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ウェーハのエッジをグリップし、自由自在に目視可能! 目視外観検査用ステージ Model VIS2

製品カタログ

300mmウェーハの目視検査用ステージユニットです

■用途
・300mmウェーハの目視検査用ステージユニットです。
・ウェーハのエッジをグリップし、自由自在に目視ができます。

■主な仕様
・エッジグリップ方式:ウェーハエッジをチャック開閉機構によりメカニカルチャック
・ウェーハ接触部:ポリイミド樹脂を使用(オプションでPEEK材)
・自転機構:回転角360°∞, 分解能0.024°
ほか

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このカタログについて

ドキュメント名 ウェーハのエッジをグリップし、自由自在に目視可能! 目視外観検査用ステージ Model VIS2
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 722.6Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 芝浦エレテック株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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目視外観検査用ステージ Model VIS2 Visual inspection stage 用 途 Usefulness 300mmウェーハの 目視検査用ステージユニットです。 It is a stage unit for visual inspection of 300 mm wafers. ウェーハのエッジをグリップし、 自由自在に目視ができます。 Grip the edge of the wafer, you can observe freely. Model VIS2 主な仕様 Main Specifications 項 目 Items 内 容 Contents ウェーハエッジをチャック開閉機構によりメカニカルチャック エッジグリップ方式/Edge grip method Wafer edge to chuck opening and closing mechanism More mechanical chuck ウェーハ接触部/Wafer contact part ポリイミド樹脂を使用(オプションでPEEK材)Use polyimide resin (Optional PEEK material) 自転機構/Rotation mechanism 回転角360°∞, 分解能0.024°Rotation angle 360° ∞, Resolution 0.024° 傾斜機構/Tilting mechanism 傾斜角±20°, 分解能0.012°Inclination angle ± 20° , Resolution 0.012° 旋回機構/Turning mechanism 旋回角±90°, 分解能0.033°Rotation angle ± 90°, Resolution 0.033° 手動: スイッチ、ジョイスティックを操作 制御方法/Control method Manual: Operate switch, joystick自動: 上位よりシリアル通信制御 Automatic: Serial communication control from higher level 電源/Power supply AC100V, 240W 質量/mass 30kg以下/30kg or less ▲ ▲