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【三菱電機】三菱電機マルチワイヤ放電スライス加工機 DS1000

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ドキュメント名 【三菱電機】三菱電機マルチワイヤ放電スライス加工機 DS1000
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 菱電商事株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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三菱電機マルチワイヤ放電スライス加工機 DS1000 Global Partner. Local Friend. FACTORY AUTOMATION 三菱電機マルチワイヤ放電スライス加工機 【YouTube】【YouTubeロゴ】は、Google Inc. の商標または登録商標です。 DS1000 ご使用の前に取扱説明書・安全マニュアルを よくお読みの上、正しくお使いください。 三菱電機株式会社 お問い合せは下記へどうぞ 東日本メカトロソリューションセンター 東北支社 中部支社 豊田支店 〒336-0027 〒980-0013 〒450-6423 〒471-0034 さいたま市南区沼影1-18-6 仙台市青葉区花京院1-1-20 名古屋市中村区名駅3-28-12 豊田市小坂本町1-5-10 (花京院スクエア) (大名古屋ビルヂング) (矢作豊田ビル) TEL(: 048)710-5610 TEL(: 022)216-4551 TEL(: 052)565-3112 TEL(: 0565)34-4112 北陸支社 西日本メカトロソリューションセンター 中国支社 九州支社 〒920-0031 〒660-0807 〒730-8657 〒810-8686 金沢市広岡3-1-1(金沢パークビル) 尼崎市長洲西通1-26-1 広島市中区中町7-32 福岡市中央区天神2-12-1 (ニッセイ広島ビル) (天神ビル) TEL(: 076)233-5538 TEL(: 06)4868-8653 TEL(: 082)248-5236 TEL(: 092)721-2356 詳細技術事項等のお問合せは下記へどうぞ 名古屋製作所 三菱電機東日本 三菱電機西日本 放電製造部(加工技術課) メカトロソリューションセンター メカトロソリューションセンター 〒461-8670 〒336-0027 〒660-0807 名古屋市東区矢田南5-1-14 さいたま市南区沼影1-18-6 尼崎市長洲西通1-26-1 TEL(: 052)712-2308 TEL(: 048)710-5750 TEL(: 06)4868-8656 三菱電機メカトロニクスエンジニアリング株式会社 アフターサービスのお問い合せは下記へどうぞ 東北サービスセンター 福島サービスセンター 新潟サービスセンター 関東サービスセンター 南関東サービスセンター 〒983-0035 〒963-8862 〒950-1101 〒336-0027 〒194-0005 宮城県仙台市宮城野区 福島県郡山市菜根5丁目3-7 新潟県新潟市西区 埼玉県さいたま市南区沼影1-18-6 東京都町田市南町田4-15-1 日の出町1-2-6 HD菜根ビル1-A 山田字中道下の中374-1 TEL(: 048)710-4395 TEL(: 048)710-4395 TEL(: 025)230-1900 TEL(: 048)710-4395 TEL(: 042)795-8577 長野サービスセンター 中部サービスセンター 富山サービスセンター 静岡サービスセンター 関西サービスセンター 〒399-0006 〒485-0829 〒939-8211 〒435-0041 〒660-0807 長野県松本市野溝西2-9-62 愛知県小牧市小牧原3-205 富山県富山市二口町2-7-4 静岡県浜松市東区北島町679-1 兵庫県尼崎市長洲西通1-26-1 TEL(: 0263)28-2257 TEL(: 052)719-7121 TEL(: 076)423-5605 TEL(: 053)423-4702 TEL(: 06)6489-0421 兵庫サービスセンター 広島サービスセンター 岡山サービスセンター 九州サービスセンター 熊本サービスセンター 〒670-0972 〒731-5106 〒710-0803 〒813-0035 〒861-8082 兵庫県姫路市手柄1-58 広島県広島市佐伯区利松1-12-36 岡山県倉敷市中島1208-4 福岡県福岡市東区松崎2-22-4 熊本県熊本市北区兎谷1-3-27 TEL(: 06)6489-0421 TEL(: 082)927-6360 TEL(: 086)466-5531 TEL(: 092)671-9922 TEL(: 092)671-9922 リース、レンタル、割賦のご相談は下記へどうぞ 三菱電機クレジット株式会社 〈本社 産業機械設備事業部 〈関西支店リース営業部〉 〒141-8505 産業機械設備課〉 〒660-0807 東京都品川区大崎1-6-3 〒336-0027 さいたま市南区沼影1-18-6 兵庫県尼崎市長州西通1-26-1 (日精ビルディング) (三菱電機東日本メカトロソリューションセンター内) (三菱電機西日本メカトロソリューションセンター内) TEL(: 03)5496-9262 TEL(: 048)710-5758 TEL(: 06)6345-7503 〒100-8310 東京都千代田区丸の内2-7-3(東京ビル) A l m i g h t y S w o r d K-K02-8-CA300-A 名1909〈IP〉 この印刷物は、2019年9月現在の発行です。なお、お断りなしに外観・仕様を変更することがありますのでご了承ください。 2019年9月作成 DS1000
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1 2 3 4 5 マルチワイヤ放電スライス技術、     加工現場に革新をもたらす。 A l m i g h t y S w o r d 1 マルチワイヤ放電スライス加工機 機械本体仕様・ ・・・・・・・・・・・・・3 2 業界背景/加工サンプル ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・5 3 マルチワイヤ放電スライス技術 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・7 4 操作性・作業性/電源・制御仕様 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・9 1 5 機械の導入準備・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・11 2
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DS1000 DS1000 DS1000 〈外形図〉 表示灯(オプション) ワークステージ定盤 世界驚愕のスライス技術搭載 マルチワイヤ放電スライス加工機 1 425 950 900 260 1355 2535 2550 〈配置図〉 B A 520 アンカー固定治具 A : 電源引込口イオン交換樹脂 (オプション) AC200/220V±10% レベリングボルト 50/60Hz、18kVA C 機械本体用(X6) 接続端子サイズ”38-S8” 121 B : エアー一次側 0.5~0.7MPa、75L/min以上 1/4ホース接続(ホース口金外径φ9) C : 清液排出口電源 PT1ネジ バルブ止メ(F.L.カラ52mm) アンカー固定治具 D : 汚液排出口 (オプション) PT1ネジ バルブ止メ(F.L.カラ52mm) 機械本体   〈電源、エア〉 ◎: 天井ヨリ下ロス位置 max.476 ○: 引込口 ☆: 実装位置 150 100 D 工作物 (max.φ100×100) アンカー固定治具 8 1355 50 (オプション) min. 447 50 300 700 1800 min.800 52 3652(*) (*) 設置寸法(メンテスペース含む) (バイスユニット) 〈出荷時機械寸法〉 幅2070mm, 高さ2020mm ■機械本体仕様 仕様項目 仕様 機械本体重量 [kg] 6,000 最大工作物寸法(外径×長さ(奥行)) [mm] φ100×100( *1)(*2) 工作物許容質量 [kg] 40(固定治具含む) ワークステージサイズ(幅×奥行) [mm] 150×150 Z軸移動量 [mm] 175 ロール(メインロール/サブロール)( *3) [個] (メインロール: /サブロール: ) 機械本体 4 2 2 ボビン(繰出し部/巻取り部/予備) [個] 3 ワイヤ重量/距離(ボビン満巻き時) [kg/km] 6.7/110 使用ワイヤ電極径  [mm] φ0.1 ワイヤピッチ [μm] 600 DS1000 給電子数 [個] 10最大ワイヤ並列数 [本] 10加工液タンク容量 [L] 580 加工液タンク 純水器(イオン交換樹脂) [L] 18 加工液温度制御装置 ユニットクーラー ろ過方式 ペーパーフィルタ2本 総合入力 [kVA] 18 必要エア量  圧力 [MPa] 0.5~0.7 3  流量 [L/min] 75以上 4 (*1) オプションのワークバイスを使用した場合の寸法です。外径φ4inch相当まで対応可能です。 (*2) 結晶インゴット等を終端まで切りきる場合、保持具等を別に準備頂く必要があります。 (*3) メインロールとサブロールは同一品です。 3435(*) min. 300 2485 min.650 522 1883 80 270 210 900 950 1663 545 150 298 175st 848 40 2020 マルチワイヤ放電スライス加工機 機械本体仕様
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DS1000 DS1000 業界背景 加工サンプル パワー半導体/LD(レーザーダイオード)/LED用途として、SiC(炭化ケイ素)、GaN(窒化ガリウム)等、 スライス工程への放電加工技術の適用により、ワンランク上の高付加価値加工を実現 次世代素子の実用本格化。時代・ニーズに応えるために、放電加工機は新たな領域へ 4インチ多結晶SiCスライス ■サンプル諸元  ワイヤ並列数 10 並列  ワイヤピッチ 600μm  ワイヤ線径 Φ0.1mm 2  平均板厚 385μm 2インチ単結晶SiCスライス 次世代半導体は、広い産業分野で省エネに貢献 ■サンプル諸元 SiC/GaNパワー半導体による省エネの実現  ワイヤ並列数 10 並列  ワイヤピッチ 600μm  ワイヤ線径 Φ0.1mm  平均板厚 427μm 産業用機器 家庭用電化製品 鉄道車両 自動車 発電システム 4インチ単結晶SiCスライス ■サンプル諸元  ワイヤ並列数 10 並列 次世代半導体材料(SiC/GaN)のウエハ製造工程と材料特性  ワイヤピッチ 600μm ■ 半導体基板の製造工程 ■ 材料特性  ワイヤ線径 Φ0.1mm 結晶 結晶 熱処理  平均板厚 428μm 材料 成長 (インゴット) 加工 エッチング 熱処理 研磨 •広バンドギャップ •高絶縁破壊電圧 素子特性が改善 •広温度適用範囲(高熱伝導) •高硬度(SiC) 整形加工 スライシング べべリング ラッピング 被加工性に影響(面取り) •高脆性、へき開性(GaN) 4インチ多結晶SiCスライス ■サンプル諸元  ワイヤ並列数 40 並列 •従来材料(Si)と比較して、切削加工困難 マルチワイヤソーによる  ワイヤピッチ 600μm スライシングが一般的 •従来工法(ワイヤソー)での製造コストが大幅増加  ワイヤ線径 Φ0.1mm 次世代半導体の電気特性とスライス工程への放電加工適用 (*)ワイヤ 40並列加工仕様は現在開発中です。 ■半導体の電気抵抗率 ■放電加工による改善効果 4H-SiC/GaN [Ωcm] 10−5 10−4 10−3 10−2 10−1 100 101 104 1017 •高硬度・高脆性材料の 放電加工 ワイヤソー加工 ス 加工性能向上 ワークピース ワークピース 放ラ 電イ •非接触加工による 加工液 加工液 工具 (砥粒含む) 鉄(鋼)エピウエハ用Si 太陽電池用Si 絶縁性セラミックス 加ス工 加工溝幅の最小化 最 ワイヤ電極 (脱イオン水) ワイヤ(Si3N4など) 工 シリコン(Si) 適程 小 5 用へ •砥粒レス加工による 化脱イオン水で 電気抵抗率:1Ωcm程度 の  放電内加工が可能 以下の材料は、硬度の高低に ランニングコスト削減 6 関わらず、放電加工可能 ランニングコスト削減 1Ωcm以下 業界背景/加工サンプル
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DS1000 DS1000 マルチワイヤ放電スライス技術:D-SLICE (ディー・スライス: Discharge SLICE) 4インチの高硬度なSiCやGaN素材を 世界で初めて(*1)、放電加工方式によるマルチスライシング技術を実用化 同時に20枚加工可能なマルチワイヤ放電加工システム(*2) ● ワイヤを最小600μm間隔で周回させ、薄肉スライス加工可能(ウエハ厚さ:約440μm) ● 放電による非接触加工のため、材料割れ・ダメージ層を抑制し、素材損傷を最小化 ウエハスライス専用のマルチ放電加工電源 ● 多並列ワイヤ個々に、独立してエネルギーを供給することにより、マルチスライス速度を大幅向上(*2) ● 専用高周波電源の開発により、φ0.1mmの細線ワイヤ電極でも断線なく連続加工可能 ランニングコストと環境負荷の低減 ● ダイヤモンド砥粒を使用しない安価なワイヤ電極の採用と省エネルギー電源により 3  ランニングコストを大幅削減 (*1)当社調べ:2019年9月時点 (*2)標準:10並列加工仕様 オプション:20並列加工仕様 マルチワイヤ放電スライス技術:D-SLICE 10並列加工した多結晶SiC材料 スライスした薄板の厚み 放電加工の原理を活用した多並列ワイヤスライス技術により、ウエハスライス工程の生産性向上と製造コスト削減に貢献します 薄板No. No. 1 No. 2 No. 3 No. 4 No. 5 No. 6スライシング工程 ウエハ No. 7 No. 8 No. 9結晶インゴット ワイヤ放電加工技術 マルチワイヤ放電スライス加工機 405 高周波マルチ加工電源 400 ワ 395イヤ走行 送出し 放電による非接触加工 390 ●高硬度材料: (難切削材に好適) SiC(炭化ケイ素)は 385 S(i ケイ素)に比べて SiCパワー半導体 380 高硬度な材料 ワイヤ多並列制御技術 ワーク ワーク ●製造コスト: 多並列加工 移動 巻取り 375 切削加工が困難な (高生産性) マルチワイヤ電極 370 ため製造コストが大 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 幅増加 計測位置 [mm] ※ 加工断面(100x100mm) •平均板厚 385μ   薄板ごとの板厚変動:13μ 以下 マルチ放電加工電源方式 250 •平均溝幅 μ : m • m :202 m 240 •溝幅のばらつき: ウエハ 薄板の厚み230 ●各々のワイヤで、同時に放電を 従来方式の放電加工電源 マルチ放電加工電源方式 220 11μm以下210  発生させることが可能なマルチ 200 •ワイヤピッチ:  加工電源 マルチ電源 190 600μm180 ●並列数に依らず、加工速度は同一 並列ワイヤ 加工電源 並列ワイヤ 170 電極 電極 160 工方向加 0 150 80 90 10 70 被加工物 被加工物 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 40 5 0 60 0 30 計測位置 各々のワイヤで、同時放電は不可能 各々のワイヤで、 Line No. 0 10 2 同時放電が可能 90 1000 70 80 30 40 50 6 0 従来工程との比較 0 10 24インチ単結晶SiCスライス ●ワイヤソー 放電スライス後のSiCウエハ 【加工条件・加工結果】 加工溝幅バラツキ(10並列加工) ダイヤモンド砥粒を電着させたワイヤをSiC素材に押し付けて加工。 電極 φ0.1mmワイヤ 200 このような接触加工では、多大な加工反力発生により、加工面への ワイヤ並列数 10並列 190 180 ダメージが増加。さらに、ワイヤ位置変動に起因した加工溝幅の拡 ワイヤピッチ 600μm 170 大や、加工面うねりが発生します。 最大加工溝幅 156μm 160 ウエハ平均板厚 446μm 150 厚みばらつき 14μm ●放電スライス 140130 放電加工機の技術を応用することにより、非接触加工によるマルチ 120 7 スライシングを実現しました。加工反力が小さいため、接触加工より 110 8 も加工面のダメージが少なく、高精度化に有利です。加工溝幅が狭 100 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 くなるほど、放電加工方式のメリットが活かせます。 ウエハ位置(ワイヤ走行方向) [mm] 溝幅 [μm] 板厚 [μm] 加工溝幅 [μm] マルチワイヤ放電スライス技術
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DS1000 DS1000 操作性・作業性 電源・制御仕様/オプション 手元操作箱 主操作盤 ロール部 ●電源・制御装置仕様 対応機種 DS1000 •主電源・非常停止ボタン 電源仕様 •駆動軸表示 / 設定 •加工条件表示 / 設定 型番 WDS-PS10 •加工状態モニタ 電 電源出力チャンネル数 10 •加工適応制御設定 源 部 外形寸法(幅×奥行×高さ) [mm] 1200×670×890 重量 [kg] 機械本体質量に含む 制御装置仕様 入力方式 USBポート •ワークステージ上下動作 ポインティングデバイス タッチパネル(同時押し不可)  (+Z、-Z) •ロール軸正転 / 逆転 ディスプレイ 10.4インチカラー液晶 4  (FORWARD、REVERSE) 制 表示サイズ(幅×高さ) [mm] 211.1×158.4 御 表示文字 漢字、ひらがな、カタカナ、英数文字 部 極間ワイヤ電極部 ユーザーメモリ 格納用(ROM32MB)、動作用(RAM80MB) POWER LED 発行色:2色(青色、橙色) 基本画面種類 10種類 外形寸法(幅×奥行×高さ) [mm] 385×160×360 重量 [kg] 機械本体質量に含む ボビン部 ●加工液温度制御装置仕様 仕様項目 仕様 ワークステージ部 副操作盤 目標温度調整精度 [℃] (加工液タンク清液温-室温)±0.3 温度制御可能室内温度範囲 [℃] 10~35 ●オプション(後付可) バイスユニット 表示灯(ブザー付き) 結晶方位角調整機構 アンカー固定治具 20並列加工仕様(*) ワイヤピッチ変更(Min. 600μm、Max. 27mm) •ボビン軸動作設定 (*)20並列加工用の電源・給電機構等が追加されます。  (DS、TS、ブレーキ、取り出し) バイスユニット 表示灯 結晶方位角調整機構 シングルスライス加工への対応 試作等の用途には、シングルワイヤ仕様である、 既存のワイヤ放電加工機を推奨します。 4インチ単結晶SiCスライス ■サンプル諸元  ワイヤ並列数 1 並列  ワイヤ線径 Φ0.1mm  最大加工溝幅 159μm 9 10 MV1200R(D-CUBES):SiC/GaN対応特殊仕様 操作性・作業性/電源制御仕様
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DS1000 DS1000 機械導入チェックリスト 制御装置 制御装置 機械本体 加工内容の決定 R 機械本体 RS 一項目ずつチェックして、確認もれや手配もれのないようご注意ください。 ST T YOUR SOLUTION PARTNER 1)工作物の決定 E E 2)加工箇所の決定 他機器 3)前加工箇所の決定 図1 接地線 図2 4)後加工箇所の決定 5. エアー一次側設備 取り付け具の手配 ●ホース径:1/4ホース(ホース口金外形φ9) 1)取り付け具の計画 ●圧  力:0.5~0.7MPa 2)発注手配または製作 ●流  量:75ℓ/min以上 ※エア(圧縮空気)はワイヤ自動供給装置や加工槽扉等の動作に使用します。通常コンプレッサで供給されるエアに 消耗品の手配 は様々な不純物が含まれております。不純物が電磁弁等の空圧機器に入ると動作不良の原因となります。 1)ワイヤ電極など消耗品の購入  エア源(一次エア)管路にはドレン排出機構付エアフィルタを設置するなどして、不純物が空圧機器に入らないよ うに配慮ください。 プログラマ・オペレータの教育 6. シールドルーム 1)プログラマ・オペレータの人選  マルチワイヤ放電加工により、テレビやその他通信設備に障害を与える場合は、シールドル 2)講習会受講の申込み ームの設備が必要です。なお、シールドルーム内にマルチワイヤ放電加工機を設置する場合 は、以下の点に注意して施工してください。 低圧配電制御機器 基礎工事・電源工事などの確認 1.アースはシールドルーム内でとってください。(図3) 電波障害の可能性がある場合は事前に調査願います。 2.シールドルーム内でアースがとれない場合は、ワイヤ放電加工機の接地ケーブルは、シール 1)床面積の確認 ドルームのアース端子(貫通ボルト)に図4の方法で接続してください。 2)環境の確認(恒温防塵室、電波障害対策、外来ノイズの防止) 3.シールドルーム設置については事前に販売店にご相談ください。 3)基礎床の確認 )基礎工事 シールドルーム シールドルーム4 5)電源引込用一次側配線 機械本体 制御 貫通ボルト 機械本体 制御 6)アース(接地)工事 装置 装置 高圧配電制御機器 7)加工液(水道水)の給排水設備の施工 1m以内 8)エアー配管工事 搬入経路の確認 図3 図4 搬入時のトラブルを避けるために、工場内外の経路をご確認いただきます。 1)工場までの交通制限 漏電ブレーカの選定時の注意事項 道幅 マルチワイヤ放電加工機の漏れ電流は、制御装置の外来ノイズなどによる誤動作を防止するため、 進入道路 電源入力にフィルタが挿入され、このフィルタへの一方が接地されていることにより、このフィル 5 2)工場入口および工場内 門の幅 [m] タを通して約30~40mA程度流れています。高感度の漏電ブレーカの場合(感度電流30mA)に 電力管理機器 工場建屋の入り口寸法(高さ×幅) [m] は誤動作する場合があります。従って、加工機の場合には中感度形の漏電ブレーカ(感度電流 3)恒温防塵室の入口寸法(高さ×幅) [m] 100mA~200mA)の設定を推奨します。また、マルチワイヤ放電加工機の場合、C種接地工事 三菱電機は、シーケンサやACサーボを始めとするFA機器からCNC、放電加工機など産業メカトロニ (注)出荷時機械寸法・質量は製品紹介のページに記載しています。 (接地抵抗10Ω以下)を推奨しています。感度電流が200mAでも、接触電圧は2V以下となり、感 出荷時機械寸法より狭い場合は機械寸法を標準出荷形態と異なった形で出荷可能な場合もあります。 電防止からも問題ありません。(許容接触電圧第2種25V以下を適用) クス製品まで、幅広いFA製品をお届けしています。 弊社営業へお問い合わせください(。別途見積り実施) 但し、間口寸法・通路幅・耐床荷重・据付位置によっては対応致しかねることもありますのでご了承願います。 また、お客様までの道路事情(交通規制、道路幅等)によっては機械積載車両、重機が進入出来ない場があり 廃棄物処理 ますので、必ず事前確認お願い致します。 加工液、加工液フィルタ、イオン交換樹脂、ワイヤ等は産業廃棄物です。国、地域の法令、条例等に シーケンサ、産業用PC、FAセンサ 設置条件 従って廃棄してください。 1. 設置場所 高調波歪について ①恒温防塵室 電源に高調波歪がある場合、電圧変動がなくても装置の動作に影響を与える場合があり ・推奨室温 20±1[℃] ます。また高調波電流はマルチワイヤ放電加工機から電源系統に流出し、周辺機器に影響を ・使用可能温度範囲 5~35[℃] 及ぼす場合もあります。高調波歪による影響が特に著しい場合は、高調波抑制フィルタの  温度変化は直接機械精度に影響を及ぼしますので、性能精度保持上からも温度変化の少な 生産現場で、最も信頼される設置などの対策が必要です。 い場所を選んでください。特に、セカンドカット以上の高精度加工実施の場合は、恒温室内に ブランドを目指して 駆動機器 設置してください。 ワイヤ電極について  24時間以内に3℃以上の温度変化がある環境、あるいは1時間以内に1℃以上の温度変化 がある環境では、加工精度が悪化する可能性がありますので御注意ください。また空調装置 専用電極を使用しますのでメーカまでお問い合せ下さい。 三菱電機は、コンポーネントから加工機まで、 さらに、世界中で三菱電機独自の、グローバル からの吐出空気や直射日光が、機械本体に直接あたらないようにしてください。 ・塵埃の少ない場所 推奨摺動面潤滑油について 幅広いFA(Factory Automation)事業を ネットワークを駆使し、確かな技術と安心の  酸、塩分などの腐食性ガスやミスとのない場所、及び粉塵の少ない場所に設置してください。 摺動面潤滑油は下表の物をご使用ください。 2019年9月現在 展開しています。さまざまな分野の生産シス サポートをご提供しています。三菱電機のFA  特に研削盤等の研磨粉は機械楷動部等の駆動部に対して悪影響を与えますので設置場所には メーカ 商品名 十分注意してください。(研削盤との隔離、別室設置等) エクソンモービル モービルDTE26 テムを支援し、生産性向上と品質向上の実現を 事業は、常にお客様との密接なコミュニケー 表示器(HMI)・湿度 35~75%RH以内(結露しないこと) ・輸送、保管時温度範囲 -25~55[℃(]電源未接続時) 出光興産(株) スーパーハイドロ68A 目指しています。そして開発から製造、品質 ションに基づき、最先端のFAソリューションを ②設置床面許容振動 昭和シェル石油(株) テラスオイル68 ・設置床は、振動・衝撃が伝わらない場所を選定ください。 JX日鉱日石エネルギー(株) スーパーマルパスDX68 管理まで一貫した体制で、お客様のニーズを ご提案し、世界のものづくりに貢献していきます。  参考値として振動レベルは、周波数10~20[Hz]において最大振幅2μm以下を推奨します。 いち早く取り込み、ご満足いただける製品づく ※測定方法については、施工業者又は振動測定器メーカにご相談ください。 保証期間 ③基 礎 保証期間 りに取り組んでいます。 ・装置の重量に十分耐えられる場所として、400mm以上のコンクリート厚さを推奨します。 1.  設置床面の傾斜(段差)が、6/1000(1mあたり6mmの床面の傾き)以内。 製品検収後、1年間と致します。 数値制御装置 (CNC) 機械発生熱量 ※海外据付の場合は、当該地域の海外販社との別選契約となりますので、お問い合わせ願います。2.  恒温室の設計に必要な放電加工機の発熱量は、総合入力容量をもとに計算願います。 2.保証範囲 (1)無償修理について 発熱量(kW)=総合入力容量(kVA)×0.6    保証期間中に、取扱説明書の記載や注意名板などの注意書きによる正常なご使用状態で製品に故 18kVA×0.6=10.8kW 障が発生した場合は、無償で修正を実施致します。  なお、上記数値は目安ですので、詳細は恒温室施工メーカへご相談ください。 但し、次に該当する場合は、この対象範囲から除外させていただきます。 3. 電源設備 ①製品の機能・精度に影響を及ぼすと認められる改造修理及び仕様の変更を実施され、それが原因  ●一次側配線 となって不具合が生じた場合。 産業用ロボット AC三相200/220V±10% 60Hz、 AC三相200V±10% 50Hz ②部品・油脂などに当社指定品以外のものを使用され、それが原因となって不具合が生じた場合。  ●電源容量 ③落雷・地震・風水害などの天災や火災など不可抗力による原因によって不具合が生じた場合。 最大使用時:18kVA ④取扱説明書に記載の消耗品の販売や交換工事(油脂類・フィルタなど)。 ※一次側接続電線は、14SQ(mm2)以上のものを使用してください。 (2)機会損失、二次損失などへの保証責務の除外  ●ノーヒューズブレーカ・漏電ブレーカ 無償保証期間の内外を問わず、以下については当社責務外とさせていただきます。 放電加工機の一次側にはノーヒューズブレーカNF100-CW(100A)または漏電ブレーカ ①当社の責に帰すことができない事由から生じた障害。 NV100-CW(100A)の設置を目安に選定ください。 ②当社製品の故障に起因するお客様での機会損失、逸失利益。 4. 接地工事 ③当社の予見の有無を問わず特別の事情から生じた損害、二次損害、事故補償、当社製品以外 加工機  マルチワイヤ放電加工機では、外来ノイズの防止、電波障害防止、漏電防止のために必ず接 への損傷。 地工事を実施してください。 ④お客様による交換作業、現地機械設備の再調整、立上げ試運転その他の業務に対する補償。  マルチワイヤ放電加工機の接地工事は、電気設備基準で定められた 種接地工事(接地抵 (3)製品のサポート中に得られた修正・改造に関する情報は、製品品質およびサービスの向上に利C 抗 Ω以下)を推奨いたします。 用させていただきます。10 ・C種接地工事(独立)を推奨いたします(マルチワイヤ放電加工機専用アース)。(図1) 3.サービス対応期間  注)機械ごとに独立して接地工事を実施してください。 保証期間を経過しましても、有償にて修理を実施致します。この期間は、製品の据付後11年間と 11 ・共同接地経由による他機器からのノイズ流入がほとんどない場合は共通接地にて可。 させていただきます。但し、この期間内においても、半導体部品など技術革新の激しい部品は入  ただし、接地ケーブルは接地局まで単独で接続のこと。(図 ) 変圧器、太陽光発電、EDS 12 2 手不可能となる場合がありますが、この場合は別途ご相談させていただきます。 ・接地電線は14SQ(mm2)を使用してください。 機械の導入準備/ソリューション
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DS1000 三菱電機グループは「グローバル 三菱電機は、お客様満足オンリーワンの 環境先進企業」を目指します。 FAサプライヤに挑み続けます。 since2003 サプライチェーン 調達 販売・物流 生産製造 サービス エンジニアリング チェーン 製品設計 工程設計 運用・保守 ERP SCM MES ITシステム CAD/CAM シミュレータ SCADA データ1次処理・分析 情報連携処理 エッジコンピューティング エッジコンピューティング製品群 三菱電機グループは、以下の多岐にわたる分野で事業を展開しています。 センサ 駆動 コントローラ メカトロニクス 省エネ 生産現場 三菱電機グループは、「常により良いものを 重電システム 製品群 製品群 製品群 製品群 製品群 目指し、変革していく」という“Changes for タービン発電機、水車発電機、原子力機器、電動機、変圧器、パワーエレクトロニクス機器、遮断 器、ガス絶縁開閉装置、開閉制御装置、監視制御、保護システム、大型映像表示装置、車両用電 the Better”の理念のもと、活力とゆとりの 生産性向上 品質向上 省エネ 安全性向上 セキュリティ 機品、エレベーター、エスカレーター、ビルセキュリティーシステム、ビル管理システム、その他 ある社会の実現に取り組んできました。そし ていま、時代に応える“eco changes”の精 産業メカトロニクス 神で、家庭から宇宙まで、あらゆる事業を通 シーケンサ、産業用PC、FAセンサー、インバーター、ACサーボ、表示器、電動機、ホイスト、電 じ、環境に配慮した持続可能な社会の実現に 磁開閉器、ノーヒューズ遮断器、漏電遮断器、配電用変圧器、電力量計、無停電電源装置、産業 向けてチャレンジしています。そのために、 用送風機、数値制御装置、放電加工機、レーザー加工機、産業用ロボット、クラッチ、自動車用電 装品、カーエレクトロニクス、カーメカトロニクス機器、カーマルチメディア機器、その他 社員一人ひとりがお客さまと一体となって、 グローバルな視点で、暮らしを、ビジネスを、 情報通信システム 社会を、より安心・快適に変えてゆきます。 無線通信機器、有線通信機器、監視カメラシステム、衛星通信装置、人工衛星、レーダー装置、 家電から宇宙まで幅広い事業を手掛ける世界でも有数の総合電機 がら、コントローラ製品から駆動製品、メカトロニクス製品、配電制 三菱電機グループは、最先端の環境技術と優 アンテナ、放送機器、データ伝送装置、ネットワークセキュリティーシステム、情報システム関連 メーカ、三菱電機。重電システム、産業メカトロニクス、情報通信シ 御製品にいたる幅広い製品ラインアップを次々に拡充しています。 れた製品力を世界に展開し、豊かな社会の構 機器及びシステムインテグレーション、その他 ステム、電子デバイス、家庭電器の5つの事業領域で世界規模の また、こうした製品コンポーネントのみならず、e-F@ctory、iQ 築に貢献する「グローバル環境先進企業」を ビジネスを展開しています。汎用電動機の製造以来、90年以上に Platformというように、製造現場を革新するソリューションもいち 電子デバイス 目指します。 渡り、私たち三菱電機のFAシステム事業は、日本、中国、アジア、そ 早く提供。FAのトータルサプライヤとして三菱電機はこれからもパワーモジュール、高周波素子、光素子、液晶表示装置、その他 して世界のモノづくりを支えてきました。そこで積み重ねたFA制御 お客様の声にお応えする製品を世界中に発信していきます。 技術、駆動制御技術、メカトロニクス技術、そして生産技術を磨きな 家庭電器 液晶テレビ、ルームエアコン、パッケージエアコン、ヒートポンプ式給湯暖房システム、冷蔵庫、 扇風機、換気扇、太陽光発電システム、電気温水器、LEDランプ、蛍光ランプ、照明器具、圧縮 機、冷凍機、除湿機、空気清浄機、ショーケース、クリーナー、ジャー炊飯器、電子レンジ、 13 14 IHクッキングヒーター、その他