【MAC / FOSB/ウエハケース】　ミライアル　製品カタログ

P R O D U C T S G U I D E 〒170-0013 東京都豊島区東池袋1-24-1 TEL.03-3986-3781 FAX.03-3986-3853 1-24-1 Higashi-Ikebukuro, Toshima-ku, Tokyo 170-0013, Japan TEL. +81-3-3986-3781 FAX. +81-3-3986-3853 http://www.miraial.co.jp 2018.07

PRODUCTS GUIDE Contents 450mm MAC / FOSB KT-4501 4 CASSETTE 5inch PEEK Cassette CW-05 18 Single Wafer Case SC-450 5 CW-05KE CW-05KE-T2 KM-509K-SA 300mm Auto Door FOSB KT-3004A 6 KM-509K-SU KT-3004A-2 FOSB 5inch PBT Cassette KM-511NE-SH 18 KT-3002D 7 FOUP KT-3003 8 5inch PBT Cassette KM-511T-SH 19 Single Wafer Case SC-300 10 5inch PP Cassette KM-50PN 19 PFA Cassette KM-1201-A2 KM-50PN-H11 KM-1205-A 4inch PFA Cassette KM-40N 19 PBT Open Cassette KM-1202T-A 11 KM-40NA KM-40S KM-40WD SHIPPING 8inch Shipping Box WIN200P 12 K-40 モノづくりの実績を結集したミライアルの強み 6inch Shipping Box KM-1005BOX CP-60 13 4inch Wafer Case CB-403P 13 4inch PEEK Cassette CW-04 20 CW-04KE The consistent production line 3inch Wafer Case CB-301P 132.5inch Wafer Case 20 CB-2.501P 13 4inch PP Cassette KM-40PN KM-40MBP 2inch Wafer Case CB-203P 13 クリーンルームと ISO9001、ISO14001 Under 3inch PFA Cassette KM-30 21 KM-30N 一貫生産体制 化学分析体制 認証取得 CASSETTE 8inch PFA Cassette KM-80NA 14 KM-30WD KM-803-H K-30 KM-804-H KM-25 KM-822-A1 KM-25-51 製品設計、金型製作から成形、検査に至る全 今後ますます厳しくなるであろうクリーン度に対す お客様の信頼に応える万全の品質保証体 KM-822-A2 KM-20 K-20 ての工程を自社に保有し、一貫生産体制を整 る要求。徹底管理されたクリ－ンルームと、多様な 制を構築しているとともに、環境を意識 8inch PEEK Cassette KM-839K-A1 14 K-15 えています。お客様の要求品質に、正確かつ 化学分析を可能とする設備を有することで、パー した地球に優しいモノづくりに全従業員 KM-839K-A3 ISO9001 KM-839K-H1 Under 3inch PEEK Cassette KM-302KE-SA 21 スピーディにお応えします。 ティクルタイトとケミカルタイトを共に実現する生 が取り組んでいます。 ISO14001 KM-841K-H1 産システムでお応えしていきます。 （登録の範囲：半導体シリコンウエハ用バスケット及びケースの設計・製造） KM-302K-SA KM-841K-H2 CW-08KE Under 3inch PP Cassette KM-30PN 21 CW-08KE-T We have our own consistent production structure In response to requirements for cleanness that will We have constructed a complete qual i ty 8inch PBT Cassette PFA Cassette For Square Wafers KM-513-MA 22 KM-834NE-H 15 covering all processes from product design, the become more strict in future, we will provide a assurance structure in response to customer KM-514P-MA KM-854NE-A AM-100 provision of molds, and molding to inspection, so m a n u f a c t u r i n g s y s t e m m a t e r i a l i z i n g b o t h requirements, and all employees are working to KM-854NE-H 100MASK t h a t w e c a n r e s p o n d t o c u s t o m e r q u a l i t y particle-tight and chemical-tight simultaneously by materialize manufacturing that is more friendly KM-854NE-H4 60MASK requirements precisely and promptly. establishing a thoroughly controlled clean room and to the global environment. KM-855NE-A 50MASK KM-855NE-H facilities capable of diversified chemical analyses. 6inch PFA Cassette Aluminium Cassette MC-80 22 KM-60NA 15 MC-60 KM-60NAT MC-50 KM-60NM MC-40 1. 製品設計 2. 金型設計 3. 金型製作 4. 成形 5. 検査 6. 出荷 KM-60WD MC-30 KM-602-A KM-602-U BOX BOX CB-4501 23 KM-604-U CB-4502TX KM-615-A1 CB-5601P KM-623-U CB-5602E KM-626-U CB-5604TX 6inch PEEK Cassette CB-5605TX KM-627K-SA 16 CB-80-A KM-627K-SH CB-804TX KM-628K-SH 1. Product design 2. Mold design 3. Mold production 4. Injection molding 5. Inspection 6. Shipment CB-806 KM-632K-SA CW-06 HM Type Handles HM-20 24 CW-06KE-T1 HANDLE HM-25 CW-06KE-T2 HM-30 6inch PBT Cassette HM-40 KM-627NE-SA 16 HM-50 KM-627NE-SH HM-60 KM-631NE-H HM-80 KM-654NE-H HM-120 KM-610NE-A2 HM-1203 6inch PBT Cassette HG Type Handles HG-40 24 KM-610T-A2 17 HG-50 KM-619P-A HG-60 KM-631T-H HJ Type Handles HJ-40 25 6inch PP Cassette 17 HJ-50 KM-60PN HJ-60 KM-60PA HJ-80 KM-60PA2 HS Type Handles HS-30 25 KM-602P-A HS-40 KM-602P-U HS-50 KM-602P-H HS-60 5inch PFA Cassette PFA Handles For K Series/MASK Series H-01 25 KM-50NA 17 H-02 KM-50NAT KM-50NM KM-50WD MATERIAL DATA 26 KM-507-U 物性表 KM-510A K-1 K-2 COMPANY GUIDE 27会社概要 22 3

PRODUCTS GUIDE Contents 450mm MAC / FOSB KT-4501 4 CASSETTE 5inch PEEK Cassette CW-05 18 Single Wafer Case SC-450 5 CW-05KE CW-05KE-T2 KM-509K-SA 300mm Auto Door FOSB KT-3004A 6 KM-509K-SU KT-3004A-2 FOSB 5inch PBT Cassette KM-511NE-SH 18 KT-3002D 7 FOUP KT-3003 8 5inch PBT Cassette KM-511T-SH 19 Single Wafer Case SC-300 10 5inch PP Cassette KM-50PN 19 PFA Cassette KM-1201-A2 KM-50PN-H11 KM-1205-A 4inch PFA Cassette KM-40N 19 PBT Open Cassette KM-1202T-A 11 KM-40NA KM-40S KM-40WD SHIPPING 8inch Shipping Box WIN200P 12 K-40 モノづくりの実績を結集したミライアルの強み 6inch Shipping Box KM-1005BOX CP-60 13 4inch Wafer Case CB-403P 13 4inch PEEK Cassette CW-04 20 CW-04KE The consistent production line 3inch Wafer Case CB-301P 132.5inch Wafer Case 20 CB-2.501P 13 4inch PP Cassette KM-40PN KM-40MBP 2inch Wafer Case CB-203P 13 クリーンルームと ISO9001、ISO14001 Under 3inch PFA Cassette KM-30 21 KM-30N 一貫生産体制 化学分析体制 認証取得 CASSETTE 8inch PFA Cassette KM-80NA 14 KM-30WD KM-803-H K-30 KM-804-H KM-25 KM-822-A1 KM-25-51 製品設計、金型製作から成形、検査に至る全 今後ますます厳しくなるであろうクリーン度に対す お客様の信頼に応える万全の品質保証体 KM-822-A2 KM-20 K-20 ての工程を自社に保有し、一貫生産体制を整 る要求。徹底管理されたクリ－ンルームと、多様な 制を構築しているとともに、環境を意識 8inch PEEK Cassette KM-839K-A1 14 K-15 えています。お客様の要求品質に、正確かつ 化学分析を可能とする設備を有することで、パー した地球に優しいモノづくりに全従業員 KM-839K-A3 ISO9001 KM-839K-H1 Under 3inch PEEK Cassette KM-302KE-SA 21 スピーディにお応えします。 ティクルタイトとケミカルタイトを共に実現する生 が取り組んでいます。 ISO14001 KM-841K-H1 産システムでお応えしていきます。 （登録の範囲：半導体シリコンウエハ用バスケット及びケースの設計・製造） KM-302K-SA KM-841K-H2 CW-08KE Under 3inch PP Cassette KM-30PN 21 CW-08KE-T We have our own consistent production structure In response to requirements for cleanness that will We have constructed a complete qual i ty 8inch PBT Cassette PFA Cassette For Square Wafers KM-513-MA 22 KM-834NE-H 15 covering all processes from product design, the become more strict in future, we will provide a assurance structure in response to customer KM-514P-MA KM-854NE-A AM-100 provision of molds, and molding to inspection, so m a n u f a c t u r i n g s y s t e m m a t e r i a l i z i n g b o t h requirements, and all employees are working to KM-854NE-H 100MASK t h a t w e c a n r e s p o n d t o c u s t o m e r q u a l i t y particle-tight and chemical-tight simultaneously by materialize manufacturing that is more friendly KM-854NE-H4 60MASK requirements precisely and promptly. establishing a thoroughly controlled clean room and to the global environment. KM-855NE-A 50MASK KM-855NE-H facilities capable of diversified chemical analyses. 6inch PFA Cassette Aluminium Cassette MC-80 22 KM-60NA 15 MC-60 KM-60NAT MC-50 KM-60NM MC-40 1. 製品設計 2. 金型設計 3. 金型製作 4. 成形 5. 検査 6. 出荷 KM-60WD MC-30 KM-602-A KM-602-U BOX BOX CB-4501 23 KM-604-U CB-4502TX KM-615-A1 CB-5601P KM-623-U CB-5602E KM-626-U CB-5604TX 6inch PEEK Cassette CB-5605TX KM-627K-SA 16 CB-80-A KM-627K-SH CB-804TX KM-628K-SH 1. Product design 2. Mold design 3. Mold production 4. Injection molding 5. Inspection 6. Shipment CB-806 KM-632K-SA CW-06 HM Type Handles HM-20 24 CW-06KE-T1 HANDLE HM-25 CW-06KE-T2 HM-30 6inch PBT Cassette HM-40 KM-627NE-SA 16 HM-50 KM-627NE-SH HM-60 KM-631NE-H HM-80 KM-654NE-H HM-120 KM-610NE-A2 HM-1203 6inch PBT Cassette HG Type Handles HG-40 24 KM-610T-A2 17 HG-50 KM-619P-A HG-60 KM-631T-H HJ Type Handles HJ-40 25 6inch PP Cassette 17 HJ-50 KM-60PN HJ-60 KM-60PA HJ-80 KM-60PA2 HS Type Handles HS-30 25 KM-602P-A HS-40 KM-602P-U HS-50 KM-602P-H HS-60 5inch PFA Cassette PFA Handles For K Series/MASK Series H-01 25 KM-50NA 17 H-02 KM-50NAT KM-50NM KM-50WD MATERIAL DATA 26 KM-507-U 物性表 KM-510A K-1 K-2 COMPANY GUIDE 27会社概要 22 3

450 mm MAC / FOSB 450mm Single Wafer Case ■特長 収納枚数 ：25枚 溝ピッチ ：12mm KT-4501 ■コンセプトSEMI規格 ：450MAC E159/154 SC-450 材質 ：全てプラスチック、メタルフリー ●ウエハをエッジで保持し、ウエハ表面は非接触 リユース ：構成部品は必要に応じて交換可能 ●フィルターを標準装備し航空機輸送に対応 RFIDタグ ：ボトムプレートに装着可能 ●積み重ね可能なデザイン ■Concept ■デザインコンセプト ・It retains wafer on the edge, and surface of wafer does not touch ●300mm容器開発の経験を活かした環境保護、 ・Filter is included in standard set, available for air-transport 　資源の効率化、低価格なデザイン ・Stackable design ●異なる閉め力を持つリテーナーを取り換えることで 　450mmMACをFOSBに変更可能 ●AMHS対応のサイドフランジ、トップフランジ ●ロードポートのボトムクランプの負荷に耐える高強度シェル ●ドアスライダーによってドアとシェルの擦れによる ■部品一覧 Part list 　パーティクル発生を抑制 構成部品 材質 数量/セット ●これまで以上に安定した重心を実現し、 Component Material Quantity/Set 　より安全な運用が可能 Shell PC 1 標準　Standard ■部品一覧 Part list Teeth-L/R PBT L：1、R：1 標準　Standard 構成部品 材料 部品点数 Bottom Plate PC 1 標準　Standard Component Material Quantity Top Flange PC 1 標準　Standard Shell PC 1 ■Features Side Forklift Flange PC 2 標準　Standard Lid PC 1 Carrier Capacity : 25 wafers V-Groove PBT 3 標準　Standard 　 PEE 1 Slot Pitch : 12mm Info Pad PP 8 OP Retainer PEE 6 SEMI Standard : 450MAC E159/E154 Material : All plastics, metal-free Outside Lid PC Base PEE 6 Reusability : Components can be replaced as necessary Inside Lid PC Latch PBT 6 RFID Tag : Placement feature on Bottom Plate Crank Top POM Filter HOUSING:PE 1 Crank Bottom POM 1式 標準 MEMBRANE:PTFE 1Set Standard Latch PBT Design of 450 MAC/FOSB is considered of environmental protection, Gasket PEE efficiency of resources and reasonable price that based on our experience in 300mm FOSB and FOUP developments. 450 MAC and Lid Slider POM FOSB can be exchanged each other by replacing Retainer that has a S Retainer PBT 2 FOSB：標準　Standard different holding force. Side flanges and a top flange are designed M Retainer PBT for AMHS. Shell design is robust that is capable of bearing a load of 2 MAC：標準　Standard the bottom clamp on Load Port. The door has sliders that prevent Screw M5×10 PEEK 16 標準　Standard generating particles by abrasion between the door and shell. Center Screw M8×15 PEEK 15 標準　Standard of gravity of 450MAC/FOSB is more stabilized that capable to the Filter PE+PTFE safety operation. 1 標準　Standard 42 5

450 mm MAC / FOSB 450mm Single Wafer Case ■特長 収納枚数 ：25枚 溝ピッチ ：12mm KT-4501 ■コンセプトSEMI規格 ：450MAC E159/154 SC-450 材質 ：全てプラスチック、メタルフリー ●ウエハをエッジで保持し、ウエハ表面は非接触 リユース ：構成部品は必要に応じて交換可能 ●フィルターを標準装備し航空機輸送に対応 RFIDタグ ：ボトムプレートに装着可能 ●積み重ね可能なデザイン ■Concept ■デザインコンセプト ・It retains wafer on the edge, and surface of wafer does not touch ●300mm容器開発の経験を活かした環境保護、 ・Filter is included in standard set, available for air-transport 　資源の効率化、低価格なデザイン ・Stackable design ●異なる閉め力を持つリテーナーを取り換えることで 　450mmMACをFOSBに変更可能 ●AMHS対応のサイドフランジ、トップフランジ ●ロードポートのボトムクランプの負荷に耐える高強度シェル ●ドアスライダーによってドアとシェルの擦れによる ■部品一覧 Part list 　パーティクル発生を抑制 構成部品 材質 数量/セット ●これまで以上に安定した重心を実現し、 Component Material Quantity/Set 　より安全な運用が可能 Shell PC 1 標準　Standard ■部品一覧 Part list Teeth-L/R PBT L：1、R：1 標準　Standard 構成部品 材料 部品点数 Bottom Plate PC 1 標準　Standard Component Material Quantity Top Flange PC 1 標準　Standard Shell PC 1 ■Features Side Forklift Flange PC 2 標準　Standard Lid PC 1 Carrier Capacity : 25 wafers V-Groove PBT 3 標準　Standard 　 PEE 1 Slot Pitch : 12mm Info Pad PP 8 OP Retainer PEE 6 SEMI Standard : 450MAC E159/E154 Material : All plastics, metal-free Outside Lid PC Base PEE 6 Reusability : Components can be replaced as necessary Inside Lid PC Latch PBT 6 RFID Tag : Placement feature on Bottom Plate Crank Top POM Filter HOUSING:PE 1 Crank Bottom POM 1式 標準 MEMBRANE:PTFE 1Set Standard Latch PBT Design of 450 MAC/FOSB is considered of environmental protection, Gasket PEE efficiency of resources and reasonable price that based on our experience in 300mm FOSB and FOUP developments. 450 MAC and Lid Slider POM FOSB can be exchanged each other by replacing Retainer that has a S Retainer PBT 2 FOSB：標準　Standard different holding force. Side flanges and a top flange are designed M Retainer PBT for AMHS. Shell design is robust that is capable of bearing a load of 2 MAC：標準　Standard the bottom clamp on Load Port. The door has sliders that prevent Screw M5×10 PEEK 16 標準　Standard generating particles by abrasion between the door and shell. Center Screw M8×15 PEEK 15 標準　Standard of gravity of 450MAC/FOSB is more stabilized that capable to the Filter PE+PTFE safety operation. 1 標準　Standard 42 5

300 mm Auto Door FOSB 300mm FOSB ■コンセプト 1）Reuse & Recycle 　　環境、資源、低価格を考慮したデザイン 　・構成部品は必要に応じて交換可能 　・リサイクルの際は、全部品に対し、材質毎に、完全分別化が可能 2）ウエハ位置の精度向上 　　　　a) ウエハプレーン　b) ウエハインサーション 3）輸送時の信頼性向上 　　　　a) 落下性能　　b) シール性能　　c) 振動性能 4）操作性の向上 　　　　a) 新ラッチシステムによる操作性の向上 　　　　b) スムーズなキネマピンへのリードインを確保 5）ロードポートが使用出来るドアを装着する事によりウエハの 　 出荷及び受入が全自動で可能 ■オートドアの特長 1）SEMI規格に準拠（ M31／E1.9／E47.1／E15.1／ E57／E62） 2）輸送時のウエハ回転を最小限に是正 3）ドア閉め力、回転トルクの軽減 4）ガスケットのリップ形状の採用 ■Concept KT-3002D 1）Reuse & Recycle 　 Design that considers environment, resources and low price 　・Products designed to enable reuse by “replacing only the necessary parts” 　・Recycling made easier by the total separation of all parts according to material ■デザインコンセプト ■主な特長 2）Improved precision of wafer positioning KT-3004A 1）SEMI規格に準拠：M31 1）着脱タイプの為、必要部品のみの購入が可能　a) Wafer plane 　　b) Wafer insertion 2）Reuse＆Recycle／ 2）フィルター装着により本体変形を押さえ、蓋の開閉が容易 3）Improved reliability during transportation 　　環境、資源、低価格を考慮したデザイン（主要なパーツは全て着脱式） 　a) Improved drop performance 　b) Improved seal performance 3）フィルター標準装備 　c ) Improved vibration performance 4）Improved operability 　a) Improved operablity resulting from a new latch system ■Design Concept ■Main Features 　b) Smooth lead-in to kinematic pin 1）SEMI Standard compliant（M31） 1）Being detachable, it is possible to only purchase necessary parts 5）Total automation of wafer shipping and receiving made possible by attachment of a 2）Reuse＆Recycle／ 2）Filter attachment prevents deformation of the main unit and simplifies load port-compatible door Feature of auto door Design that considers reuse, recycling, environment, resources and door opening■ low prices（all main parts are detachable） 1）SEMI Standard compliant（ M31／E1.9／E47.1／E15.1／ E57／E62） 3）Filter included as standard feature 2）Wafer rotation during transportation corrected to a minimum 3）Reduced door closing force and latch torque 4）Adoption of lipped gasket ■部品一覧 Part list ■部品一覧 Part list 構成部品 材　質 標準 数量／セット 構成部品 材質 数量/セット Component Material Quantity/Set Component Material Standard Quantity/Set Shell PC 標準 Standard 1 Shell PC 1 標準 Standard KT-3004A-2 Lid PC 標準 Standard 1Side Support L/R PBT L:1/R:1 標準 Standard Latch PBT 標準 Standard 4 Kinematic Slider PBT 3 標準 Standard Retainer PBT 標準 Standard 1 Top Robotic Flange PC 1 OP Teeth L　 PBT 標準 Standard 1 Handle L/R PC L:1/R:1 OP Teeth R PBT 標準 Standard 1 Info Pad PP 1 OP Handle L / R PC OP 2 ID Holder PP 1 OP Top robotic flange PC OP 1 Auto Lid PC 1 標準 Standard Filter Housing:PE、Membrane:PTFE 標準 Standard 1 Auto Retainer PEE 1 標準 Standard Info pad PBT OP 1 Gasket POE 標準 Standard 1 Auto Gasket PEE 1 標準 Standard Center retaining PC OP 1 Auto Crank POM Cap（ツメ無し） （no claw） PE OP 1 Auto Center Cover PBT 1式　1set　標準 Standard Cap（ツメ有り） （with claw） PE OP 1 Auto Side Cover PBT Auto Latch PBT Filter PE+PTFE 1 標準 Standard Cap（ ツメ無し）（no claw） PE 1 OP Cap（ ツメ有り）（with claw） PE 1 OP 62

300 mm Auto Door FOSB 300mm FOSB ■コンセプト 1）Reuse & Recycle 　　環境、資源、低価格を考慮したデザイン 　・構成部品は必要に応じて交換可能 　・リサイクルの際は、全部品に対し、材質毎に、完全分別化が可能 2）ウエハ位置の精度向上 　　　　a) ウエハプレーン　b) ウエハインサーション 3）輸送時の信頼性向上 　　　　a) 落下性能　　b) シール性能　　c) 振動性能 4）操作性の向上 　　　　a) 新ラッチシステムによる操作性の向上 　　　　b) スムーズなキネマピンへのリードインを確保 5）ロードポートが使用出来るドアを装着する事によりウエハの 　 出荷及び受入が全自動で可能 ■オートドアの特長 1）SEMI規格に準拠（ M31／E1.9／E47.1／E15.1／ E57／E62） 2）輸送時のウエハ回転を最小限に是正 3）ドア閉め力、回転トルクの軽減 4）ガスケットのリップ形状の採用 ■Concept KT-3002D 1）Reuse & Recycle 　 Design that considers environment, resources and low price 　・Products designed to enable reuse by “replacing only the necessary parts” 　・Recycling made easier by the total separation of all parts according to material ■デザインコンセプト ■主な特長 2）Improved precision of wafer positioning KT-3004A 1）SEMI規格に準拠：M31 1）着脱タイプの為、必要部品のみの購入が可能　a) Wafer plane 　　b) Wafer insertion 2）Reuse＆Recycle／ 2）フィルター装着により本体変形を押さえ、蓋の開閉が容易 3）Improved reliability during transportation 　　環境、資源、低価格を考慮したデザイン（主要なパーツは全て着脱式） 　a) Improved drop performance 　b) Improved seal performance 3）フィルター標準装備 　c ) Improved vibration performance 4）Improved operability 　a) Improved operablity resulting from a new latch system ■Design Concept ■Main Features 　b) Smooth lead-in to kinematic pin 1）SEMI Standard compliant（M31） 1）Being detachable, it is possible to only purchase necessary parts 5）Total automation of wafer shipping and receiving made possible by attachment of a 2）Reuse＆Recycle／ 2）Filter attachment prevents deformation of the main unit and simplifies load port-compatible door Feature of auto door Design that considers reuse, recycling, environment, resources and door opening■ low prices（all main parts are detachable） 1）SEMI Standard compliant（ M31／E1.9／E47.1／E15.1／ E57／E62） 3）Filter included as standard feature 2）Wafer rotation during transportation corrected to a minimum 3）Reduced door closing force and latch torque 4）Adoption of lipped gasket ■部品一覧 Part list ■部品一覧 Part list 構成部品 材　質 標準 数量／セット 構成部品 材質 数量/セット Component Material Quantity/Set Component Material Standard Quantity/Set Shell PC 標準 Standard 1 Shell PC 1 標準 Standard KT-3004A-2 Lid PC 標準 Standard 1Side Support L/R PBT L:1/R:1 標準 Standard Latch PBT 標準 Standard 4 Kinematic Slider PBT 3 標準 Standard Retainer PBT 標準 Standard 1 Top Robotic Flange PC 1 OP Teeth L　 PBT 標準 Standard 1 Handle L/R PC L:1/R:1 OP Teeth R PBT 標準 Standard 1 Info Pad PP 1 OP Handle L / R PC OP 2 ID Holder PP 1 OP Top robotic flange PC OP 1 Auto Lid PC 1 標準 Standard Filter Housing:PE、Membrane:PTFE 標準 Standard 1 Auto Retainer PEE 1 標準 Standard Info pad PBT OP 1 Gasket POE 標準 Standard 1 Auto Gasket PEE 1 標準 Standard Center retaining PC OP 1 Auto Crank POM Cap（ツメ無し） （no claw） PE OP 1 Auto Center Cover PBT 1式　1set　標準 Standard Cap（ツメ有り） （with claw） PE OP 1 Auto Side Cover PBT Auto Latch PBT Filter PE+PTFE 1 標準 Standard Cap（ ツメ無し）（no claw） PE 1 OP Cap（ ツメ有り）（with claw） PE 1 OP 62 7

300 mm FOUP ■Feature A　 　 パーティクル関係　Particle Related ●蓋の側面及び内面に2つのガスケットパーツを採用 　蓋、本体間の遮断を2重化することにより、外部からのパーティクルの進入を防止。 ●蓋内部に“丸型ラッチ”の採用によりラッチキー周辺の開口面積極小化（軸と軸受 けのクリアランスのみ）を行う事により、蓋内部からの飛散を防止 ・Two gaskets are adopted on the cover side and inner surface 　Dual isolation of the cover and shell prevents invasion by foreign particles. ・Minimizing the opening area (to just the clearance between shaft and bearing) around the latchkey by adopting a “round pushrod” inside the cover prevents particle migration from inside the cover ■Feature B ■Feature C 　搬送関係　Enhanced Shell Integrity 開口部フランジの3本化 ●本体とトップフランジ部の取り付け部 Triple flange ribs ●ウエハキャパシティーを26枚化 分の補強（本体上面にリブ追加）及び 　（26枚目はダミーとし、隣接する本体内面より最上面のウエハ面を保護） KT-3003 開口部のフランジ部に従来1～2本であ ●リア面にRF IDホルダーを装備ったリブを3本化 ●SIDE HANDLE、OUT SIDE LIDはカラーリングが可能 （カラーリング対応色は各営業担当にお問合せください） ・Top flange of the shell has been ●本体洗浄性：洗浄時、洗い易く、尚且つ乾燥し易い構造を採用■コンセプト reinforced (with additional rib), and ●蓋上下誤挿入防止機構：本体と蓋マニュアル開閉の上下誤挿入防止機構 ●SEMI規格に準拠（E1.9/E47.1/E15.1/E57/E62） flange ribs at the opening have been ●視認性：本体底部より見た際ウエハの視認が可能 ●主要パーツは全て導電化材料を使用 increased from 1 or 2 to 3 ●ウエハ移載時の擦れ：ウエハ移載リフト時に溝板との擦れ等発生しない ●環境に考慮し、必要な交換部品のみ取り替えが出来る様に設計する事で、 形状 　省資源リサイクル時の分別化が可能 ●耐温度（材質）：ウエハサポート部にはPEEKを使用 ●帯電特性：本体、溝板、蓋のESD材の特性は表面抵抗値としてＥ7～10程度 ・SEMI Standard compliant（E1.9/E47.1/E15.1/E57/E62） の特性 ・All major components manufactured from conductive materials ・In consideration of environment, design enabling only the necessary parts to be ●ボトム/サイドのコンベアレール取り付け ・Wafer capacity increased to 26 wafers replaced makes it possible to separate resources when recycling 部を本体より切り離す事で本体変形によ （26th wafer is a dummy wafer offering protection from the inner face of るシール性低下を防止 the shell to the top wafer surface） ・RF ID tag is available (holder on the rear side) ・Bottom/side conveyor rail assembly is ・Side handles and outside lid are available in colors separate from the shell to prevent ・Shell washability: Shell structure is designed to enable easy washing deterioration of seal performance and drying caused by shell deformation ・Anti-inversion cover offers protection against wrong insertion when manually opening and closing the shell and cover ・Visibility: Wafers are clearly visible from the shell rear ・Wafer pocket design prevents friction during handling ・PEEK is used for wafer supports for high temperature resistance ・Surface resistivity of the shell: wafer supports and cover 107～1010Ω/cm2 Front Top Orange Green Red Rear Bottom 8

300 mm FOUP ■Feature A　 　 パーティクル関係　Particle Related ●蓋の側面及び内面に2つのガスケットパーツを採用 　蓋、本体間の遮断を2重化することにより、外部からのパーティクルの進入を防止。 ●蓋内部に“丸型ラッチ”の採用によりラッチキー周辺の開口面積極小化（軸と軸受 けのクリアランスのみ）を行う事により、蓋内部からの飛散を防止 ・Two gaskets are adopted on the cover side and inner surface 　Dual isolation of the cover and shell prevents invasion by foreign particles. ・Minimizing the opening area (to just the clearance between shaft and bearing) around the latchkey by adopting a “round pushrod” inside the cover prevents particle migration from inside the cover ■Feature B ■Feature C 　搬送関係　Enhanced Shell Integrity 開口部フランジの3本化 ●本体とトップフランジ部の取り付け部 Triple flange ribs ●ウエハキャパシティーを26枚化 分の補強（本体上面にリブ追加）及び 　（26枚目はダミーとし、隣接する本体内面より最上面のウエハ面を保護） KT-3003 開口部のフランジ部に従来1～2本であ ●リア面にRF IDホルダーを装備ったリブを3本化 ●SIDE HANDLE、OUT SIDE LIDはカラーリングが可能 （カラーリング対応色は各営業担当にお問合せください） ・Top flange of the shell has been ●本体洗浄性：洗浄時、洗い易く、尚且つ乾燥し易い構造を採用■コンセプト reinforced (with additional rib), and ●蓋上下誤挿入防止機構：本体と蓋マニュアル開閉の上下誤挿入防止機構 ●SEMI規格に準拠（E1.9/E47.1/E15.1/E57/E62） flange ribs at the opening have been ●視認性：本体底部より見た際ウエハの視認が可能 ●主要パーツは全て導電化材料を使用 increased from 1 or 2 to 3 ●ウエハ移載時の擦れ：ウエハ移載リフト時に溝板との擦れ等発生しない ●環境に考慮し、必要な交換部品のみ取り替えが出来る様に設計する事で、 形状 　省資源リサイクル時の分別化が可能 ●耐温度（材質）：ウエハサポート部にはPEEKを使用 ●帯電特性：本体、溝板、蓋のESD材の特性は表面抵抗値としてＥ7～10程度 ・SEMI Standard compliant（E1.9/E47.1/E15.1/E57/E62） の特性 ・All major components manufactured from conductive materials ・In consideration of environment, design enabling only the necessary parts to be ●ボトム/サイドのコンベアレール取り付け ・Wafer capacity increased to 26 wafers replaced makes it possible to separate resources when recycling 部を本体より切り離す事で本体変形によ （26th wafer is a dummy wafer offering protection from the inner face of るシール性低下を防止 the shell to the top wafer surface） ・RF ID tag is available (holder on the rear side) ・Bottom/side conveyor rail assembly is ・Side handles and outside lid are available in colors separate from the shell to prevent ・Shell washability: Shell structure is designed to enable easy washing deterioration of seal performance and drying caused by shell deformation ・Anti-inversion cover offers protection against wrong insertion when manually opening and closing the shell and cover ・Visibility: Wafers are clearly visible from the shell rear ・Wafer pocket design prevents friction during handling ・PEEK is used for wafer supports for high temperature resistance ・Surface resistivity of the shell: wafer supports and cover 107～1010Ω/cm2 Front Top Orange Green Red Rear Bottom 9

300 mm Single Wafer Case 300mm PFA Cassette 1）半導体グレードの材料を使用 2）13、15枚入りの2タイプ 1）Made using semiconductor-grade PFA 2）Two types offering 13 or 15 wafer capacity KM-1201-A2 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-1201-A2 PFA 13 180.00 350.00 320.00 25.30 10.00 200.00 213.00 KM-1205-A PFA 15 205.00 350.00 320.00 25.30 10.00 200.00 213.00 300 SC-300 mm PBT Open Cassette ■主な特長 ■用途例 ●ヒンジ開閉式でスムースな操作性を実現 ●クリーンルーム内におけるウエハ1枚の保管 ●透明ケースで、蓋を開けなくても内容物の確認が可能 ●プレゼン時のウエハ収納 ●テープシールすることで、完全気密性を実現 ●コンパクトに積み重ね可能 ■Main Features ■Example of usage ・Hinge mechanism brings smooth operation ・For keeping 1 wafer in the clean room ・Transparent resin is used, and you can check contained item without open ・For keeping 1 wafer in the presentation ・Possible for perfect airtightness to seal up with tape ・Compact stackable design 1）半導体グレードの材料を使用 2）縦置き可能 3）SEMI規格に準拠（E1.9） 1）Made using semiconductor-grade materials 2）Vertical placement possible 3）SEMI Standard compliant (E1.9) KM-1202T-A ■構成部品材質 Component Materials List 品番 本体 フタ リテーナー フック ヒンジ 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Base Cover Retainer Hook Hinge Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） SC-300 PC PC PE PP PP KM-1202T-A PBT 13 179.00 332.00 312.00 32.00 10.00 －　 －　 10

300 mm Single Wafer Case 300mm PFA Cassette 1）半導体グレードの材料を使用 2）13、15枚入りの2タイプ 1）Made using semiconductor-grade PFA 2）Two types offering 13 or 15 wafer capacity KM-1201-A2 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-1201-A2 PFA 13 180.00 350.00 320.00 25.30 10.00 200.00 213.00 KM-1205-A PFA 15 205.00 350.00 320.00 25.30 10.00 200.00 213.00 300 SC-300 mm PBT Open Cassette ■主な特長 ■用途例 ●ヒンジ開閉式でスムースな操作性を実現 ●クリーンルーム内におけるウエハ1枚の保管 ●透明ケースで、蓋を開けなくても内容物の確認が可能 ●プレゼン時のウエハ収納 ●テープシールすることで、完全気密性を実現 ●コンパクトに積み重ね可能 ■Main Features ■Example of usage ・Hinge mechanism brings smooth operation ・For keeping 1 wafer in the clean room ・Transparent resin is used, and you can check contained item without open ・For keeping 1 wafer in the presentation ・Possible for perfect airtightness to seal up with tape ・Compact stackable design 1）半導体グレードの材料を使用 2）縦置き可能 3）SEMI規格に準拠（E1.9） 1）Made using semiconductor-grade materials 2）Vertical placement possible 3）SEMI Standard compliant (E1.9) KM-1202T-A ■構成部品材質 Component Materials List 品番 本体 フタ リテーナー フック ヒンジ 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Base Cover Retainer Hook Hinge Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） SC-300 PC PC PE PP PP KM-1202T-A PBT 13 179.00 332.00 312.00 32.00 10.00 －　 －　 ご使用になる際は別途、外観詳細を御問い合わせの上、確認をしてください。 Before use, please inquire about and confirm details of outer dimensions separately. 11

200 mm Shipping Box 150mm Shipping Box ■主な特長 1）リユース＆リサイクルが可能 2）スムースな操作性 　・人間工学を考慮した開閉操作 　　　開時、閉時どちらも上方から押えるのみ 　・気圧調整フィルター設置 　　　輸送時の加減圧の対策 ■Main Features 1）Reuse and recycling are possible 2）Smooth operation 　・Ergonomic opening and closing 　・Breather filter counters pressure change CP-60 　 during handling WIN200P ■キャリア寸法（概略測定図） ■構成部品材質　Component Materials List 　Cassette Dimension（s Rough Measurement） 品番 本体 フタ キャリア ウエハ押え パッキン 5 Number Base Cover Cassette Wafer Retainer Gasket 4 1 CP-60 PP PC PBT PBT POE ■WIN200P部品構成 　WIN200P　Components 7 フタ Cover 本体 Base セパレーター×2ヶ Latch Separato×2 6 測定項目 100 Measurement Item WIN200P mm以下 Single Wafer Case 1 152.40 2 233.50 3 114.30 4 25.40 5 203.20 6 219.00 7 1.50 フィルター Filter ウエハ押え パッキン Gasket Wafer Retainer キャリア Cassette キャップ（オプション） PP Cap（0ption） ■製品重量　Product Weigh（t ｇ） CB-301P 品番 本体 フタ キャリア ウエハ押え パッキン セパレータ フィルター（ハウジング） 合計 Number Base Cover Cassette Wafer Retainer Gasket Latch Separator Filter (Housing) Total WIN200P 470 400 683 134 20 14×2=28 1 1736 CB-403P 品番 口径 本体 フタ リテーナー Number Caliber Base Cover Wafer Retainer ■構成部品材質　Component Materials List CB-203P 2inch PP PP PP 品番 本体 フタ キャリア ウエハ押え パッキン セパレータ フィルター（ハウジング） CB-2.501P 2.5inch PP PP PP Number Base Cover Cassette Wafer Retainer Gasket Latch Separator Filter (Housing) CB-301P 3inch PP PP PP WIN200P PC PC PP PBT POE PP PTFE (filter) + PE (housing) CB-403P 4inch PP PP PP 12 3 2

200 mm Shipping Box 150mm Shipping Box ■主な特長 1）リユース＆リサイクルが可能 2）スムースな操作性 　・人間工学を考慮した開閉操作 　　　開時、閉時どちらも上方から押えるのみ 　・気圧調整フィルター設置 　　　輸送時の加減圧の対策 ■Main Features 1）Reuse and recycling are possible 2）Smooth operation 　・Ergonomic opening and closing 　・Breather filter counters pressure change CP-60 　 during handling WIN200P ■キャリア寸法（概略測定図） ■構成部品材質　Component Materials List 　Cassette Dimension（s Rough Measurement） 品番 本体 フタ キャリア ウエハ押え パッキン 5 Number Base Cover Cassette Wafer Retainer Gasket 4 1 CP-60 PP PC PBT PBT POE ■WIN200P部品構成 　WIN200P　Components 7 フタ Cover 本体 Base セパレーター×2ヶ Latch Separato×2 6 測定項目 100 Measurement Item WIN200P mm以下 Single Wafer Case 1 152.40 2 233.50 3 114.30 4 25.40 5 203.20 6 219.00 7 1.50 フィルター Filter ウエハ押え パッキン Gasket Wafer Retainer キャリア Cassette キャップ（オプション） PP Cap（0ption） ■製品重量　Product Weigh（t ｇ） CB-301P 品番 本体 フタ キャリア ウエハ押え パッキン セパレータ フィルター（ハウジング） 合計 Number Base Cover Cassette Wafer Retainer Gasket Latch Separator Filter (Housing) Total WIN200P 470 400 683 134 20 14×2=28 1 1736 CB-403P 品番 口径 本体 フタ リテーナー Number Caliber Base Cover Wafer Retainer ■構成部品材質　Component Materials List CB-203P 2inch PP PP PP 品番 本体 フタ キャリア ウエハ押え パッキン セパレータ フィルター（ハウジング） CB-2.501P 2.5inch PP PP PP Number Base Cover Cassette Wafer Retainer Gasket Latch Separator Filter (Housing) CB-301P 3inch PP PP PP WIN200P PC PC PP PBT POE PP PTFE (filter) + PE (housing) CB-403P 4inch PP PP PP 13 3 2

8inch PFA 200 Cassette mm ●KM-80NAは溝ピッチ4.76mmで、 　従来の150mmカセットと同じ全長を有する ●KM-804-Hはハーフタイプカセットで 　洗浄、乾燥用に最適 ・KM-80NA: 4.76 mm slot pitch and same length as conventional A1 B2 150mm cassettes A2D1 ・KM-804-H: half-type cassette ideally suited to washing and drying A3 KM-822-A1 D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-80NA PFA 25 152.40 250.00 220.00 19.05 4.76 120.00 132.00 KM-803-H PFA 25 203.20 240.00 217.40 25.40 6.35 114.30 126.30 KM-804-H PFA 25 203.20 240.00 155.00 25.40 6.35 114.30 126.30 KM-822-A1 PFA 25 203.20 240.00 217.40 25.40 6.35 114.30 126.30 KM-822-A2 PFA 25 203.20 240.00 217.40 25.40 6.35 114.30 126.30 8inch PEEK 200 Cassette mm KM-839K-H1 ●静電気対策用PEEKカセットであり、 　高温域での使用が可能 A1 B2 A2 ●KM-841K-H2／H4はSOI用ウエハ（t1.45mm）用 D1 　カセット A3 ・Antistatic PEEK cassette withstands high temperature environments ・KM-841K-H2/H4 cassette: for SOI wafers (t 1.45 mm) KM-841K-H1 D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-839K-A1 PEEK+CP 26 209.55 235.00 219.00 25.40 6.35 114.30 122.30 KM-839K-A3 PEEK+CP 26 209.55 235.00 219.00 25.40 6.35 114.30 122.30 KM-839K-H1 PEEK+CP 13 209.55 235.00 219.00 28.60 12.70 114.30 122.30 KM-841K-H1 PEEK+CP 25 203.20 234.18 219.08 25.40 6.35 114.30 122.30 KM-841K-H2 PEEK+CP 25 203.20 234.18 219.08 25.40 6.35 114.30 122.30 CW-08KE PEEK+CP 25 203.20 240.00 217.40 25.40 6.35 114.30 126.30 CW-08KE-T PEEK+CP 25 203.20 240.00 217.40 25.40 6.35 114.30 126.30 14

8inch PBT 200 Cassette mm KM-834NE-H ●PBTをベースに導電材をコンパウンドした材料使用 ●帯電防止型PBTカセット ●KM-854NE-H4は13枚入り倍ピッチカセットであり、 A1 B2 　様々な厚さのウエハに対応 A2D1 ・Compound conductive materials on a PBT base ・Antistatic PBT cassette A3 ・KM-854NE-H4 is Double-Pitch Cassette which contains 13 various thickness wafers KM-854NE-H4 D6D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-834NE-H PBT+CP 25 203.20 234.18 218.18 25.40 6.35 114.30 122.30 KM-854NE-A PBT+CP 26 209.55 235.00 219.00 25.40 6.35 114.30 122.30 KM-854NE-H PBT+CP 26 209.55 235.00 219.00 25.40 6.35 114.30 122.30 KM-854NE-H4 PBT+CP 13 209.55 235.00 219.00 28.60 12.70 114.30 122.30 KM-855NE-A PBT+CP 25 203.20 235.00 219.00 25.40 6.35 114.30 122.90 KM-855NE-H PBT+CP 25 203.20 235.00 219.00 25.40 6.35 114.30 122.90 6inch PFA 150 Cassette mm ●剛性重視（変形防止）、 　洗浄性重視（開孔面積が広い） ・Designed with emphasis given to rigidity (deformation prevention) A1 B2 and washability (wide openings) A2D1 A3 KM-615-A1 D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-60NA PFA 25 142.24 187.00 165.00 13.97 4.76 89.00 100.00 KM-60NAT PFA 25 142.81 178.00 171.45 14.54 4.76 89.00 100.00 KM-60NM PFA 25 142.24 187.00 165.00 13.97 4.76 131.00 142.00 KM-60WD PFA 25 134.33 177.80 171.45 14.54 4.76 111.00 120.00 KM-602-A PFA 25 143.38 178.00 171.50 14.54 4.76 89.00 100.00 KM-602-U PFA 25 143.38 178.00 171.50 14.54 4.76 89.00 100.00 KM-604-U PFA 25 142.24 187.00 165.00 13.97 4.76 89.00 100.00 KM-615-A1 PFA 25 143.38 177.80 171.50 14.54 4.76 88.90 98.50 KM-623-U PFA 25 143.38 177.80 165.00 14.54 4.76 88.90 100.90 KM-626-U PFA 25 143.38 177.80 165.00 14.54 4.76 88.90 100.90 ご使用になる際は別途、外観詳細を御問い合わせの上、確認をしてください。 Before use, please inquire about and confirm details of outer dimensions separately. 15

6inch PEEK 150 Cassette mm ●静電気対策PEEKカセットであり、 　高温域での使用が可能 ●KM-632K-SAはSOI用ウエハ（t1.45mm）用カセットであり、 　200mmカセットと同じ全長を有する ・Antistatic PEEK cassette withstands high temperature environments A1 B2 ・KM-632K-SA cassette: for SOI wafers (t 1.45 mm), but with same A2D1 length as 200 mm cassettes A3 KM-627K-SH D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-627K-SA PEEK+CP 25 143.38 177.80 164.00 14.54 4.76 88.90 100.90 KM-627K-SH PEEK+CP 25 143.38 177.80 164.00 14.54 4.76 88.90 100.90 KM-628K-SH PEEK+CP 26 149.64 177.80 164.00 14.54 4.76 88.90 100.90 KM-632K-SA PEEK+CP 25 203.20 177.80 164.00 25.40 6.35 88.90 100.90 CW-06 PEEK 25 143.38 177.80 165.10 14.54 4.76 88.90 100.00 CW-06KE-T1 PEEK+CP 25 143.38 177.80 165.10 14.54 4.76 88.90 100.00 CW-06KE-T2 PEEK+CP 25 143.38 177.80 165.10 14.54 4.76 88.90 100.00 6inch PBT 150 Cassette mm KM-627NE-SA ●PBTをベースに導電材をコンパウンドした材料使用 ●KM-610NE-A2は12枚入り倍ピッチカセットであり、 A1 B2 　様々な厚さのウエハに対応 A2 D1 ・Antistatic PBT cassette made using compound conductive materials on a PBT base A3 ・KM-610NE-A2 is Double-Pitch Cassette which contains 12 various KM-610NE-A2 thickness wafers D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-627NE-SA PBT+CP 25 143.38 177.80 163.60 14.65 4.76 88.90 100.90 KM-627NE-SH PBT+CP 25 143.38 177.80 163.60 14.65 4.76 88.90 100.90 KM-631NE-H PBT+CP 25 142.24 187.50 165.00 13.97 4.76 89.00 99.40 KM-654NE-H PBT+CP 26 147.00 187.00 165.00 13.97 4.76 89.00 100.00 KM-610NE-A2 PBT+CP 12 142.81 168.00 163.50 21.68 9.525 89.00 95.00 16

6inch PBT/PP 150 Cassette mm ●削れ／アウトガスの少ないカセット（PBT） ●相対的に耐薬品性が強い（PP） ●KM-610T-A2は12枚入り倍ピッチカセットであり、 　様々な厚さのウエハに対応 ・Abrasion resistant and low outgas cassette（PBT） A1 B2 ・Comparatively strong resistance to chemical（s PP） A2D1 ・KM-610T-A2 is Double-Pitch Cassette which contains 12 various thickness wafers A3 KM-619P-A D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-60PN PP 13 142.70 187.00 165.00 14.20 9.525 132.70 142.70 KM-60PA PP 25 142.24 187.00 165.00 14.54 4.76 89.00 95.00 KM-60PA2 PP 25 142.24 187.00 165.00 13.97 4.76 89.00 94.20 KM-602P-A PP 25 142.98 178.00 165.00 14.54 4.76 89.00 98.00 KM-602P-U PP 25 142.98 178.00 165.00 14.54 4.76 89.00 98.00 KM-602P-H PP 25 142.98 178.00 165.00 14.54 4.76 89.00 98.00 KM-610T-A2 PBT 12 142.81 168.00 163.50 21.68 9.525 89.00 95.00 KM-619P-A PBT 25 142.80 168.00 163.50 14.54 4.76 89.00 95.00 5inch PFA 125 Cassette mm ●剛性重視（変形防止）、洗浄性重視（開孔面積が広い） ●K-1、K-2は150mmカセットと同じ外形寸法を有する ●KM-510Aはピッチを狭くし、一度に50枚のウエハを 　収納可能 ・Designed with emphasis given to rigidity (deformation prevention) A1 B2 and washability (wide openings) A2D1 ・K-1 and K-2 are 125mm wafer cassette which have 150mm wafer cassette's siihouette ・Narrow slot pitch enables the KM-510A to hold 50 wafers at once A3 KM-507-U D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-50NA PFA 25 142.24 153.00 145.50 13.97 4.76 76.20 86.20 KM-50NAT PFA 25 142.24 153.00 145.50 13.97 4.76 76.20 86.20 KM-50NM PFA 25 142.24 153.00 146.00 13.97 4.76 108.00 118.00 KM-50WD PFA 25 143.38 153.00 146.00 14.54 4.76 50.00 58.00 KM-507-U PFA 25 142.24 153.00 144.50 13.97 4.76 76.20 86.20 KM-510A PFA 50 143.38 153.00 146.00 14.54 2.38 76.00 85.00 K-1 PFA 25 143.38 177.80 171.45 14.54 4.76 88.90 98.50 K-2 PFA 25 143.38 177.80 171.45 14.54 4.76 88.90 98.50 ご使用になる際は別途、外観詳細を御問い合わせの上、確認をしてください。 Before use, please inquire about and confirm details of outer dimensions separately. 17

5inch PEEK 125 Cassette mm ●高温域での使用が可能 ●帯電防止PEEKカセット（CW-05を除く） ・Can be used in high temperature environments A1 B2 ・All antistatic PEEK cassettes except for the CW-05 A2D1 A3 CW-05 D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） CW-05 PEEK 25 143.24 152.40 146.05 13.97 4.76 72.60 77.60 CW-05KE PEEK+CP 25 143.24 152.40 146.05 13.97 4.76 72.60 77.60 CW-05KE-T2 PEEK+CP 25 143.24 152.40 146.05 13.97 4.76 72.60 77.60 KM-509K-SA PEEK+CP 25 142.24 153.00 138.00 13.97 4.76 77.00 85.00 KM-509K-SU PEEK+CP 25 142.24 153.00 138.00 13.97 4.76 77.00 85.00 5inch PBT 125 Cassette mm ●PBTをベースに導電材をコンパウンドした材料使用。 ・Antistatic PBT cassette made using compound conductive materials　 A1 B2 on a PBT base. A2D1 A3 KM-511NE-SH D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-511NE-SH PBT+CP 25 142.24 153.80 146.00 13.97 4.76 76.60 81.80 18

5inch PBT/PP 125 Cassette mm ●削れ／発生ガスの少ないカセット（PBT） ●相対的に耐薬品性が強い（PP） ・Abrasion resistant and low outgas cassette（PBT） A1 B2 ・Comparatively strong resistance to chemical（s PP） A2D1 A3 KM-50PN D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-511T-SH PBT 25 142.24 153.80 146.00 13.97 4.76 76.60 81.80 KM-50PN PP 25 142.24 153.00 145.50 13.97 4.76 76.20 82.40 KM-50PN-H PP 25 142.24 153.00 145.50 13.97 4.76 76.20 82.40 4inch PFA 100 Cassette mm ●KM-40NAはＨバー補強タイプ ●洗浄性重視（開孔面積を広く取る） ●KM-1005は125mmカセットと同じ外形寸法を有する ・KM-40NA is bar-reinforced A1 B2 ・Designed with emphasis given to washability (wide openings) A2D1 ・KM-1005 is 100mm wafer cassette which have 125mm wafer cassette's silhouette A3 KM-40NA D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-40N PFA 25 142.24 125.50 114.30 13.97 4.76 61.00 70.00 KM-40NA PFA 25 142.24 125.50 114.30 13.97 4.76 61.00 71.00 KM-40S PFA 25 142.24 124.50 114.30 13.97 4.76 61.60 71.60 KM-40WD PFA 25 142.24 125.50 114.30 13.97 4.76 50.00 56.00 K-40 PFA 25 146.00 124.00 112.00 20.35 4.76 60.30 68.30 KM-1005 PFA 25 142.24 153.00 145.50 13.97 4.76 76.20 86.20 ご使用になる際は別途、外観詳細を御問い合わせの上、確認をしてください。 Before use, please inquire about and confirm details of outer dimensions separately. 19

4inch PEEK 100 Cassette mm ●高温域での使用が可能 ●CW-04KEは帯電防止PEEKカセット ・Can be used in high temperature environments A1 B2 ・CW-04KE is an antistatic PEEK cassette A2D1 A3 CW-04 D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） CW-04 PEEK 25 142.24 126.48 111.12 13.97 4.76 60.33 65.33 CW-04KE PEEK+CP 25 142.68 125.48 111.12 13.97 4.76 60.33 65.33 4inch PP 100 Cassette mm ●保管、搬送用カセット ・Cassette for storage and transportation A1 B2 A2 D1 A3 KM-40PN D6 D6g 品番 材質 収納枚数 A1 A2 A3 D 1 D1寸法 B 2 溝ピッチ D 6 脚内寸 D 6 g 脚外寸 Number Material Wafer Capacity 全長 Length（mm） 最大幅 Width（mm） 全高 Heigh（t mm） D1 Dimension（mm） Slot Pitch（mm） Foot Width(Inner（) mm） Foot Width(Outer（) mm） KM-40PN PP 25 142.24 124.50 114.30 13.97 4.76 61.60 68.60 KM-40MBP PP 25 142.24 125.50 114.30 13.97 4.76 61.90 69.90 20