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【号機間の差異を見える化! トレーサビリティ活用で稼働率UP】IoTサービスツール キノシステム

製品カタログ

高い直感性・拡張性かつ廉価な導入が可能!

【商品・サービス特性】
号機間の差異を見える化! トレーサビリティ活用で稼働率UP

【芝浦メカトロニクスグループIoTサービスの差異化ポイント】
製造・リノベーション・メンテナンスの知見で、生産・製造管理をバックアップします。

●直感性
 その場で装置改善ポイントが判る

●拡張性
 当社エンジニアがお客様の声にフレキシブルに対応

●廉価な導入
 大幅なシステム変更不要
 投資効果を発揮

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このカタログについて

ドキュメント名 【号機間の差異を見える化! トレーサビリティ活用で稼働率UP】IoTサービスツール キノシステム
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.5Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 芝浦エレテック株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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EMIシールド用スパッタリング装置 IoTサービスツール CCSシリーズ キノシステムR Sputtering Equipment for EMI Shielding CCS-2110 IoT Service Tools, XiNO System お客さまのメリット Benefit to Customers 商品・サービス特性 Features 号機間の差異を見える化! トレーサビリティ活用で稼働率UP Sputtering at Low Temperature High uniformity High productivity Visualization of The Differences ! Utilization Rate Up With Traceability. SUS/Cu/SUS 6μm:60℃以下*1 ±1%以下*1 over 12,000 UPH*1 写真はイメージです。 Image is for illustration purposes. 80 逆スパッタ SUS: 0.5μm SUS: 70 Cu: 5μm 0.5μm 60 SUS 50 40 Cu 6μm 30 20 SUS 10 0 TOP -1200 -600 0 600 1200 1800 2400 3000 3600 Time[sec] 積層膜(SUS:0.5/Cu:5.0/SUS:0.5[μm] パワー半導体用裏面スパッタリング装置 R SWN-5000 Sputtering Equipment for Power Semiconductor of Backside 芝浦メカトロニクスグループIoTサービスの差異化ポイント お客さまのメリット Benefit to Customers Differentiated Points of IoT Service by Shibaura Mechatronics Group 製造・リノベーション・メンテナンスの知見で、生産・製造管理をバックアップします。 With Knowledge and Experience of Production, Renovation and Maintenance, We Can Support Your Production and Manufacture Management. Thin Wafer Thermal Control of Wafer High productivity <t100μm 25~200℃( ESC) 25 wafers<60min. 項 目 Items 仕 様 Spec. ① 300 mm cathode Intuitiveness Scalability Inexpensive Introduction Process Chamber ② 150 mm Multi cathode その場で 当社エンジニアがお客様の声に 大幅なシステム変更不要 application ③ Heating chamber 装置改善ポイントが判る フレキシブルに対応 投資効果を発揮 ④ Sputter Etching Find Points to Improve Responding Flexibly System Unchanged Uniformity < ±5%(φ200mm)*1 *1)弊社条件での数値となります。設定条件により数値は変動いたします。 The specs shown above were attained under our conditions. They are fluctuated based on conditions set. Temperature[℃] ▲ ▲
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「見えない」生産現場を “見える”生産現場に Make it visible. 設備情報の可視化と 生産性・効率化向上ソリューション Find the problems of factory. Manage productivity and efficiency. 必要な人に必要な情報を Display many informations. ●稼働状況、稼働率 Operating condition 稼働監視 ●効率性Efficiency Operation monitoring ●QC ●メンテナンス計画 Quality control データ分析 予防保全 Maintenance plan ●トレーサビリティ ●Data analysis. Preventive maintenance 警報発生傾向 Traceability Alarm occurrence tendency ●交換履歴 Traceability of parts exchange ●離れた場所での情報表示 Information display in a remote location 情報周知 エネルギー ●生産性 ●PC、スマホから閲覧 Productivity View from PC, smartphone Information wisdom energy ●省エネ Energy saving
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目視外観検査用ステージ Model VIS2 Visual inspection stage 用 途 Usefulness 300mmウェーハの 目視検査用ステージユニットです。 It is a stage unit for visual inspection of 300 mm wafers. ウェーハのエッジをグリップし、 自由自在に目視ができます。 Grip the edge of the wafer, you can observe freely. Model VIS2 主な仕様 Main Specifications 項 目 Items 内 容 Contents ウェーハエッジをチャック開閉機構によりメカニカルチャック エッジグリップ方式/Edge grip method Wafer edge to chuck opening and closing mechanism More mechanical chuck ウェーハ接触部/Wafer contact part ポリイミド樹脂を使用(オプションでPEEK材)Use polyimide resin (Optional PEEK material) 自転機構/Rotation mechanism 回転角360°∞, 分解能0.024°Rotation angle 360° ∞, Resolution 0.024° 傾斜機構/Tilting mechanism 傾斜角±20°, 分解能0.012°Inclination angle ± 20° , Resolution 0.012° 旋回機構/Turning mechanism 旋回角±90°, 分解能0.033°Rotation angle ± 90°, Resolution 0.033° 手動: スイッチ、ジョイスティックを操作 制御方法/Control method Manual: Operate switch, joystick自動: 上位よりシリアル通信制御 Automatic: Serial communication control from higher level 電源/Power supply AC100V, 240W 質量/mass 30kg以下/30kg or less ▲ ▲
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目視外観検査用ステージ Siウェーハにクリーンで Model VIS2 高速・高精度なマーキング Visual inspection stage Clean, Highest Speed & Highest Accuracy Marking on Si wafer - Soft / Hard Marking 用 途 ウェーハマーカ LAY-775シリーズ Usefulness YAG Laser Wafer Marker 300mmウェーハの クリーンで高速なマーキング 目視検査用ステージユニットです。 Clean & High speed soft marking It is a stage unit for visual inspection of 300 mm wafers. コンパクト設計 Small foot print ウェーハのエッジをグリップし、 自由自在に目視ができます。 簡単メンテナンス Grip the edge of the wafer, you can observe freely. (完全空冷LD励起) Easy maintenance (Air cooled LD pumped)  200mm-300mm対応 Model VIS2 (Open / FOUP対応) 主な仕様 For 300mm(FOUP) wafer /200mm-300mm Main Specifications ウェーハ厚400-3500μm対応 Thickness 400-3500μm 項 目 Items 内 容 Contents ウェーハエッジをチャック開閉機構によりメカニカルチャック エッジグリップ方式/Edge grip method Wafer edge to chuck opening and closing mechanism More mechanical chuck ウェーハ接触部/Wafer contact part ポリイミド樹脂を使用(オプションでPEEK材)Use polyimide resin (Optional PEEK material) ソフトマーキング ロボット&アライナー 自転機構/Rotation mechanism 回転角360°∞, 分解能0.024°Rotation angle 360° ∞, Resolution 0.024° Soft marking Robot & Aligner 傾斜機構/Tilting mechanism 傾斜角±20°, 分解能0.012°Inclination angle ± 20° , Resolution 0.012° 旋回機構/Turning mechanism 旋回角±90°, 分解能0.033°Rotation angle ± 90°, Resolution 0.033° 主な仕様 Main Specifications 手動: スイッチ、ジョイスティックを操作 制御方法/Control method Manual: Operate switch, joystick自動: 上位よりシリアル通信制御 Item Specification Note Automatic: Serial communication control from higher level Wave length 1.06um / 0.53um LD pumping 電源/Power supply AC100V, 240W Laser power 6.0W / 3.5W 質量/mass 30kg以下/30kg or less Mark accuracy ±0.075-0.25mm UPH 80-170WPH Wafer / Hour ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲
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「見えない」生産現場を 世界中のネットワークを駆使した “見える”生産現場に 中古装置サービス Make it visible. The Used Equipment Service Using the Worldwide Network 設備情報の可視化と 中古装置販売・買取サービス 生産性・効率化向上ソリューション The Used Equipment Sale and Purchase Service Find the problems of factory. Manage productivity and efficiency. 半導体製造装置・FPD製造装置・真空応用装置などの 中古装置販売および買取・仲介を行なっております。 Used Equipment Out of Such as Semiconductor Manufacturing One, FPD Manufacturing One and Vacuum Application One etc. are Dealt with the Transaction in Selling, Purchasing as well as Trading. 装置リニューアル・バージョンアップ Equipment Renewal and Version Up ニーズに合わせリニューアル・バージョンアップを行います。 Equipment Renewal and Version Up Meeting the Needs are Performed. 必要な人に必要な情報を Display many informations. ●稼働状況、稼働率 Operating condition 稼働監視 ●効率性Efficiency 中古装置レンタルサービス Operation monitoring The Used Equipment Rental ●QC ●メンテナンス計画 Quality control データ分析 予防保全 Maintenance plan 芝浦メカトロニクス製中古装置を利用した ●トレーサビリティ ●Data analysis. Preventive maintenance 警報発生傾向 Traceability Alarm occurrence tendency 新しい装置の活用方法で、 ●交換履歴 Traceability of parts exchange 確実な投資効果を目指したプログラムです。 It is the Program Aiming at a Reliable Investment Effect and the New Method of Utilizing Used Equipment Manufactured ●離れた場所での情報表示 by Shibaura Mechatronics Corp. Information display in a remote location ●生産性 ●PC、スマホから閲覧 情報周知 エネルギー Productivity View from PC, smartphone Information wisdom energy ●省エネ Energy saving ▲ ▲ ▲