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トルンプのエレクトロニクス 誘導加熱システム TruHeat シリーズ

製品カタログ

パワフル、広い適合範囲、優れたプロセス信頼性

トルンプが提供する誘導加熱電源は熱処理における理想的なソリューションです。典型的な誘導加熱からエピタキシャル成長やチョクラルスキー法など特殊なアプリケーションまで幅広くカバーします。
速度、安定性、制御とエネルギー効率を巧みに組み合わせることにより誘導加熱を的確に使用することで、様々な工業分野と多数の生産プロセスにおいて大きなメリットを得ることができます。しかも使用範囲と用途はほぼ無限です。

(関連ワード:熱処理、硬化、加熱、はんだ、溶解、鍛造、焼なまし)

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このカタログについて

ドキュメント名 トルンプのエレクトロニクス 誘導加熱システム TruHeat シリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
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このカタログの内容

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TRUMPF Hüttingerによる 誘導加熱 信頼性の高い 加熱プロセスを 可能にするジェネレータ
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ほぼあらゆる加熱プロセスに適した 誘導ソリューション 電気を伝導するほとんどの物質は、高周波数の磁界に置か れると高温になります。誘導により、エネルギー源と物理的 に接触せずに、迅速・正確にエネルギーをワークピースに 伝えることができます。 その結果、真空を含む多様な環境において、高速で効率的 な加熱プロセスが実現されます。 TRUMPF のジェネレータは、非常に厳しい条件下でも、頑 強で信頼性の高い、安定した性能を発揮し、お客様に貢献 します。 TRUMPF Hüttinger – プロセスのノウハウ 当社は、あらゆる難度の誘導プロセスに関して、長年にわたる経験を有しています。これをもとに開発されたジェネレータは、幅広い 出力と周波数、そして大きな運転の余力が特徴です。 TRUMPF Hüttingerは、お客様の個別のご要望に迅速・正確にお応えします。ドイツのフライブルクにある当社のアプリケーション ラボでは、お客様のプロセスに適した加熱ソリューションをお探しすることで、お客様をサポートします。 パイロメータ 産業ソリューション 従来の用途 特殊な用途 自動車産業 硬化、焼きなまし、焼き戻し 結晶引き上げ 外部回路 インダクタ 包装産業 (ケーブル)加熱 エピタキシー ジェネレータ 医療技術 溶融 浮遊帯溶融 ガラス産業 収縮 スカル溶解 航空宇宙 乾燥 誘導結合プラズマ 半導体産業 接着 SiC の物理気相輸送法(PVT) 電気通信 シーリング 機械工学 管溶接 チラー 科学および研究 はんだ付け 熱処理 TRUMPF Hüttinger の誘導システム 生産時に加熱プロセスを使用する 結合 その他の産業 鍛造 軟化 2 3
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パワフル、広い適合範囲、優れたプロセス信頼性。 TruHeat MF 中周波でも、高周波でも、TRUMPF Hüttinger のジェネレータは TruHeat MF 3000 / 5000 / 7000シリーズは、誘導加熱用の 技術の採用により、幅広い用途に対応します。TruHeat MFシ パワフルできわめて多用途な中周波ジェネレータです。これら リーズは、たとえばエピタキシー、結晶成長、硬化、溶融、はん あらゆる課題に対応します。 のジェネレータは、高性能プロセス向けに専用設計されており、 だ付け、焼きなまし処理など、従来の用途かハイテク用途かを 多様なコンフィグレーションとパラメータのものが揃っています。 問わず、多様な用途に対応できます。各種シリーズが用意され 個別のモデルは、出力 10 kW ~ 250 kW、周波数範囲 3 kHz ているので、スペースが限られている既存のシステムや設備に ~ 200 kHzのものをご用意しています。世界中での使い勝手 も簡単に統合することができます。 TruHeat MF TruHeat HF を考え、供 給 電 圧 380 V ~ 480 Vで 稼 働します。並 列 回 路 TRUMPF Hüttingersの MFジェネレータは、狭い設置スペー TRUMPF Hüttingersの HFジェネレータは、非常に小さなコン スでの高い効率、最先端のインターフェース、インテリジェント ポーネントの加熱にも最適です。きわめて幅広い周波数範囲を な冷却コンセプトなど、市場で知られている優れた製品特徴を 備えており、高度な加熱プロセスにとって完璧なソリューション 組み合わせることに成功しています。 です。TruHeat HFシリーズは、驚くほどの長期的な安定性によ 特徴 利点 多用途の並列共振回路技術を用いて設計され、高いプロセス信 り、浮遊帯溶融法や複雑な溶融法などの重要なプロセスにおけ 頼性を備えており、ハイテク世界において頼りになるパワフルな る主要資産となります。 ソリューションとなります。 高い出力密度を備えた、きわめてコンパクトな設計 新規システムにも既存のシステムにも容易に統合可能 幅広い供給電圧範囲 世界中でそのまま使用可能 並列発振回路による、迅速なプロセス適応 コ ンデンサ切り替え時のセットアップ時間が不要で、生産性と プロセス安定性が向上 ほぼ0 %から100 %までのプロセス出力調整 温度制御プロセスに最適 折り紙付きの信頼性 高い生産性と一定した処理結果 先進のユーザインターフェース 設定と操作が容易 TruHeat MF 3000シリーズ (19インチラック) TruHeat MF 5000シリーズ (テーブルトップ装置) TruHeat MF 7000 シリーズ(キャビネット) 外部回路(典型例) TruHeat MF G3 シリーズ TruHeat MF 7000 G2シリーズ 4 5
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EWN TruHeat MF G3シリーズのテクニカルデータ TruHeat MF 3000 / 5000 / 7000シリーズのテクニカルデータ 出力パラメータ TruHeat MF 3000 G3 TruHeat MF 7000 G3 出力パラメータ 出力 10 kW1、20 kW1、30 kW1、40 kW1、50 kW 60 kW1、80 kW1、100 kW 出力 10 kW、20 kW、30 kW、40 kW 5 ~ 30 kHz 5 ~ 30 kHz 5 kHz ~ 20 kHz 出力周波数 20 ~ 100 kHz 20 ~ 100 kHz 出力周波数 20 kHz ~ 100 kHz 20 ~ 200 kHz2 20 ~ 200 kHz3 20 kHz ~ 200 kHz1 出力電圧 300、600 V 出力電圧 300、600 V 主電源接続データ 主電源接続データ 主電源消費電力 13 kVa、25 kVa、37 kVa、49 kVa、61 kVa 73 kva、97 kva、121 kva 主電源消費電力 13 kVa、25 kVa、37 kVa、49 kVa 供給電圧 380 ~ 480 V ± 10 % 供給電圧 3/PE AC 400 ~ 480 V +/- 10 % 主電源周波数 50 Hz / 60 Hz 主電源周波数 50 Hz / 60 Hz 力率 < 0.95 力率 0.96 使用率 < 94.5 % 使用率 87 % 安全カテゴリ 1または 3 冷却仕様 冷却仕様 最大水圧 6 bar 最大水圧 6 bar 最小差圧 3 bar 最小差圧 3 bar 最小冷却水流量(4 bar時) 最小冷却水流量(4 bar時) 電源供給ユニット 16.5 ℓ/min ~ 21.5 ℓ/min(キャビネット) 電源供給ユニット 約 11 ℓ/min 約 25 ℓ/min 外部回路 7 ℓ/min 最高冷却水温度 ≤ 35 °C 最高冷却水温度 35 °C 寸法 寸法 TruHeat MF 3000 TruHeat MF 5000 TruHeat MF 7000 外部回路 W × H × D(コネクタを除く) 444 mm × 400 mm × 754 mm 600 mm × 1600 mm × 800 mm W × H × D(コネクタを除く) 444 mm × 400 mm 555 mm × 505 mm 600 mm × 1405 mm 最大 215 mm 重量 98 kg 349 kg × 754 mm × 843 mm × 825 mm × 250 mm × 400 mm 重量 87 kg 105 kg 220 kg 21 ~ 25 kg 保護等級 IP 20 IP 54 保護等級 TruHeat MF 3000 TruHeat MF 5000 TruHeat MF 7000 外部回路 IP 21 IP 21 IP 54 IP 542 インターフェース ADユーザインターフェース 37ピンsub-D(オプション) インターフェース RS-2324 / RS-4854 9ピンSub-D ADユーザインターフェース 25ピンSub-D / 37ピンSub-D PROFIBUS4 9ピンSub-D RS-232 / RS-485 9ピンSub-D Profinet4 またはEtherCAT RJ45(オプション) PROFIBUS 9ピンSub-D サービスインターフェース RJ45 認証 OPC - UA4 あり CE あり Web GUI あり 1 24 V あり 200 kHz時の最大出力 35 kW 2 ユーザが接続ジョー部分で実施 認証 CE あり Semi F47-07064 あり NRTL あり(オプション) FCC4 あり 1 ソフトウェアのダウングレード 2 出力ディレーティング:約 33 kW @ 200 kHz ³ 出力ディレーティング:約 66 kW @ 200 kHz 4 ご要望に応じて 6 7
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TruHeat MF 7000(G2)シリーズのテクニカルデータ TruHeat HF 出力パラメータ TruHeat HF 1000 / 3000 / 5000シリーズは、誘導加熱プロ 並列発振回路向けの TruHeat HF 3000 / 5000 Hシリーズは、 出力 60 kW、80 kW、100 kW、120 kW、150 kW、180 kW、200 kW、240 kW セス用の HFジェネレータです。そのコンパクトな寸法、高い出 従来型および最新型の誘導加熱プロセスに適したHFジェネレー 0.5 ~ 2.5 kHz 力密度、幅広い周波数範囲は、業界で他に類を見ません。応用 タです。TruHeat HF 1000 / 3000 / 5000シリーズとは異な 1 ~ 5 kHz 分野は、誘導加熱の世界と同じくらい多様です。微小装置の熱処 り、電源と応用エリアを結ぶ最大 20 mの可撓電源ケーブルが 出力周波数 3.5 ~ 17.5 kHz 理でも、高度な自動化加熱プロセスでも、TruHeat HF 1000 / 備わっています。これにより、どこで加熱プロセスを実施しても、12 ~ 60 kHz 40 ~ 100 kHz 3000 / 5000シリーズはあらゆる課題に対応します。高効率の 発振回路を移動することができます。 40 ~ 200 kHz1 HF設計により、非常にコスト効率に優れた加熱ソリューション 出力電圧 300、600、750、900、1200 V です。短い加熱時間、精密なエネルギー供給という2点以外に TruHeat HF 7000シリーズは、500 kHzを超える周波数で使 も多くの長所を有するこのジェネレータは、お客様の生産性の 用するときの加熱要件も満たしています。ジェネレータの外部回 主電源接続データ パートナーとなります。簡単なシステム統合を可能にする多様な 路(共振周波数で振動)により、特定の加熱ソリューションに対す 主電源消費電力 75 kVA、93 kVA、116 kVA、139 kVA、174 kVA、209 kVA、232 kVA、278 kVA インターフェースが用意されています。 る最適な負荷の適応が可能です。この技術的アプローチは、とく 主電源 AC 380 ~ 480 V に使用目的が頻繁に変わる場合に優れています。 主電源周波数 50 Hz / 60 Hz 力率 > 0.95 使用率 91 % 冷却仕様 最大水圧 6 bar 最小差圧 2.2 bar ~ 2.5 bar2 特徴 利点 冷却水流量 28 ℓ/min、32 ℓ/min、42 ℓ/min、37 ℓ/min、50 ℓ/min 冷却水温度 5 ~ 35 °C | ≤ 45 °C(電力の低下あり) きわめてコンパクトな設計 容易なシステム統合が可能 寸法 外部回路 頑強で信頼性の高い設計 産業環境下でのアップタイムの最大化 W × D × H 800 mm × 800 mm × 2000 mm 最大 400 mm × 710 mm × 400 mm 幅広い負荷適応範囲 重要な長期プロセスのための生産性の維持 重量 510 ~ 700 kg3 18 ~ 86 kg 幅広い周波数範囲 各 プロセスに最適な動作周波数が可能 電源ケーブル長さ 5 ~ 25 m 一貫した処理結果 非常に優れたプロセス再現性 高レベルの管理システムからのリモートコントロール 保護等級 外部回路 複数の通信インターフェース IP54 IP544 インターフェース ADユーザインターフェース 37ピンsub-Dメスコネクタ RS-232 / RS-485 9ピンsub-D PROFIBUS 9ピンsub-Dメスコネクタ イーサネット RJ 45 EtherCAT ご要望に応じて PROFINET2 RJ 45 認証 CE あり TruHeat HF 1000シリーズ TruHeat HF 3000および 3000 Hシリーズ Semi F47 あり (電源装置) (19インチラック) 1 対応する皮相電力の低下あり 2 2.2 bar(出力 200 ~ 240 kW時) 3 出力により異なる 4 ユーザが接続ジョー部分で実施 5 オプション TruHeat HF 5000および 5000 H TruHeat HF 1000 / 3000 / 5000 シリーズ(テーブルトップ装置) シリーズの外部回路 チューブタイプのジェネレータ TruHeat HF 7000シリーズ 8 9
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TruHeat HF 1000 / 3000 / 5000シリーズのテクニカルデータ 並列発振回路用の TruHeat HF 3000 / 5000シリーズのテクニカルデータ 出力パラメータ 出力パラメータ 出力 5 kW、10 kW 出力 5 kW、10 kW 出力周波数 50 kHz ~ 450 kHz(35 A時) 2 60 kHz 50 kHz ~ 800 kHz(17.5 A時) 100 kHz 出力周波数 200 kHz 出力トランスの巻数比 6:1 ~ 16:1 300 kHz 出力電圧 250、520 V 400 kHz 出力電流 17.5 ~ 35 A 最高出力電圧 100、150、200、250、300、400、500、600 V 周波数範囲 0.9. fn < f < 1.2 fn 主電源接続データ 主電源消費電力 6.5 kVA ~ 12.5 kVA 主電源接続データ 供給電圧 3/PE AC 200 / 208 V、± 10 % 主電源消費電力 6.2 kVA、12.2 kVA 3/PE AC 400 V、± 10 % 3/PE AC 200 / 208 V、± 10 % 主電源周波数 50 Hz / 60 Hz 供給電圧 3/PE AC 400 V、± 10 % 力率 0.95 力率 0.95 使用率 90 % 使用率 90 % 冷却仕様(水冷式) 冷却仕様(水冷式) 最大水圧 6 bar 最大水圧 6 bar 最小差圧 3 bar 最小差圧 3 bar 冷却水流量 最小冷却水流量 電源供給ユニット 4.2 ℓ/min ~ 9.5 ℓ/min 電源供給ユニット 3.5 ℓ/min(3 bar時) 外部回路 3.6 ℓ/min 外部回路 3.6 ℓ/min(2 bar時) 最高冷却水温度 35 °C 最高冷却水温度 35 °C 寸法 HF 1000シリーズ HF 3000シリーズ HF 5000シリーズ 外部回路 寸法 TruHeat HF 3000シリーズ(H) TruHeat HF 5000シリーズ(H) 外部回路 W × H × D(コネクタを除く) 211 mm × 122 mm 483 mm × 133 mm 555 mm × 195 mm 114 mm × 186 mm × 500 mm × 662 mm × 700 mm × 328 mm W × H × D(コネクタを除く) 483 mm × 133 mm × 560 mm 554 mm × 194 mm × 730 mm 110 mm × 160 mm × 215 mm 重量 重量16 kg 30 kg 41 kg 12 kg 28 kg 39 kg 6 kg 電源ケーブル長さ 5 ~ 20 m 保護等級 HF 1000シリーズ HF 3000シリーズ HF 5000シリーズ 外部回路 1 保護等級 TruHeat HF 3000シリーズIP 30 IP 54 IP 54 IP 54 TruHeat HF 5000シリーズ 外部回路 IP 30 IP 30 IP 541 インターフェース インターフェース ADユーザインターフェース 37ピンSub-D RS-232 ユーザインターフェース ピン9ピンSub-D AD 37 sub-D CANバス ピン5ピンmini-styleコネクタ RS-232 / RS-485 9 sub-D PROFIBUS PROFIBUS 9ピン9ピンSub-D sub-D DeviceNet 5ピンmini-styleコネクタ 認証 認証 CE あり CE あり 1 ユーザが接続ジョー部分で実施 1 2 電源ケーブル長さ最大 2 mまで ユーザが接続ジョー部分で実施 10 11
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TruHeat HF 7000シリーズのテクニカルデータ 出力パラメータ 出力 1 10 kW、30 kW、60 kW、100 kW、120 kW 出力周波数 400 kHz ~ 800 kHz1000 kHz ~ 3000 kHz 出力電圧 2 5000 V、6300 V、6600 V、7000 V 主電源接続データ 主電源消費電力 2 21 kVa、63 kVa、126 kVa、210 kVa、252 kVa 3/PE AC 200 / 208 V、± 10 %3 供給電圧 3/PE AC 400 V、± 10 % 3/PE AC 480 V、± 10 % 主電源周波数 50 Hz / 60 Hz 力率 0.9 使用率 60 % 冷却仕様 最大水圧 6 bar 最小差圧 3.5 bar 冷却水流量(電源供給ユニット)2 10 ℓ/min、30 ℓ/min、60 ℓ/min、100 ℓ/min、120 ℓ/min 最高冷却水温度 35 °C 寸法 TruHeat HF 7010 TruHeat HF 7030 TruHeat HF 7060 / 7100 / 7120 600 mm × 1700 mm 1600 mm × 2000 mm 2000 mm × 2000 mm W × H × D(コネクタを除く) × 600 mm × 800 mm × 800 mm 重量 900 kg 1200 kg 1500 ~ 2400 kg 外部回路の寸法 TruHeat HF 7010 / 7030 / 7060 TruHeat HF 7100 / 7120 コネクタを除く 400 mm × 400 mm × 400 mm × 400 mm × 670 mm 800 mm 単なるアクセサリではなく、加熱プロセスにおける重要なパーツ 保護等級 電源供給ユニット IP 54 誘導加熱プロセスの中心となるのは、たしかに外部回路を備えた TRUMPF のジェネレータです。しかし、信頼性の高い最適な性能を 外部回路 IP 544 発揮する機能的・網羅的なシステムとするためには、さらなる主要コンポーネントが必要になります。具体的には、同軸トランス、チ ラー、パイロメータなどであり、これによって完全なプロセスソリューションとなります。こうした資産のためにTRUMPF Hüttinger インターフェース をご指名いただくことで、統合システム設計による利点が得られます。とくに重要となるのは、誘導、つまりジェネレータのエネル ADユーザインターフェース 40ピン、Harting社製 ギーをワークピースに伝える役割を果たす要素です。TRUMPF Hüttingerでは、誘導加熱の理論と実践に関するノウハウを駆使し、 お客様の用途に適した完璧なインダクタを設計することができます。 認証 CE あり 1 インダクタ チラー 記載の出力値は、あくまで一般的なバージョンを選択した場合のものです。ご要望に応じて、他の出力値にすることも可能です 2 値は「出力」におけるデータランクと相関しています お 客様の用途にあわせた設計。 高い温度には制御された冷却が必要です。 3 ご要望に応じて TRUMPF Hüttingerはマニュファクチャリング・エクセレンス 当 社のチラーは、安全で信頼性の高いジェネレータとコイル 4 ユーザが接続ジョー部分で実施 (製造の卓越性)の代名詞です。 の動作に必要な機能を備えています。 同軸トランス パイロメータとコントローラ 低インピーダンス用途にマッチするように最適化。 高 い信頼性とともに温度を検知し、小さな温度変化にも迅速 ジェネレータのパワーを最大限に活用。 に反応することで、さらに一貫した処理結果と歩留まりが得ら れます。 12 13
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御社がアイデアを実現できるよう、 当社のノウハウが御社にとっての 当社がソリューションを開発します。 利点となります 通常、出発点となるのは、誘導テクノロジによって製造ステップの生産性が向上するのかどうか、またそれはどのようにして可能にな るのかという問題です。これに関して、TRUMPF Hüttingerは個別のソリューションコンセプトを複数のステップで御社に提示い 低い投資費用 たします。これにより、当初から最大限の透明性と信頼性が得られ、すぐに何らかのシステムを購入しなくても、最初に実現可能性を 最小限の投資費用による実現可能性調査 確認することができます。初めに、要件と処理温度が定義されます。これを踏まえ、分析手法とともにソリューションが策定され、テス トされます。 費用を最適化した製造プロセス 御社の工程と同様、アプローチは個性的です。 加熱プロセスの最適化による効率改善と費用低減 オーダーメイドのソリューション 御社の製造に特別に合わせたソリューション 数十年にわたる経験 +49 761 8971-0 経験豊富な当社のエンジニアをご信頼ください Team.Induction@trumpf.com ス テップ 1 ス テップ 2 ス テップ 3 ス テップ 4 分析 アプローチの策定 テストフェーズと最適化 実現 基本トライアル: 実験室でのテスト: 制約事項の定義と包含 テストインダクタの適応と最適化 適用試験の準備とセットアップ 電気および熱パラメータの決定 材料特性とプロセス環境の分析 電源の適応 インダクタ形状の決定 経済的効率の計算 プロセスパラメータ(開始・終了温度、表面特性、 温度測定および制御システムの調整 結果についての記録作成 形状、加熱およびサイクルタイム、断熱など)の テストインダクタの製造 数値シミュレーション: 御社の製造プロセスにおける個別に開発された分析 用途の実現 システム全体についてのその他の制約事項 数値シミュレーション: 計算の実施 ご要望に応じて、現場での試運転(床面積、目標単位原価など)の分析 モデルの適応と最適化 コンポーネントと周囲の形状を考慮した上での 電磁界パターン(温度、磁界など)の策定 2D および 3D モデルの作成 電気および熱パラメータの決定 インダクタ形状の決定 14 15
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トルンプ株式会社 本社 〒226-0006 横浜市緑区白山 1-18-2 電話 045-931-5725 ファックス 045-931-5824 E-mail: info@jp.trumpf.com 友だち追加は http://www.trumpf.com こちらから! © TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG, 2020. All rights reserved. 誤記が含まれる場合があります。内容は予告なく変更されることがあります。V02/EN/11.2020