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微流量調整ベローズシールバルブ BMNシリーズ

製品カタログ

半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用

BMNシリーズ ベローズシール微量流量調整バルブは、半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用で、高信頼・高耐久性にお応えできるベローズシールバルブです。そのニーズ゙に的確にお応えできる優れた特徴は、精密ニードルによるすぐれた流量特性、マイクロメーターハンドルによる高精度な繰返し流量調整など、高い技術力と経験でお客様へ流体・用途別の製品をご提供いたします。

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このカタログについて

ドキュメント名 微流量調整ベローズシールバルブ BMNシリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 182Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 イハラサイエンス株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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イハラサイエンス株式会社

このカタログの内容

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C l e a n n e s s  b y  P u r p o s e  ベローズシール微量流量調整バルブ IHARA SCIENCE CORPORATION
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  BMN  ベローズシール微量流量調整バルブ 【特徴】 BMNシリーズ ベローズシール微量流量調整バルブ は、半導体製造プロセスにおいて不可欠な高純度ガス用で、高信 頼・高耐久性にお応えできるベローズシールバルブです。そのニーズ゙に的確にお応えできる優れた特徴は、精密ニードル によるすぐれた流量特性、マイクロメーターハンドルによる高精度な繰返し流量調整など、高い技術力と経験でお客様へ 流体・用途別の製品をご提供いたします。  仕様  寸法表 サイズ 1/4” 【VTF(メタルガスケットシール継手)オス接続】 使用圧力(Vac.~) 1MPa 使用温度 -10~+80℃ Cv値 0.005 0.01 0.02 外部 ≦ 5×10-10Pa・m3/sec. 許容リーク量 弁座 ≦ MaxCv値の1/100  材質 ボディー SUS316L ベローズ SUS316L ニードル SUS316L ガスケット SUS316(PFA coating) (*)仕様・材質等の詳細は弊社営業部員へお尋ね下さい。  型番の表示 BMN - 4 VM - EP - 0.01 Type L H h W C T(inch) サイズ 接続 内面処理 Cv BMN-4VM 58 95 11 13 25 9/16-18UNF 他接続及び、詳しい寸法は弊社営業部員又は図面をご確認願います。 4 : 1/4" EP:電解研磨処理 BA:機械加工肌  流量特性 VM : VTF(オス) Cv 0.005 VF : VTF(メス) Cv 0.01 D :BI-Lok Cv 0.02 ISO9001/ ISO14001認証事業所 高圧ガス設備試験・製造認定事業所 N弁類、N-Ⅱ継手類認定事業所 ・注意 継手、バルブ、関係するアクセサリーの不適切な選択又は取り扱い TUVラインランド技研㈱認定工場 は、人体やシステムに障害・損傷を与える恐れがあります。システム設計者 及びユーザーの責任と権限による判断のもとに、使用されるシステムとの適 合性や使用条件を考慮のうえ、継手、バルブ、関連するアクセサリ-を選定 し、適切な取り付け、操作及びメンテナンスを行って下さい。ご使用にあた り、取扱説明書をお読みいただき内容をよくご理解下さい。取扱説明書 がお手元に無い場合及び不明な点はもよりの事業部営業部にお問合 せ下さい。 営業部 ・東日本/〒140-0014 東京都品川区大井4丁目13番17号 ・関西/〒530-0043 大阪府大阪市北区天満4丁目1番地18号 TEL:03-5742-2221(代) FAX:03-5742-2231 TEL:06-6358-9255(代)  FAX:06-6358-9260 ・中部/〒460-0012 名古屋市中区千代田3丁目14番19号 ・山形/〒999-3701 山形県東根市大字東根甲5600番地3号 TEL:052-323-2627(代) FAX:052-323-2630 TEL:0237-43-7802(代) FAX:0237-43-7803 ・中国、四国、三和興業/〒712-8044 岡山県倉敷市東塚1丁目17番20号 ・九州/〒862-0913 熊本県熊本市尾ノ上1丁目1番8号 TEL:086-455-1811(代) FAX:086-455-1822 TEL:096-386-5353(代) FAX:096-386-5354 ■URL:http://www.ihara-sc.co.jp ■本カタログの記載内容は、商品の改良等のため予告なく変更することがありますので、予めご了承ください CAT NO:114