トルンプのエレクトロニクス　TruPlasma DC 4000 (G2) シリーズ

輝く反射光。T R U M P F H ü t t i n g e rなら、光学コーティングが輝きを放ちます 完璧な見た目。パルスプロセスによる、非の打ちどころのない薄膜。 TruPlasma DC 4000（G2）シリーズ TruPlasma DC 4000（G2）シリーズの電力供給装置は、難度の TruPlasma DC 4000（G2）シリーズは、TRUMPF Hüttingerの 高い材料の反応性スパッタリングプロセスに役立つように特別に設 優れたアーク制御と直流パルス技術の利点を組み合わせています。 計されています。PVDでもPECVDでも、このジェネレータは重要 そのため、重要なコーティングプロセスにおいて、飛沫と基板の損 な産業プラズマプロセスで威力を発揮します。具体的には、太陽電 傷がいっそう少なくなります。これにより、本来の非常に小さな蓄積 池の製造、半導体の製造、硬質コーティングなどの用途です。この エネルギーと相まって、総合的なプロセス品質と生産時の処理能力 ジェネレータは、出力10～ 200 kWで（他と併用可能）、幅広い負 が大幅に向上します。 荷インピーダンス範囲にわたって最大出力を供給します。高速DSP 制御により、安定したプロセスが可能になり、アーク時間に関連する 損失が低く抑えられます。 特徴 利点 きわめて小さなアークエネルギー 優れた薄膜品質と歩留まり 超高速デジタル制御プラットフォーム 安定したプラズマと低いアーク関連の時間損失 逆電圧は調整可能 各種のプロセス要件にシンプルに適合 幅広く調整可能なパラメータ：波数およびパルスパラメータ 1台の装置で幅広い用途に対応 非常に高度な監視ツール 迅速・容易なプロセス最適化 完全水冷式 コンパクトな寸法、容易なシステム統合

TruPlasma DC 4000（G2）シリーズ 出力パラメータ 冷却仕様 出力 10 kW、20 kW、40 kW 最大水圧 最大7 bar 出力周波数 2 kHz～ 100 kHz 最小差圧 2 bar 出力電圧 1000 V、1200 V 冷却水流量 8 ℓ/min 出力電流 25 A、50 A、100 A、33 A、66.5 A、 最高冷却水温度 +35 °C 133 A 調整モード 電力、電圧、電流 環境仕様 使用率 > 90 % 周囲温度 +5 °C～ +45 °C （運転時） 運転デューティサイクル 10 %～ 100 % -25 °C～ +55 °C （保管時） 逆電圧 0 V～ 100 Vで調整可能 相対湿度 5 %～ 85 %（結露なきこと） 調整 1精度 ± 0.5 % 気圧 860 hPa～ 1,060 hPa ライン ± 10 % 1) 海抜2,000 m以下。 負荷 10 %～ 90 % 繰り返し精度 ± 0.2 % インターフェース 出力極性 フローティング アナログ / デジタル 25ピンSub-D RS 232 / RS 485 9ピンSub-D アーク検知基準 PROFIBUS 9ピンSub-D アーク処理能力 最大20 kArcs / sec EtherCAT2 RJ45 × 2 アーク検知時間 < 100 ns DeviceNet2 5ピンDeviceNetコネクタ Imax 検知 変数 lmax 閾値：10 %～ 130 % 2) ご要望に応じて利用可能。 クロス検知（U x I） 変数 Ux 閾値：0 %～ 90 % 変数 l 寸法（W × H × D、mm）x 閾値：5 %～ 100 % 動的電圧変化 変数 dU 閾値：5 %～ 80 % Un TruPlasma DC 4010 / 4020 482 (19” ) × 178 (4U) × 720 TruPlasma DC 4040 482 (19” ) × 357 (8U) × 720 入力パラメータ 重量 電源電圧 400 V～ 480 V × 3 ± 10 % TruPlasma DC 4010 / 4020 60 kg / 75 kg 電源周波数 50 Hz / 60 Hz ± 5% TruPlasma DC 4040 150 kg V/Iグラフ 逆電圧は調整可能 パルス周期 1750 点火電圧a) 休止時間 U U revn = 1000 V / 1200 V U U b)n rev 平均出力 0 300 Uset In 時間 a) 点火電圧は調整可能（ご要望に応じて利用可能）。 b) 逆電圧は使用電圧とは関係なく調整可能（0～100 V）。 TruPlasma DC 4040（G2） 661 mm 483 mm 610 mm 435 mm 686 mm 出力電圧 355 mm 出力電圧 © TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, 2017. All rights reserved. 誤記が含まれる場合があります。内容は予告なく変更されることがあります。1527487 - V05