-PF3 FEY-A 炭化ケイ素 3 GRAY GC6000-PF3 FEY-A 炭化ケイ素 2 GRAY Hタイプ：～110℃ PF3 Type 発泡ポリウレタン GC8000-PF3 FEY-A 炭化ケイ素 1 BROWN Dタイプ：～120℃ SI10000-PF3 FEY-A 二酸化ケイ素 0.5 ORANGE WA4000-SWE FWX 酸化アルミニウム 3 YELLOW WA6000-SWE FWX 酸化アルミニウム 2 GREEN Aタイプ： ～80℃ SWE Type 発泡ポリウレタン WA8000-SWE FWX 酸化アルミニウム 1 PINK Dタイプ：～120℃ SI10000-SWE FWX 二酸化ケイ素 0.5 ORANGE GC4000-BC3 FEZ-C 炭化ケイ素 3 GRAY PET GC6000-BC3 FEY-B 炭化ケイ素 2 GRAY 両面テープ BC3 Type ＋ GC8000-BC3 FEY-A 炭化ケイ素 1 GRAY ～80℃ ポリオレフィン GC10000-BC3 FEY-A 炭化ケイ素 0.5 GRAY Document. ER19-017 Rev.3 Mipox Confidential 2

PET Type ラインナップ 構造 • WA4000-75 TEZ-G 研磨層 総厚 • WA6000-75 TEZ-A 約115μm • WA8000-75 TEZ-B • GC6000-75 FEY-B 特徴 • ラッピングフィルム+粘着層の構造 • カンチレバー、フラット形状品に対応 PETフィルム層 • 強固な付着物の除去に適した構造 粘着層 表面SEM photo 断面SEM photo Document. ER19-017 Rev.3 Mipox Confidential 3

PF3 Type ラインナップ 構造 • GC4000-PF3 FEY-A 研磨層 総厚 • GC6000-PF3 FEY-A 約300μm • GC8000-PF3 FEY-A • SI10000-PF3 FEY-A 特徴 • フラットクッション上に研磨層を形成 • 低ダメージ高効率なクリーニングが可能 • カードタイプ、針先形状を選ばずに適用可能 フラットクッション層 粘着層 表面SEM photo 断面SEM photo Document. ER19-017 Rev.3 Mipox Confidential 4

SWE Type ラインナップ 構造 • WA4000-SWE FWX 総厚 研磨層 約450μm • WA6000-SWE FWX • WA8000-SWE FWX • SI10000-SWE FWX 特徴 • 凹凸クッション上に研磨層を形成 • 低ダメージ高効率なクリーニングが可能 • ラウンド、ポゴピン形状に適した構造 凹凸有りクッション層 粘着層 表面SEM photo 断面SEM photo Document. ER19-017 Rev.3 Mipox Confidential 5

BC3 Type ラインナップ 構造 • GC4000-BC3 FEZ-C 総厚 研磨層PETフィルム層 • GC6000-BC3 FEY-B 約410μm • GC8000-BC3 FEY-A • GC10000-BC3 FEY-A 特徴 • ラッピングフィルム＋クッション粘着層の構造 • 低ダメージ高効率なクリーニングが可能 • カンチレバー、ラウンド形状に適した構造 厚手粘着層 表面SEM photo 断面SEM photo Document. ER19-017 Rev.3 Mipox Confidential 6

特徴一覧 クリーニング能力 使用温度 シートタイプ 参考OD量 針先摩耗性 特徴 対応針形状 推奨プローブカード （Max℃） 先端 側面 ・ラッピングフィルム+粘着層の構造 カンチレバー PET ◎ △ 120 30μm High ・カンチレバー、フラット形状品に対応 フラット ・強固な付着物の除去に適した構造 カンチレバー ・フラットクッション上に研磨層を形成 30μm～ ラウンド PF3 ○ ○ 120 Low ・低ダメージ高効率なクリーニングが可能 50μm ニードル ・カードタイプ、針先形状を選ばずに適用可能 MEMS ・凹凸クッション上に研磨層を形成 ポゴピン 50μm～ SWE ○ ◎ 120 Low ・低ダメージ高効率なクリーニングが可能 MEMS 80μm ・ラウンド、ポゴピン形状に適した構造 その他 ・ラッピングフィルム＋クッション粘着層の構造 30μm～ カンチレバー BC3 ○ △ 80 Low ・低ダメージ高効率なクリーニングが可能 50μm ラウンド ・カンチレバー、ラウンド形状に適した構造 ※ウエハクリーニングでの推奨使用温度内でもクリーニング性に変化が生じる場合が御座います。 ※研磨板でのクリーニングについては、クリーニングステージからの放射熱の影響は無いものと考えます。 ※ 上記一覧は参考であり保証されるものではありません Document. ER19-017 Rev.3 Mipox Confidential 7

クリーニング一例 プローブ先端のクリーニング Before Cleaning After Cleaning クリーニング条件 Prober TOKYO Electron P-8 OD 80μm Contact 50 Times Cleaning Sheet GC8000-PF3 FEY-A Document. ER19-017 Rev.3 Mipox Confidential 8

問い合わせ先 Mipox株式会社 〒160-0023 東京都新宿区西新宿6-11-3 Dタワー西新宿16階 WeWork内 TEL : 03-6911-2300 ※請求先は上記にてよろしくお願いいたします。 営業・ご注文窓口 担当部署 CSE本部 CSE1 営業技術課 石場詩歩子（いしば・しほこ） 営業担当1 s-ishiba@mipox.co.jp 03-6911-2311 海堀 真（かいほり・まこと） 営業担当2 m-kaihori@mipox.co.jp 080-4361-9774 山梨工場 生産管理部 生産管理課 ご注文窓口 order-mipox@mipox.co.jp Document. ER19-017 Rev.3 Mipox Confidential 9