荷重フィードバック制御
＜特徴＞
・荷重フィードバック制御
・最大発生力： 12N
・分解能 ： 1mN
・応答性 ： 30msec程度
・用途 ： チップマウンター、プローブ制御、フロー制御、精密加工等
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 荷重制御ピエゾステージ AST-LAOD-12N |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 71.7Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | オングストロームテクノロジー株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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AST-LAOD-12N
荷重制御ピエゾステージ
■ 特徴
● 荷重フィードバック制御
● 最大発生力： 12N
● 分解能 ： 1mN
● 応答性 ： 30msec程度
● 用途： チップマウンター、プローブ制御、
フロー制御、精密加工等
■ 主な仕様 荷重（N） vs 指令電圧 (V)
7.00
型式 AST-LAOD-12N 6.00
最大発生力 12N 5.00
分解能 < 1mN 4.00
剛性 0.06N/μm 3.00
センサー 歪みゲージ 2.00
共振周波数 > 120H 1.00
温度：-１０℃～＋８０℃但し結露なきこと 0.00
使用環境 -4
真空度:10 Pa -15 -10 -5 0 5 10 15
指令電圧(V)
オングストロ－ムテクノロジ－株式会社 E-MAIL：info@angstromtec.net TEL/FAX：0428-85-8535
（N)