東朋テクノロジー株式会社のカタログ一覧

膜厚測定装置 / 薄膜応力測定装置

TohoSpec3100 シリーズ / FLX(フレクサス)シリーズ

◆膜厚測定装置 TohoSpec3100 シリーズ 高精度膜厚測定のスタンダード機として長年の信頼と実績を持つNanoSpec3000 シリーズの正式な後継機として TohoSpec3100 シリーズをご提案しております。測定性能をさらに向上し、ユーザ...

サーボアンプ対応　中継コネクタ端子台　PSシリーズ

サーボアンプと接続できる中継コネクタ端子台です

サーボモータエンコーダ、リニアエンコーダ、PLCと接続することによりメンテナンス性が向上します。 【特長】 ◆三菱電機Jシリーズ、安川電機Σシリーズなど、各社のサーボアンプと接続できます。 ◆直接取付けと35mm幅DINレール取付けが可能です。...

光干渉式膜厚測定装置 TohoSpec3100

多層膜同時測定、光学定数（n,k）測定

TohoSpec3100は、ナノメトリクス社より技術移管された光干渉式膜厚測定装置です。 多数の納入実績を誇る業界標準機で、測定再精度2Å以下を実現、リニアアレー受光素子を採用しています。 高信頼性、高精度、高速をコンセプトとしており、多層膜同時測定...

薄膜ストレス測定装置　FLXシリーズ

薄膜ストレス管理に必須、多彩なデータ処理を実現！さらに、ビジュアルな操作を実現！

シリコンウェーハなどの基板上に膜付けをすると、基板と薄膜との物理定数が異なるために、ストレスが生じ基板が変形します。 均一に膜付けされた薄膜による変形は、基板の反りとして現れるため、薄膜応力測定装置FLXシリーズはこの反り（曲率半径）の変化量からス...