このカタログをダウンロードして
すべてを見る

ダウンロード(2Mb)

真空材料カタログ

製品カタログ

種類豊富に取り揃えております

真空材料カタログ
 セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料 を掲載しております。

このカタログについて

ドキュメント名 真空材料カタログ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 2Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 アルバックテクノ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

この企業の関連カタログ

表面処理カタログ 
製品カタログ

アルバックテクノ株式会社

このカタログ(真空材料カタログ)の内容


Page 1:アルバックテクノ株式会社セラミックスカーボン製品金属加工品成膜材料真空材料カタログ

Page 2:2セラミックスカーボン製品金属加工品成膜材料低膨張チタン酸アルミセラミックス製品…………………………… 3カルシア(CaO)セラミックス製品… ………………………………… 3真空溶解用ルツボ及び耐火物………………………………………… 4AD-ATルツボ(低熱膨張アルミナルツボ)………………………… 6バックアップ及び補修用セメント(真空溶解用耐火セメント)……… 6EB蒸着ルツボ………………………………………………………… 7溶解用二重ルツボ……………………………………………………… 7ファインセラミックス………………………………………………… 8C/Cコンポジット製品……………………………………………… 10炭素繊維製品………………………………………………………… 12黒鉛部品……………………………………………………………… 12蒸着用黒鉛ルツボ…………………………………………………… 13高融点金属加工品…………………………………………………… 13抵抗加熱用ボート…………………………………………………… 14電子ビーム蒸着用ハースライナー………………………………… 15電子ビーム蒸着材料………………………………………………… 16ハースデッキカバー … ……………………………………………… 18スパッタリングターゲット………………………………………… 18アルミ蒸着用アルミナコンポジット・ハースライナー…………… 19ご案内※記載のデータ等内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い、使用目的に適合するかどうかおよび安全性について貴社の責任において確認してください。※記載の当社製品およびこれらを使用した製品を廃棄する場合は、法令に従って廃棄してください。※記載内容は、新しい知見により断り無く変更する場合があります。C O N T E N T S

Page 3:3セラミックス  低膨張チタン酸アルミセラミックス製品/カルシア(CaO)セラミックス製品カルシア(CaO)セラミック製のルツボ、スリーブ、ノズルなどを扱っています。カルシア(CaO)は、他の酸化物素材と比較して、還元されにくく、不活性ガス中、特に真空中において熱力学的に非常に安定した性質をもっています。■用途カルシアセラミックスは、金属溶解用ルツボ、単結晶育成用ルツボ、溶湯用スリーブ、ノズル、鋳型など特にチタン、チタン系合金、銅合金などに最適です。低膨張チタン酸アルミセラミックス製品カルシア(CaO)セラミックス製品■代表特性値■代表特性値[%]緻密質 多孔質CaO > 99.8 98Al2O3 0.03 1MgO 0.01 −Na2O < 0.01 −Fe2O3 < 0.01 −緻密質 多孔質 かさ密度 (g/cm3) 3.1 2.7 気孔率 (%) 0 17〜20 熱膨張係数 (×10-6) 13.6 13.6 熱伝導率 (W/m・K) 16 4 融 点 (℃) 2630 − セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料チタン酸アルミは、AI2O3と TiO2の2成分で唯一の化合物である Al2TiO5 からなり、特有の高耐熱性とマイクロクラック構造による低熱膨張性のため、過酷な熱衝撃に対して非常に強いセラミックです。従来のアルミナ、コージライト、非酸化物セラミックスなどでは不可能だった過酷な条件による使用が可能となりました。■特長(1)優れた耐熱衝撃性 1200℃から急激に水冷しても破損しません。 低い熱膨張性と優れた強度。(2)優れた耐食性 溶融アルミ:繰り返し直接浸漬で3カ月間使用可能。 溶銅スラグ:1250℃の条件下で3時間使用してわずかに侵食。■用途(大気専用)絶縁碍子/金属溶湯用部材(ラドル、ルツボ、ホッパー、ノズル)/各種炉用部材(急熱急冷用治具、セッター)/鍛造・焼き入れ用高周波コイル保護材/自動車部品(排気ダクト、排ガス処理フィルターハニカム/エネルギー関係部材(熱交換器、ガスタービン用セラミックス)等1.210.80.60.40.20-0.20 200 400 600 800 1000温度(℃)熱膨張率(%)アルミナチタン酸アルミ●熱膨張率比較グラフ

Page 4:4 セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料セラミックス真空溶解用ルツボ及び耐火物 真空溶解用ルツボ及び耐火物■材質セラミックスタイプの真空溶解用ルツボとして、アルミナ(Al2O3 )セラミックス、マグネシア(MgO)セラミックス、ジルコニア(ZrO2 )セラミックスを取り扱っています(いずれも多孔質ルツボです)。■サイズ・特性・溶解金属多くのケースに対応できるよう、豊富な品揃えがあります、表1〜3をご参照ください。■その他その他、溶解炉部品として、樋、リップ、タンディッシュ、バックアップセメント(アルミナ、マグネシア)も取り扱っています、表4をご参照ください。■選定方法一般にルツボの選定基準は、溶解金属の種類とその溶解量によって決定されます。純度や耐火性が高いからといって、それが良いルツボとはいえません。この他にスポーリング、金属のぬれ性等も選定する上で重要な必要条件です。使用目的をご確認の上、ご用命ください。■表1 取扱製品リストアルミナ Al2O3 マグネシア MgO ジルコニア ZrO2溶解質量 寸法:外径×内径×高さ 溶解質量 寸法:外径×内径×高さ 溶解質量 寸法:外径×内径×高さ1kg50×40×1001kg50×40×100 1kg 50×40×15050×40×150 50×40×150 2kg 65×48×1502kg 65×48×150 2kg 65×48×1503kg75×60×1603kg85×70×1003kg85×70×100 85×70×15085×70×150 85×70×150 95×80×18095×80×180 95×80×180 100×82×1804kg 104×87×180 4kg 104×87×180 4kg 104×87×1805kg105×86×2305kg105×86×2305kg105×86×230125×100×200 125×100×200 125×100×200125×109×180 125×109×180 125×109×18010kg125×100×25010kg125×100×25010kg125×100×250145×120×240 145×120×240 145×120×240150×120×200 150×120×200 150×120×20015kg 150×120×250 15kg 150×120×250 15kg 150×120×25020kg 160×135×265 20kg 160×135×26530kg170×145×29025kg 170×140×250 25kg 170×140×250 216×190×32030kg170×145×29030kg170×145×290 50kg 235×203×370170×145×320 170×145×320 100kg 314×278×425200×170×300 216×190×320 150kg 360×320×460216×190×32050kg235×203×370 300kg 400×350×60050kg235×203×370   270×245×370(外)  270×245×370(外) 100kg 314×278×425100kg 311×275×425 150kg 360×320×460150kg 355×315×455 300kg 400×350×600300kg 395×345×595 500kg 505×445×700500kg 500×440×695 1000kg 615×525×9251000kg 610×520×9201500kg 710×620×1260[mm]※上記サイズ以外にも多数の型を保有しております。お気軽にご相談ください。※溶解質量は鉄換算になります。※(外)表示のものは二重ルツボの外ルツボとして使用されているものです。

Page 5:5セラミックス 真空溶解用ルツボ及び耐火物■表2 代表特性値素地記号特 性アルミナ質VCAA-SSアルミナ質VCAAアルミナ質VCADアルミナ質A93アルミナ質VCASムライト質VCAMマグネシア質VCMG化学組成(%)Al2O3 99.5 98 96 93 85 69 0.2MgO − − − − − − 98.8ZrO2 − − − − − − −SiO2 0.1 1.5 3 6 14.5 30 0.3CaO − − − − − − 0.4Fe2O3 0.02 0.04 0.1 0.2 0.2 0.7 0.2TiO2 − 0.1 0.1 0.1 0.1 0.2 −Na2O 0.2 − − 0.2 − − −かさ密度 (g/cm3) 2.9 3.2 3.1 2.9 2.8 2.5 3曲げ強度 (MPa) 9〜12 26〜30 28〜32 12〜18 11.5〜15 14〜17.5 12.5〜15.5気孔率 (%) 25〜26 18〜20 18〜20 23〜25 20〜22 24〜27 16〜18熱膨張係数(20〜1000℃)(×10-6) 7.7 7.5 7.2 7.0 5.5 4.5 12.5熱伝導率 (W/m・K) 3.5 3.5 3.4 2.7 2.4 2.1 4.0耐火度 (℃) 2050 2000 1970 1800 1750 1700 2650常用温度 (℃) 1850 1800 1700 1650 1600 1550 1900特 長 −純度高い熱間軟化少ない純度高い熱間軟化少ない高温にて機械強度大きいVCAD と 比 べて耐熱衝撃性に優れる高温にて機械強度もあり比較的耐熱衝撃性も良好急熱急冷に強い塩基性には耐侵蝕性用 途 −溶解ルツボ特殊形状耐火物絶縁物溶解ルツボ特殊形状耐火物絶縁物溶解ルツボ絶縁物溶解ルツボタンディッシュ特殊形状耐火物特殊形状耐火物ノズル溶解ルツボ特殊形状耐火物タンディッシュ素地記号特 性マグネシア質MGLBジルコニア質VCZRジルコニア質VCZR-Sスピネル質VCSPカルシア質CAOシリカ質FSGシリカ質FSG-S化学組成(%)Al2O3 0.2 0.1 1.8 66.7 1 1 6.5MgO 98 0.1 0.2 32.3 0.5 − −ZrO2 − 95 92 − − − −SiO2 0.5 0.3 0.8 0.2 0.3 98 93CaO 0.7 3.9 3.8 0.3 98 − −Fe2O3 0.3 0.2 0.3 0.2 0.1 0.1 0.2TiO2 − 0.2 0.3 − − 0.2 0.2Na2O − − − − − − −かさ密度 (g/cm3) 2.9 4.6 4.7 2.9 2.7 1.7 1.8曲げ強度 (MPa) 8〜12 14.5〜19.5 38〜43 34〜39 9.5〜14.5 7〜9 10〜14気孔率 (%) 20〜22 18〜20 16.5〜18.5 18〜20 17〜20 18〜20 17〜19熱膨張係数(20〜1000℃)(×10-6) 12.3 6 6 6.8 13.6 0.6 1.3熱伝導率 (W/m・K) 3.9 0.8 0.9 2.9 4.0 2.2 2.3耐火度 (℃) 2200 2550 2450 1900 2300 1300 1400常用温度 (℃) 1800 1900 1850 1650 1800 1200 1300特 長 −塩基性には耐浸食性比較的耐熱衝撃性も良好酸性、中性に耐侵蝕性強度大スリップキャスティング製法耐浸蝕性大 活性金属に良好低熱膨張急熱、急冷に極めて強い低熱膨張急熱、急冷に非常に強い用 途 −溶解ルツボタンディッシュ蒸着用ルツボ溶解ルツボ特殊形状耐火物タンディッシュノズル溶解ルツボ特殊形状耐火物溶解ルツボ 溶解ルツボ特殊形状耐火物絶縁物溶解ルツボ特殊形状耐火物特殊形状耐火物タンディッシュ※上記以外にも各種材質を取り揃えていますので、ご相談ください。■表3 ルツボの材質と溶解金属 ■表4 その他溶解炉部品素地記号 気孔状態 溶解金属アルミナ質VCAD多孔質鉄・鋼・銅・白金・銀・ニッケルマグネシア質VCMG多孔質鉄・鋼・白金・金・銀・ニッケル・チタニウム・コバルト・バナジウムジルコニア質VCZR多孔質白金・ロジウム・コバルト・アルミニウム・バナジウム・チタニウム品 名 溶解質量 材 質樋 500kg用 VCASリップ100kg用VCADVCMG500kg用 VCADタンディッシュ100kg用 VCMG10〜15kgVCADVCMGVCZR品 名 容 量 材 質アルミナバックアップセメント20kg /袋HA-24HA-31HA-60マグネシアバックアップセメント20kg /袋MGR-VO2MGR-V60MGR-VM98MGR-VMO3C※その他ノズル・セッターについては各種形状・材質を取り揃えています。

Page 6:6 セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料セラミックス1.210.80.60.40.200 200 400 600 800 1000温度(℃)熱膨張率(%)アルミナAD-AT セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料 AD—ATルツボ(低熱膨張アルミナルツボ)/バックアップ及び補修用セメント(真空溶解用耐火セメント)AD-ATルツボ(低熱膨張アルミナルツボ)バックアップ及び補修用セメント(真空溶解用耐火セメント)AD-AT ルツボは、低熱膨張セラミックであるチタン酸アルミとアルミナを複合材として焼成する事により、通常のアルミナルツボの熱膨張率を下げることに成功いたしました。当社のセラミックス製品は、真空用途専門直系工場で生産しています。真空溶解向け、あるいは EB 蒸着向けのバックアップセメントも取り扱っています。■熱膨張率比較グラフ■代表特性値■代表特性値化学組成(%)Al2O3 83.5SiO2 4.9Fe2O3 0.1TiO2 11.3かさ密度 (g/cm3) 2.7曲げ強度 (MPa) 4〜6熱膨張係数 (×10-6) 4.5耐火度 (℃) 1850常用温度 (℃) 1500商品名特 性マグネシアMGR-V02 MGR-V60 MGR-VM98 MGR-VM03C化学組成(%)Na2O − − − −MgO 97.5 96.9 97.7 95.3ZrO2 − − − −SiO2 0.5 0.9 0.4 2.5CaO 0.5 1 1 1.3Fe2O3 0.5 0.2 0.5 0.2最高温度 (℃) 2000 2000 2000 2000粒  径 3mm以下 1mm以下 3mm以下 3mm以下荷  姿 20kg/袋 20kg/袋 20kg/袋 20kg/袋用  途内張り(叩き込み)、コイル、湯口、バックアップ内張り(コテ塗り)コイル、湯口(コテ塗り)大型ルツボ内 張 りコイル、湯口(叩き込み)大型ルツボ内張りコイル、湯口、廉価品(叩き込み)商品名特 性アルミナ アルミナ アルミナ コイルセメントHA-24 HA-31 HA-60 VCMS-341化学組成(%)Al2O3 99.7 99.7 99.7 96Na2O 0.1 0.1 0.1 −MgO − − − −ZrO2 − − − −SiO2 0.09 0.09 0.09 0.15CaO − − − −Fe2O3 − − − −最高温度 (℃) 1700 1700 1700 1800粒  径 0.8mm以下 3mm以下 0.43mm以下 3mm以下荷  姿 20kg/袋 20kg/袋 20kg/袋 20kg/袋用  途内張り(コテ塗り)コイル、湯口(コテ塗り)内張り(コテ塗り)コイル、湯口(コテ塗り)内張り(コテ塗り)コイル、湯口(コテ塗り)高周波コイル内張り用

Page 7:7セラミックス  EB蒸着ルツボ/溶解用二重ルツボEB蒸着ルツボ■EB蒸着大型ルツボ[特注品]電子ビーム(EB)による磁性材蒸着ルツボとして、大型サイズ(3m以上/分割タイプ)にもお応えしています。■用途・磁気テープ用…………… MgO(MGLB)・Al蒸着… ………………… Al2O3(VCAD)・ガスバリヤ膜用………… Al2O3(VCAD)大型ルツボ例※関連製品として、バックアップ用セメントの販売をはじめ、解体・築炉、磁性材料の回収・マグネシアのリサイクルにお応えしています。溶解用二重ルツボ■特長溶解金属を頻繁に入れ替え評価を行う場合、築炉作業が都度必要ですが、二重ルツボは、内ルツボを交換する事により、面倒な築炉の手間と時間を省き、連続して溶解作業を行うことができます。また、今まで交換が困難であった大型ルツボに関しても、アルミナコロボールを使用することにより、内ルツボ交換を可能にしました。解体作業の省略により、作業環境の著しい改善と工数削減が望めます。二重ルツボ従来ルツボアルミナコロボール溶 解溶 解鋳 造鋳 造築 炉交 換解 体乾 燥2〜3時間2〜3日間特許第4938534号

Page 8:8 セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料セラミックス ファインセラミックスファインセラミックス最も汎用的なアルミナは、99.5%純度品と96%純度品を用意しております。焼成前の加工精度を向上することにより、短納期、低コストを実現しております。他に高強度であるジルコニア、耐熱性・熱伝導率が高いマグネシア、熱伝導率が非常に良い窒化アルミ、耐熱、耐熱衝撃セラミックス、窒化珪素も、単品より迅速に対応いたします。■特長(1)耐熱性にすぐれ、所要の高温に耐え、機密性にすぐれている。(2)高温強度にすぐれ、熱衝撃に強い。(3)耐クリープ性にすぐれ、高温での変化が少ない。(4)化学的に安定で、耐食性にすぐれている。■主な用途・液 晶 用…マスク部品、絶縁部品、耐食性部品各種・半導体用…ウエーハハンド、絶縁部品、絶縁リング窒化アルミ微細加工0.3φ穴加工

Page 9:9セラミックス ファインセラミックス■代表特性値素地記号特性アルミナ99.5ACFA-99アルミナ96ACFA-96ジルコニアVCFZ-YマグネシアVCFM-P色 調 象牙色 白色 乳白色 クリーム色嵩密度 (g/㎤) 3.9 3.6 6 3.2吸水率 (%) 0 0 0 < 0.2機械的特性曲げ強さ (MPa) 340〜450 250 > 1200 > 100圧縮強さ (MPa) 2500〜2900 700〜1200 > 5000 −ヤング率 (GPa) 350〜380 320〜350 180〜220 −ポアソン比 0.23〜0.24 0.23〜0.24 0.3〜0.31 −硬度 (GPa) 15 14 12 −熱的特性熱膨張係数 (×10-6) [0〜800℃]8 7.9 11 13熱伝導率 (W/m・k) 30〜32.7 24〜26 5 11耐熱衝撃抵抗 (℃) 200 300 300 150最高使用温度 (℃) 1500 1400 1500 1700電気的特性誘電率 [1MHz] 10〜10.2 9.4〜9.6 14〜16 −誘電正接 tanδ [1MHz] (×10-4)4〜10 6〜12 − −体積抵抗率 (Ω・㎝) > 1014> 1013> 1012> 1013絶縁破壊電圧 (KV/㎜) > 10 > 10 > 10 −※上記数値はテストピースによる参考値です。使用条件や形状により異なる場合があります。

Page 10:10 セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料カーボン製品0 500 1000 1500温度(℃)12001000800600400200引っ張り強さ(MPa)耐熱鋼 A耐熱鋼 BC/C コンポジット耐熱鋼 A:Fe-Ni-Cr 合金耐熱鋼 B:Fe-Ni-Cr-Co 合金0 500 1000 1500温度(℃)605040302010伸び率耐熱鋼 A耐熱鋼 BC/C コンポジット耐熱鋼 A:Fe-Ni-Cr 合金耐熱鋼 B:Fe-Ni-Cr-Co 合金(%)0 500 1000 1500温度(℃)605040302010熱容量耐熱鋼C/C コンポジット(J/℃)C/Cコンポジット製品●耐熱鋼とC/Cコンポジットの高温強度比較●耐熱鋼とC/Cコンポジットの高温伸び比較●耐熱鋼とC/Cコンポジットの熱容量比較C/C コンポジットは、強化繊維もマトリックスも黒鉛で構成されている、繊維強化複合材料です。金属および一般黒鉛材料と比較して格段に優れた特性を持ち、炭素繊維の高品位・高機能性をフル活用した製品です。■特長●高温強度・高弾性率 1000℃以上の高温でも金属のように強度が低下しません。●低熱膨張率 高温でも金属のような変形がおきません。従来、非常に困難だった自動搬送ラインのトレー、治具に利用することが可能です。●低密度 素材の比重が金属の約5分の1と小さく、軽量化による熱容量の削減が可能です。●破壊靭性値が高い 黒鉛系の材料の中で、格段に靭性値が高く壊れ難い。*1:目違いノッチ試験片圧縮試験法*2:常温にて測定*3:常温〜800℃の平均熱膨張係数(//)=繊維に平行方向( )=繊維に垂直方向■代表特性値強化繊維 長繊維 チョップ繊維繊維配向 0°/90° 2次元ランダムかさ比重 1.60 g/㎤ 1.45 g/㎤曲げ強度 160 MPa 140 MPa曲げ弾性率 65 GPa 35 GPa引張り強度 260 MPa 95 MPa引張り弾性率 80 GPa 45 GPa圧縮強度 90 MPa 90 MPa層間剪断強度*16 MPa 12 MPaショア硬度 70 80電気抵抗率*22200×10-6Ω・㎝ 2300×10-6Ω・㎝熱膨張係数*30.2(//)×10-6/K 0.4(//)×10-6/K5.7( )×10-6/K 9.0( )×10-6/K熱伝導率*227(//)W/m・K 23(//)W/m・K4( )W/m・K 17( )W/m・KC/Cコンポジット製品

Page 11:11カーボン製品■アルバック製熱処理炉搬送用トレー標準仕様対応炉型式最大処理量グロス(kg)寸法質量(kg)金属トレー質量(参考値) (kg)幅(mm) 長さ(mm) 高さ(mm)FHH-45 200 470 700 50 4 35FHH-60 400 620 925 60 7 70FHH-75 650 770 1150 75 12 100FHH-90 1000 920 1375 90 22 210FHH-120 2000 1220 1830 120 56 300■主な用途●金型・治工具等の焼入れ、焼戻し 製品例:搬送用トレー、バスケット、セッター●熱交換器・キャブレター・エバポレーター等の自動車部品のロー付け処理 製品例:搬送用トレー、バスケット、キャリアハンガー、治具●希土類磁石・WC(超硬工具用)の焼結 製品例:搬送用トレー、バスケット、焼結用BOX、セッター●ステンレスの溶体化 製品例:搬送用トレー、バスケット、セッター●溶解炉 製品例:円筒ヒーター※ULVAC製多室型真空熱処理炉FHHタイプ用に設計されています。※上記標準仕様以外のものについてもご使用条件にあわせて設計・製作いたします。C/Cコンポジット製品

Page 12:12 セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料カーボン製品炭素繊維製品 黒鉛部品真空熱処理炉で使用される成形断熱材、フェルト、コンポジットシート、コンポジットボルト等を供給しております。真空熱処理炉に最適な黒鉛部品を取り扱っております。■標準仕様■黒鉛素材表品名 規格寸法(mm) 仕様成形断熱材比重0.13/0.16500×1000×20500×1000×30500×1000×40500×1000×501000×1500×301000×1500×401000×1500×50表面無処理品OSコート(硬化処理品)黒鉛シート貼り黒鉛クロス貼りスライバーヤーン1㎏巻き/ボビン −フェルト1000×5000×8 1000度焼成品2000度焼成品1000×5000×16コンポジットボルトM6〜M40−L50〜400種類単位 等方性 押出成形品 モールド成形品特性どの方向からも均質な性質を示す黒鉛一方向性 一方向性形状角・円柱・円筒・単結晶ルツボ角・円柱・パイプ 角・円柱・パイプ角最大362×623×2147円柱最大φ610×555ディスク最大φ1020×250円筒最大φ1020×φ890×480ルツボ最大φ700×φ590×430角最大150×510×1800円柱最大φ700×1450パイプ最大φ127×3000角最大1095×550×2600円柱最大φ1950×390パイプ最大φ1260×φ900×930かさ密度(g/cm3)1.7〜1.92 1.66〜1.72 1.60〜1.75固有抵抗(μΩcm)900〜1650 600〜1100 850〜1000曲げ強さ(MPa)32〜88 16〜24 12〜16熱膨張係数(×10-6)3〜6.2 0.1〜2 2.5〜2.6 炭素繊維製品/黒鉛部品/蒸着用黒鉛ルツボ※その他寸法についてはご相談ください。

Page 13:13金属加工品    高融点金属加工品 セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料蒸着用黒鉛ルツボサポートコイル黒鉛ルツボ断熱材アルミ反応防止 Ti 板ガラステープルツボ台コイル台耐火ルツボ■表1 消耗品リストアルミ蒸着用の黒鉛ルツボを取り扱っています。その他必要な耐火ルツボ、ルツボ台、コイル台、断熱材、サポート、反応防止チタン板、ガラステープ、アルミ等を取り揃えています。消耗品名 材質・形状黒鉛ルツボ 黒鉛+特殊含浸処理耐火ルツボ 耐熱性セラミックスルツボ台 耐熱性セラミックスコイル台 耐熱性セラミックス断熱材 黒鉛断熱材サポート 絶縁セラミックス反応防止Ti板 0.5mm×8mm×30mmガラステープ 0.25mm×25mm×30mAlショット 2〜3mm粒インゴット 50g、100g、200g、300g■図1 アルミ蒸着源 構造図高融点金属加工品ボート、フィラメント、アークチャンバー、ヒーターなど高融点金属加工品は、ステンレス鋼、銅(Cu)をはじめ、タングステン(W)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)など各種材質を取り扱っています。半導体製造プロセス用としてイオン注入用アークチャンバー、スパッタ装置用シャッター治具などの特注製作も行っています。

Page 14:14金属加工品    セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料aLtbaLtb金抵抗加熱用ボート抵抗加熱用ボート抵抗加熱用ボートは標準品として CB タイプと VB タイプの2種類を取り扱っています。材質は、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、タンタル(Ta)を扱っています。■表1 標準形状●CBタイプ■表2 標準形状●VBタイプ※特注形状もございますのでお問い合わせください。寸法(mm)t b L a(深さ)CB-1 0.1 6 100 40 1.52 0.1 7 100 40 1.53 0.1 10 100 50 24 0.15 6 100 40 1.55 0.15 7 100 40 1.56 0.15 8 100 40 1.77 0.15 10 100 50 28 0.2 6 100 40 1.59 0.2 7 100 40 1.510 0.2 8 100 40 1.711 0.2 10 100 50 212 0.3 7 100 40 1.513 0.3 8 100 40 1.714 0.3 10 100 50 215 0.5 6 100 40 1.516 0.5 7 100 40 1.517 0.5 8 100 40 1.718 0.5 10 100 50 2寸法(mm)t b L a(深さ)VB-1 0.1 6 100 40 1.52 0.1 7 100 40 1.53 0.1 10 100 50 24 0.15 6 100 40 1.55 0.15 7 100 40 1.56 0.15 8 100 40 1.77 0.15 10 100 50 28 0.2 6 100 40 1.59 0.2 7 100 40 1.510 0.2 8 100 40 1.711 0.2 10 100 50 212 0.3 7 100 40 1.513 0.3 8 100 40 1.714 0.3 10 100 50 215 0.5 6 100 40 1.516 0.5 7 100 40 1.517 0.5 8 100 40 1.718 0.5 10 100 50 2

Page 15:15成膜材料    電子ビーム蒸着用ハースライナー※ご使用に際しましては、必ず貴社にて事前にテストを行い使用目的に適合するかどうか、および安全性について貴社の責任において確認してください。電子ビーム蒸着用ハースライナーハースライナーは、EB 蒸着機用コンタミネーション防止、クリーニングの軽減に役立ちます。■参考例■ハース容量原子番号 材料 材 質12 Mg Al2O3、C、Mo13 Al アルミナコンポジット14 Si C、ZrO222 Ti C23 V Mo24 Cr C25 Mn C、Mo26 Fe Al2O3、MgO、ZrO227 Co Al2O3、MgO28 Ni Al2O3、MgO29 Cu Al2O3、BN、C、Mo30 Zn Al2O3、C、Mo31 Ga Al2O3原子番号 材料 材 質32 Ge Al2O3、C34 Se Al2O3、C39 Y Al2O3、Ta45 Rh C、ZrO246 Pd Al2O347 Ag Al2O3、C、Mo49 In Al2O3、C、Mo、Ta50 Sn Al2O3、C、Ta78 Pt C、ZrO279 Au Al2O3、BN、C、Mo、W82 Pb Al2O3、Fe、W83 Bi Al2O3、C、Mo、Ta蒸着源種類 容 量(cm3)EGK-3 2.6EGK-3M 2.9EGL-35 40EGL-35M 40または10EGL-206M 20EGL-406M 40EGL-110 110EGL-80M 110EGL-103S 10 セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料

Page 16:16成膜材料     セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料 電子ビーム蒸着材料電子ビーム蒸着材料電子ビーム蒸着材料を各種取り揃えています。■常備在庫品■蒸着源材質 純度(%) 形状(mm) パーツNo. 分析不純物Ti 99.8 φ13×7.5 6T4107100000 Fe、CTi 99.5 0.5×8×30 6T4107200000 Fe、CNi 99.9 10×14×20 6T4105300000 C、Si、Mn、Fe、Co、P、SNi 99.9 10×14×7 6T4105200000 C、Si、Mn、Fe、Co、P、SMo 99.98 10×12.5×7 6T4104100000 Ni、Fe、C※分析方法についてはお問い合わせください。原子番号材料純度(%)真比重(g/cc)蒸発温度(℃) 形  状 蒸着原材料EB法適否備 考融点(℃)蒸気圧1×10-2Pa蒸気圧1×10-4Paブロック粒状粉状薄片 ワイヤ 板ボートフィラメントルツボ5B99.02.38※ 1797 ※ 1548 − − − − − − − 不適 −22256C99.9〜99.9992.25※ 2137 ※ 1867 ○ ○ − − ○ − − 不適 −382712Mg99.9〜99.991.74※ 327 ※ 274 ○ − ○ − − Mo,Ta,WMo,Cアルミナ良 −65013Al99.0〜99.9992.701010 817 ○ − − ○ ○WBN compアルミナコンポジット良ぬれ性強いRMと合金化66014Si99.999〜11N2.341337 1147 ○ − − − − −ジルコニアC優 酸化物と反応141022Ti99.8〜99.994.501453 1235 ○ ○ − ○ ○ Ta C 優Wと反応しTaとは反応せず167023V99.76.101547 1332 − − ○ − − Mo Mo 優WとTaと合金化、Moとは作らず190224Cr99.8〜99.9987.20※ 1157 ※ 977 ○ ○ ○ − ○W(Crメッキ)C 良 −187525Mn99.9〜99.997.44647 572 − − ○ − − Mo,Ta,WアルミナMo,C良 RMにぬれる124426Fe99.9〜99.997.861180 998 ○ − − ○ ○ Wアルミナマグネシア優 RMと合金化153627Co99.0〜99.998.901200 990 ○ ○ − ○ ○ Wアルミナマグネシア優Mo,Ta,Wと合金化149228Ni99.0〜99.968.901262 987 ○ ○ − ○ ○ Wアルミナマグネシア優Mo,Ta,Wと合金化1453

Page 17:17成膜材料    ※ =昇華  ○=製作可能  RM = Mo,Ta,W等   電子ビーム蒸着材料原子番号材料純度(%)真比重(g/cc)蒸発温度(℃) 形  状 蒸着原材料EB法適否備 考融点(℃)蒸気圧1×10-2Pa蒸気圧1×10-4Paブロック粒状粉状薄片 ワイヤ 板ボートフィラメントルツボ29Cu99.9〜99.998.961017 857 ○ ○ ○ ○ ○ Mo,Ta,WMo,BN,Cアルミナ優Mo,Ta,Wにややぬれる1083.430Zn99.9997.14250 177 ○ ○ − − − Mo,Ta,WMoアルミナ,C優RMにぬれる合金化せず419.531Ga99.995.91807 747 ○ ○ − − − − アルミナ 良 耐火物と反応29.832Ge99.9995.321167 957 ○ − − − ○ Mo,Ta,W,CアルミナC優RMにぬれるCにぬれにくい937.334Se99.9〜99.994.79170.1 127 ○ ○ − − − Mo,WアルミナC良毒性注意ぬれ性強い21739Y99.94.481157 973 ○ ○ ○ − ○ Ta,WアルミナTa良 −150240Zr99.26.491987 1702 ○スポンジ○− − ○ W − 優Wとわずかに合金をつくる185241Nb99.98.42287 1977 ○ − − ○ ○ W − 優Wと合金をつくる246742Mo99.9〜99.9810.22117 1822 ○ − − ○ ○ − − 優ワイヤへ直接通電可261745Rh99.912.441707 1472 ○ − − ○ − WCジルコニア良 −196046Pd99.9512.021192 997 ○ ○ − ○ ○ W アルミナ 良 RMと合金を作る155247Ag99.99〜99.99910.492684 617 ○ ○ − ○ − Mo,Ta,WMo,Cアルミナ優 Wにぬれる96148Cd99.9〜99.9998.65180 120 ○ ○ − − − Mo,Ta,WアルミナTa不適 毒性注意321.0349In99.9〜99.9997.31742 597 ○ ○ − ○ ○ Mo,WTa,Mo,Cアルミナ優 −156.650Sn99.9〜99.99997.29997 807 ○ ○ − ○ − Mo,TaTa,Cアルミナ優 Moぬらし反応231.9151Sb99.99996.62425 345 ○ − − − − Mo,TaBN,Cアルミナ不適 毒性注意63152Te99.99〜99.99996.25277 207 ○ ○ − − − Mo,Ta,WMo,C,Taアルミナ不適 毒性注意449.8希土類 99.9−− − ○ − − − ○ Ta アルミナ 不適 −−72Hf98.013.33090 2250スポンジ○− − − − − − 良 −222773Ta99.916.62590 2240 ○ − − ○ ○ − − 優ワイヤへ直接通電可299874W99.9519.32757 2407 ○ − − ○ ○ − − 良 酸化し易い338075Re−21.22571 2207 ○ − − − − − − − −316077Ir−22.52380 2080 ○ − − − − − − − −244378Pt99.95〜99.99521.451747 1492 ○ ○ − ○ ○ WCジルコニア優Ta,Nb,Moと合金を作る177079Au99.9919.31132 947 ○ ○ − ○ ○ Mo,WMo,BN,C,Wアルミナ優W,MoぬらすTaは合金を作る106382Pb99.999911.4497 427 ○ ○ − − − Mo,Ta,WW,Feアルミナ優 RMとぬれない327.383Bi99.9〜99.99999.8520 410 ○ ○ − − −Mo,TaW,NiMo,C,Taアルミナ良 −271.37

Page 18:18成膜材料     セラミックス カーボン製品 金属加工品 成膜材料 ハースデッキカバー/スパッタリングターゲットハースデッキカバー スパッタリングターゲットハースデッキカバーは、ハースデッキに付着した金属をはがす作業を低減します。■特長(1)ハースデッキを傷つけることなくスマートに膜剥離(2)ハースデッキへの不純物の食い込み防止(3)ハースデッキのたわみに起因した故障が解消(4)ハースデッキの長寿命化※ハースデッキカバーは、ハースデッキ本体とセットでのご購入となります。 高純度、均一組成、高密度、低ガス成分などターゲット材料・蒸着材料に要求される高品質な製品、スパッタリングターゲットを各種取り揃えています。また、ボンディング、バッキングプレートのみの製作も可能です。使用済みターゲット材の回収についてはお問い合わせください。■ターゲット例■型式材質 仕様 純度(%) サイズC 高純度カーボン 99.999 φ4"×6t〜5"×20"×6tAl 真空溶解材 99.99 φ4"×6t〜5"×20"×6tTi プラズマアーク材 99.8 φ4"×6t〜(3N8)5"×18"×6tCr 焼結品 99.9 φ4"×6t〜5"×20"×6tFe 真空溶解材 99.99 φ4"×6t〜5"×20"×6tNi 真空溶解材 99.9 φ4"×3t〜(4N)5"×18"×3tCu 真空溶解材 99.99 φ4"×6t〜5"×20"×6tZn 大気溶解材 99.99 φ4"×6t〜5"×20"×6tMo 電子ビーム溶解材 99.9 φ4"×6t〜5"×18"×6tTa 電子ビーム溶解材 99.95 φ4"×6t〜5"×18"×6tFe-Ni 真空溶解材 99.8 φ4"×2t〜5"×18"×2tSiO2 合成石英 99.9999 φ4"×6t〜5"×20"×6tSi3N4 反応焼結材 99.5 φ4"×6t〜8"×18"×6tZnS 焼結品 99.99 φ4"×6t〜5"×18"×6t●EGL-35M●EGL-206M●EGL-406M●EGL-80M

Page 19:19成膜材料    アルミ蒸着用アルミナコンポジット・ハースライナー■特長●省エネ ハースライナーの断熱効果により、省電力で蒸着レートが高まる●長寿命 従来の BN コンポジットと比較して、曲げ強度が約5倍と高くロングライフ化を実現■仕様●ハースライナー使用有無の比較グラフ項 目 仕     様EBガン ULVAC製 EGL-35、35M、406M、EGO-40M(各40cc用)寸 法 φ50 /φ40×25mm内容積 17ccアルミ投入量 36g■特記事項• 急激なパワー投入は破損の原因となります。• 外観は焼成品のため色むらがあります。• その他の形状についてもご相談に応じます。・記載のデータ等、内容は代表的な実験値や調査に基づくもので、その記載内容についていかなる保証をなすものではありません。▼本ハースライナー使用にて蒸着中        アルミ蒸着用アルミナコンポジット・ハースライナー60504030Power[×100W]20100:01:300 0:03:00 0:04:30 0:06:00 0:07:30 0:09:00 0:10:30 0:12:00Time [ M ]30252015RATE[Å/s]105ライナー有 15Å Powerライナー無 15Å Powerライナー有 15Å Rateライナー無 15Å Rate0 0

Page 20:アルバックテクノ株式会社www.ulvac-techno.co.jpTJ0300-9/15052000AP